下载气浮轴承模块的技术资料

文档序号:17775110

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本发明公开一种气浮轴承模块,包括导轨、滑块、第一气浮板及第二气浮板。导轨具有第一表面及第二表面。滑块具有沟槽、第一内壁面及第二内壁面,导轨穿设于沟槽,以使滑块适于相对导轨滑动。第一气浮板位在第一表面与第一内壁面之间,第一气浮板与第一内壁面之...
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