等厚离轴非球面反射镜的加工方法技术
The processing method of aspheric aspheric mirror with equal thickness
A high-precision equal thickness off-axis aspheric reflector is highly efficient. Through the design of the coaxial mirror tooling, the accurate positioning of the sub mirror and the equal thickness machining can be realized. It can be processed at the same time with a number of equal thickness aspheric aspherical mirrors. It has the characteristics of low machining cost, high machining precision and high processing efficiency.
【技术实现步骤摘要】
等厚离轴非球面反射镜的加工方法
本专利技术涉及光学加工领域，具体涉及一种等厚离轴非球面反射镜的加工方法。
技术介绍
现代科学技术的飞速发展，使得基于离轴非球面光学系统在对空观测、对地观测、极紫外光刻等前沿领域得到了广泛应用。相比同轴反射式光学系统，离轴反射式光学系统不存在中央遮拦问题，具有更大的有效通光口径，并且可以避免由此而产生的衍射现象，提高成像质量，有效满足现代光学成像系统对于大视场、长焦距和接近于衍射极限像质的迫切需求。因此，离轴反射式光学系统已经逐渐成为未来发展主流，在现代各类光学系统中呈现出日益增长的应用需求。离轴非球面镜的传统加工主要有两种方式：同轴母镜加工和单件加工。同轴母镜加工是指采取传统方法加工一块大的轴对称非球面母镜，其口径至少应能包含所需离轴非球面，待同轴母镜加工完毕后，从该母镜中套出所需离轴非球面。该方法适用于小口径小离轴量的离轴非球面的加工，当口径或离轴量较大时，加工成本将急剧增加，同时，该方法无法保证等厚离轴非球面反射镜的加工，如图1所示。单件加工是将毛坯尺寸做到离轴非球面所需口径，然后直接对其进行加工。单件加工的传统抛光方法，主要包...
【技术保护点】
一种等厚离轴非球面反射镜的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：1)同轴母镜工装和子镜加工：根据待加工离轴非球面反射镜(以下称为子镜)的加工参数，即口径、离轴角、离轴量，对同轴母镜工装进行设计，采用数控加工中心完成同轴母镜工装外形及相应的定位沉孔加工，并在各个定位沉孔的底面划线，并延伸至孔的边沿，其延长线过母镜的中心，用于标记离子镜坯料轴方向；经外形加工后，采用金刚石刀具在其背面划线，划线的一侧延伸至镜片边沿；2)子镜上盘：将子镜坯料置于定位沉孔中，边沿刻线对齐，同时用塞片固定，然后置于电炉上高温烘烤，将液态的腊滴入缝隙中，待腊充分填满缝隙后，关闭电炉，常温下自然冷却后，子镜...
【技术特征摘要】
1.一种等厚离轴非球面反射镜的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：1)同轴母镜工装和子镜加工：根据待加工离轴非球面反射镜(以下称为子镜)的加工参数，即口径、离轴角、离轴量，对同轴母镜工装进行设计，采用数控加工中心完成同轴母镜工装外形及相应的定位沉孔加工，并在各个定位沉孔的底面划线，并延伸至孔的边沿，其延长线过母镜的中心，用于标记离子镜坯料轴方向；经外形加工后，采用金刚石刀具在其背面划线，划线的一侧延伸至镜片边沿；2)子镜上盘：将子镜坯料置于定位沉孔中，边沿刻线对齐，同时用塞片固定，然后置于电炉上高温烘烤，将液态的腊滴入缝隙中，待腊充分填满缝隙后，关闭电炉，常温下自然冷却后，子镜坯料就成功镶入母镜中形成工件；3)工件铣磨：采用高精度数控光学铣磨加工中心，使用半球形碟形砂轮铣磨工件，采用轮廓仪进行轮廓检验，判断轮廓误差是否达到要求，若达到要求则进入下一步，否则继续铣磨加工；4)工件研抛：采用传统单轴机对工件进行研磨及粗抛加工，技术要点在于严格控制起始球面半径的准确度以及同一环带上半径的一致性，采用轮廓仪进行检测，判断轮廓误差是否达到要求，若达到要求则进入下一步，否则继续研抛加工；5)待加工件的面形精度收敛到进入干涉仪量程后(一般为小于2μm)，采用激光干涉仪对所述的工件的反射镜面形进行测量，得到工件所需要的全口径面形误差；6)工件精抛：采用高...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡晨，吴令奇，顾昊金，魏朝阳，邵建达，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31
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