一种真空干燥腔室及真空干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供一种真空干燥腔室及真空干燥装置，涉及有机溶液成膜技术领域，能够解决现有的真空干燥装置中根据检测环境真空度来判断和调整基板膜层中有机溶剂的蒸发速率，导致干燥后的基板膜层的膜厚均一性较差的问题。包括真空腔室以及在真空腔室内相对设置的载台和冷凝板，载台用于承载待干燥基板，冷凝板的板面温度低于载台的台面温度，待干燥基板的待干燥膜层表面朝向冷凝板，在真空腔室内还设置有机溶剂浓度检测器。

【技术实现步骤摘要】
一种真空干燥腔室及真空干燥装置
本专利技术涉及有机溶液成膜
，尤其涉及一种真空干燥腔室及真空干燥装置。
技术介绍
随着显示技术的发展与进步，对于现有的显示装置而言，有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)作为一种电流型发光器件，因其相对于TFT-LCD(hinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay，薄膜晶体管液晶显示装置)而言具有自发光、快速响应、宽视角，以及高亮度、色彩艳丽、体积轻薄等优点，越来越多地被应用于高性能显示领域当中。对于大尺寸的OLED显示装置，使用白光OLED配合彩膜基板的方式实现OLED彩色显示的方式，对于材料的利用率较低，且功耗较大等问题，使得人们越来越倾向于使用喷墨打印(inkjetprinting，IJP)薄膜制备技术制作OLED。在打印OLED的工艺制程，对于有机材料的湿膜进行真空干燥的工艺过程中，膜层真空干燥的效果是决定膜层厚度均匀性的重要环节。真空干燥，又名解析干燥，是将物料置于负压条件下，通过加热达到负压状态下的沸点或者通过降温使得物料凝固后通过溶点来干燥物料的一种干燥方式。对于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空干燥腔室，其特征在于，包括真空腔室以及在所述真空腔室内相对设置的载台和冷凝板，所述载台用于承载待干燥基板，所述冷凝板的板面温度低于所述载台的台面温度，所述待干燥基板的待干燥膜层表面朝向所述冷凝板，在所述真空腔室内还设置有机溶剂浓度检测器。

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥腔室，其特征在于，包括真空腔室以及在所述真空腔室内相对设置的载台和冷凝板，所述载台用于承载待干燥基板，所述冷凝板的板面温度低于所述载台的台面温度，所述待干燥基板的待干燥膜层表面朝向所述冷凝板，在所述真空腔室内还设置有机溶剂浓度检测器。2.根据权利要求1所述的真空干燥腔室，其特征在于，所述有机溶剂浓度检测器设置在所述载台与所述冷凝板之间。3.根据权利要求2所述的真空干燥腔室，其特征在于，所述有机溶剂浓度检测器设置有多个，多个所述有机溶剂浓度检测器均布设置在所述载台与所述冷凝板之间。4.根据权利要求1-3任一项所述的真空干燥腔室，其特征在于，所述冷凝板的板面温度与所述载台的台面温度之间的温度差为10-20℃。5.根据权利要求1所述的真空干燥腔室，其特征在于，在所述冷凝板表面设置有导流部件。6.根据权利要求4所述的真空干燥腔室，其特征在于，还包括设置在所述真空腔室内的支撑板，在所述支撑板上设置有可沿垂直于支撑板板面的方向伸缩的支撑杆，所述支撑杆与所述载台之间固定连接，用于对所述载台进...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾文斌，廖金龙，彭锐，叶志杰，王欣欣，王辉锋，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34