X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统
本专利技术涉及的是一种波谱能谱复合型X射线荧光光谱仪(以下简称WEDXRF光谱仪)的关键功能部件，特别涉及一种适用于波谱能谱复合型X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统。
技术介绍
随着现代科技的发展，各种高强度、高韧性新型金属材料日趋纯净化和匀质化，但常规的光谱仪主要以整体样品分析为主，溶液进样的ICP光谱仪/质谱仪仅能获得取样部分的平均化学成分数据，而材料的组织结构、性能与能够表征“材料均匀性”的元素成分分布信息的关系更为直接，因此，开发行之有效的元素分布分析技术对样品进行微区分析至关重要。现有的元素分布分析手段有火花光谱原位分析仪、辉光光谱仪、激光光谱原位分析仪等，其中，火花光谱原位分析仪发展成熟，但要求样品导电、灵敏度低、适于平面样品；辉光光谱仪对样品均匀剥蚀，剥蚀斑点＞4mm，适合深度分布分析,表面分布分析分辨率低；激光光谱原位分析仪的剥蚀斑点小，样品不需要导电，但为保持灵敏度的大功率激光器影响剥蚀斑点质量。X射线荧光光谱仪由于其可直接对块状、液体、粉末样品进行绝对无损的分析，同时可对小区域或微...
【技术保护点】
一种X荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统，该X射线荧光光谱仪为波谱能谱复合型，可选择性地进行能谱测量和/或波谱测量，其特征在于：该系统包括：操作界面模块(1)、软硬件通讯模块(2)、CCD照相成像模块(3)、样品移动平台控制模块(4)、探测器切换模块(5)、数据定性定量分析模块(6)和数据图象处理模块(7)；所述操作界面模块(1)通过软硬件通讯模块(2)分别与CCD照相成像模块(3)、样品移动平台控制模块(4)、探测器切换模块(5)、数据定性定量分析模块(6)和数据图象处理模块(7)连接；其中：所述CCD照相成像模块(3)拍摄样品测量面的图像，通过软硬件通讯模块(2...
【技术特征摘要】
1.一种X荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统，该X射线荧光光谱仪为波谱能谱复合型，可选择性地进行能谱测量和/或波谱测量，其特征在于：该系统包括：操作界面模块(1)、软硬件通讯模块(2)、CCD照相成像模块(3)、样品移动平台控制模块(4)、探测器切换模块(5)、数据定性定量分析模块(6)和数据图象处理模块(7)；所述操作界面模块(1)通过软硬件通讯模块(2)分别与CCD照相成像模块(3)、样品移动平台控制模块(4)、探测器切换模块(5)、数据定性定量分析模块(6)和数据图象处理模块(7)连接；其中：所述CCD照相成像模块(3)拍摄样品测量面的图像，通过软硬件通讯模块(2)将图像回传至操作界面模块(1)；用户通过所述操作界面模块(1)人工或自动选择需要重点关注的样品表面区域；所述样品移动平台控制模块(4)根据重点关注的样品表面区域将样品移动至指定目标位置；所述探测器切换模块(5)首先将探测采集模块切换到能谱模式进行能谱全元素快速扫描，然后将探测采集模块切换到波谱模式进行波谱单元素精细扫描；数据定性定量分析模块(6)对探测采集模块扫描得到的X荧光强度与能量信息进行波谱数据与能谱数据相结合的综合分析，将得到的样品指定位置的元素含量分布分析信息输送到数据图象处理模块(7)进行处理，最终建立直观立体的二维和/或三维数据模型，并通过软硬件通讯模块(2)将数据模型信息回传至操作界面模块(1)并显示。2.根据权利要求1所述的X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统，其特征在于：所述操作界面模块(1)包括样品成像显示界面、点选坐标显示界面和二维与三维数据显示界面；其中，样品成像显示界面显示CCD照相成像模块(3)拍摄的高清样品测量面的图像；点选坐标显示界面将用户在样品成像显示界面点选的目标分析区域的位置用坐标显示，以待后续测量分析，目标分析区域为mm尺度；二维与三...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋春苗，周超，李瑞，胡学强，刘明博，袁良经，
申请(专利权)人：钢研纳克检测技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。