一种大功率紫外固体激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种大功率紫外固体激光器，属于激光器技术领域。包括LD泵浦源、激光晶体、调Q开关、全反镜、转折反射镜、双波长全反镜、布儒斯特窗镜、倍频晶体、和频晶体、第一柱面透镜、第三柱面透镜；所述全反镜、转折反射镜和双波长全反镜构成产生基频光振荡的折叠谐振腔，所述折叠谐振腔内从全反镜开始沿基频光路依次设置调Q开关、激光晶体、布儒斯特窗镜、第一柱面透镜、转折反射镜、和频晶体、倍频晶体、第三柱面透镜、双波长全反镜。本发明专利技术提供一种利用柱面透镜在谐振腔内产生线状光斑提高相位匹配度，具有高效率和和高稳定性的355nm波长大功率紫外固体激光器。

【技术实现步骤摘要】
一种大功率紫外固体激光器
本专利技术涉及激光器
，尤其涉及一种大功率紫外固体激光器，特别涉及一种半导体激光（LD）侧面泵浦腔内倍频、和频的355nm波长紫外固体激光器。
技术介绍
紫外激光光子能量高，在许多非金属材料加工过程中直接破坏材料分子键而实现“冷”切除，因此具有良好的加工质量。LD泵浦的全固态紫外激光器具有体积小、使用方便等优点，在医用塑料、微电子等加工领域具有良好的应用。紫外固体激光器涉及复杂的变频技术，综合效率很大程度上取决于激光器谐波转化效率。提高谐波转化效率的有效途径主要是提高相位匹配度和增大激光功率密度，因此一般将倍频及和频晶体置于激光束腰位置，但功率密度过大容易引起晶体的损坏，即晶体中的光斑不能过小；一般紫外固体激光器的倍频及和频晶体为LBO，其相位匹配受温度影响很大，通常紫外激光器LBO晶体的温度控制精度要求不超过0.1度，虽然温度控制精度够高，但光斑截面内的温度梯度是没法消除的，也就是激光束中心和边缘必然处在失配状态，光斑越大，温度梯度越大，失配越严重。现有紫外激光器技术方案中没有解决光斑截面内的温度梯度引起的相位失配问题，一般采用端泵方式，通过控制晶体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大功率紫外固体激光器，其特征在于：包括LD泵浦源(4)、激光晶体(3)、调Q开关(2)、全反镜(1)、转折反射镜(7)、双波长全反镜(10)、布儒斯特窗镜(5)、倍频晶体(9)、和频晶体(8)、第一柱面透镜(61)、第三柱面透镜(63)；所述全反镜(1)、转折反射镜(7)和双波长全反镜(10)构成产生基频光振荡的折叠谐振腔，所述折叠谐振腔内从全反镜(1)开始沿基频光路依次设置调Q开关(2)、激光晶体(3)、布儒斯特窗镜(5)、第一柱面透镜(61)、转折反射镜(7)、和频晶体(8)、倍频晶体(9)、第三柱面透镜(63)、双波长全反镜(10)。

【技术特征摘要】
1.一种大功率紫外固体激光器，其特征在于：包括LD泵浦源(4)、激光晶体(3)、调Q开关(2)、全反镜(1)、转折反射镜(7)、双波长全反镜(10)、布儒斯特窗镜(5)、倍频晶体(9)、和频晶体(8)、第一柱面透镜(61)、第三柱面透镜(63)；所述全反镜(1)、转折反射镜(7)和双波长全反镜(10)构成产生基频光振荡的折叠谐振腔，所述折叠谐振腔内从全反镜(1)开始沿基频光路依次设置调Q开关(2)、激光晶体(3)、布儒斯特窗镜(5)、第一柱面透镜(61)、转折反射镜(7)、和频晶体(8)、倍频晶体(9)、第三柱面透镜(63)、双波长全反镜(10)。2.根据权利要求1所述的一种大功率紫外固体激光器，其特征在于：所述全反镜(1)和转折反...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚育成，王娜，黄楚云，陈本源，
申请(专利权)人：湖北工业大学，
类型：发明
国别省市：湖北,42