气浮轴承模块制造技术
【技术实现步骤摘要】
气浮轴承模块
本专利技术涉及一种气浮轴承模块，且特别是有关于一种可微型化、可高精密的动态调整且具有高刚性的气浮轴承模块。
技术介绍
随着工业技术的发展，非接触式轴承模块已实际应用在众多领域中。非接触式轴承模块以气浮轴承模块为例，其在导轨与滑块之间充入空气，而在导轨与滑块之间形成气膜(空气层)。如此一来，导轨与滑块在滑动过程中便不会直接接触，避免于滑动时导轨与滑块摩擦，而降低了元件损耗的机率。目前，传统的气浮轴承模块若是使用螺丝去调整导轨与滑块之间的气浮间隙，受限于螺丝尺寸，气浮轴承模块难以微型化，亦或者无法进行高精密的动态调整。此外，若滑块或导轨在不同区域存在尺寸上的公差时，滑块与不同区域的导轨之间气浮间隙会忽大忽小，使得位在导轨与滑块之间的气浮间隙内的气膜无法维持高刚性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种气浮轴承模块，使其在尺寸上可达到微型化或可高精密的动态调整，且可在导轨与滑块之间提供高刚性的气膜。为实现上述目的，本专利技术提供一种气浮轴承模块，包括一导轨、一滑块、一第一气浮板及一第二气浮板。导轨具有一第一表面及一第二表面。滑块具有一沟槽以及紧邻沟槽的一...
【技术保护点】
一种气浮轴承模块，其特征在于，包括：一导轨，具有一第一表面及一第二表面；一滑块，具有一沟槽以及紧邻该沟槽的一第一内壁面及一第二内壁面，该导轨穿设于该沟槽中，以使该滑块适于相对该导轨滑动，其中该第一内壁面朝向该第一表面，该第二内壁面朝向该第二表面；一第一气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第一表面与该滑块的该第一内壁面之间，该第一气浮板与该滑块的该第一内壁面之间存在一第一气腔，该第一气浮板与该导轨的该第一表面之间存在一第一气浮间隙；以及一第二气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第二表面与该滑块的该第二内壁面之间，该第二气浮板与该滑块的该第二内壁面之间存在一第二气腔，该...
【技术特征摘要】
2017.09.06 TW 1061304161.一种气浮轴承模块，其特征在于，包括：一导轨，具有一第一表面及一第二表面；一滑块，具有一沟槽以及紧邻该沟槽的一第一内壁面及一第二内壁面，该导轨穿设于该沟槽中，以使该滑块适于相对该导轨滑动，其中该第一内壁面朝向该第一表面，该第二内壁面朝向该第二表面；一第一气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第一表面与该滑块的该第一内壁面之间，该第一气浮板与该滑块的该第一内壁面之间存在一第一气腔，该第一气浮板与该导轨的该第一表面之间存在一第一气浮间隙；以及一第二气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第二表面与该滑块的该第二内壁面之间，该第二气浮板与该滑块的该第二内壁面之间存在一第二气腔，该第二气浮板与该导轨的该第二表面之间存在一第二气浮间隙。2.根据权利要求1所述的气浮轴承模块，其特征在于，更包含一第一气流通道、一第二气流通道、一第三气流通道及一第四气流通道，该第一气流通道连通至该第一气浮间隙，该第二气流通道连通至该第一气腔，该第三气流通道连通至该第二气浮间隙，该第四气流通道连通至该第二气腔，该第二气流通道与该第四气流通道独立于彼此。3.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第一气流通道与该第二气流通道设置于该第一气浮板，该第三气流通道与该第四气流通道设置于该第二气浮板。4.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第一气流通道设置于该第一气浮板，该第二气流通道设置于该滑块，该第三气流通道设置于该第二气浮板，该第四气流通道设置于该滑块。5.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第一气浮板包括一第一凹陷气路，该第一凹陷气路朝向该导轨的该第一表面设置且连通于该第一气流通道，该第二气浮板包括一第二凹陷气路，该第二凹陷气路朝向该导轨的该第二表面设置且连通于该第三气流通道。6.根据权利要求1所述的气浮轴承模块，其特征在于，该导轨的该第一表面邻接于该第二表面。7.根据权利要求1所述的气浮轴承模块，其特征在于，更包括：一第一挠性环，配置于该第一气浮板与该滑块的该第一内壁面之间，该第一气腔位于该第一气浮板、该滑块的该第一内壁面与该第一挠性环所环绕的范围之内；以及一第二挠性环，配置于该第二气浮板与该滑块的该第二内壁面之间，该第二气...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘荣井，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71
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