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本发明实施例提供一种真空干燥腔室及真空干燥装置，涉及有机溶液成膜技术领域，能够解决现有的真空干燥装置中根据检测环境真空度来判断和调整基板膜层中有机溶剂的蒸发速率，导致干燥后的基板膜层的膜厚均一性较差的问题。包括真空腔室以及在真空腔室内相对设...该专利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。