一种提纯制备高纯氧的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种提纯制备高纯氧的装置，包括初级工业氧气管道，初级工业氧气管道一端连接有颗粒物过滤器，颗粒物过滤器一侧管道连接有干燥热交换罐，所述干燥热交换罐一侧管道连接有小分子杂物过滤器，所述小分子杂物过滤器一侧管道连接有二氧化碳过滤罐，所述二氧化碳过滤罐一侧管道连接有氮气过滤罐，所述氮气过滤罐一侧管道连接有加压储存罐，提纯制氧从液态重新回到气态，有吸热降温情况，在降温过程中产生大量的水蒸汽，进行一次过滤后进行干燥处理，在进行分子级杂物过滤，保证内部气体的纯净，然后进行二氧化碳、氮气过滤，提高氧气纯度后，最后进入加压储存罐，对氧气进行加压保存，增加储存量及方便将氧气直接输送至小型氧气罐。

A device for purification and preparation of high purity oxygen

The utility model relates to a device for purification and preparation of high purity oxygen, including a primary industrial oxygen pipeline, a particle filter on one end of the primary industrial oxygen pipeline, a dry heat exchange tank connected to one side pipe of the particulate filter, and a small molecular clutter filter connected to one side of the dry heat exchange tank. One side pipe of the sundrier filter is connected with a carbon dioxide filter tank, and one side pipe of the carbon dioxide filter tank is connected with a nitrogen filter tank. The one side pipe of the nitrogen filter tank is connected to a pressurized storage tank, and the pure oxygen is returned to the gaseous state from the liquid, and there is a heat absorption and cooling condition, and a large amount of water vapor is produced during the cooling process. After a filtration, the filtration of the molecular level is carried out to ensure the purity of the internal gas. After the filtration of carbon dioxide and nitrogen, the purity of oxygen is improved, and the pressure storage tank is finally entered, and the oxygen is pressurized and stored, and the amount of storage is increased and the oxygen is directly transported to the small oxygen tank.

【技术实现步骤摘要】
一种提纯制备高纯氧的装置
本技术涉及一种提纯制备高纯氧的装置。
技术介绍
工业上根据氧气和氮气沸点的不同，利用空分设备生产氧气，具体如下，首先将空气除尘净化，除去二氧化碳和水蒸气，然后在低温下加压，使空气液化，通过控制温度蒸发液态空气，将沸点较低的液氮先蒸发出来，余下的是沸点较高的液态氧，利用这种方法能够大规模的制备氧气，满足工业发展的需求，然而空分设备生产的工业氧气纯度较低，氮气、水分、固体颗粒物以及二氧化碳等杂质的含量较高，只能满足最基本的工业需求,对于一些特殊行业，例如二氧化硅的化学气相沉积；与四氟化碳混合进行等离子刻蚀等领域，则需要使用大量的高纯氧，然后工业氧气远远达不到高纯氧的技术指标，且工业氧气附加值较低。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种提纯制备高纯氧的装置。本技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种提纯制备高纯氧的装置，包括初级工业氧气管道，所述初级工业氧气管道一端连接有颗粒物过滤器，所述颗粒物过滤器一侧管道连接有干燥热交换罐，所述干燥热交换罐一侧管道连接有小分子杂物过滤器，所述小分子杂物过滤器一侧管道连接有二氧化碳过滤罐，所述二氧化碳过滤罐一侧管道本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提纯制备高纯氧的装置，包括初级工业氧气管道（1），其特征在于，所述初级工业氧气管道（1）一端连接有颗粒物过滤器（2），所述颗粒物过滤器（2）一侧管道连接有干燥热交换罐（3），所述干燥热交换罐（3）一侧管道连接有小分子杂物过滤器（4），所述小分子杂物过滤器（4）一侧管道连接有二氧化碳过滤罐（5），所述二氧化碳过滤罐（5）一侧管道连接有氮气过滤罐（6），所述氮气过滤罐（6）一侧管道连接有加压储存罐（7），所述加压储存罐（7）内设有隔离内腔（8），所述隔离内腔（8）顶部设有抽排泵（9），所述隔离内腔（8）底部设有压力泵（10），所述加压储存罐（7）底部设有排气口（11）。

【技术特征摘要】
1.一种提纯制备高纯氧的装置，包括初级工业氧气管道（1），其特征在于，所述初级工业氧气管道（1）一端连接有颗粒物过滤器（2），所述颗粒物过滤器（2）一侧管道连接有干燥热交换罐（3），所述干燥热交换罐（3）一侧管道连接有小分子杂物过滤器（4），所述小分子杂物过滤器（4）一侧管道连接有二氧化碳过滤罐（5），所述二氧化碳过滤罐（5）一侧管道连接有氮气过滤罐（6），所述氮气过滤罐（6）一侧管道连接有加压储存罐（7），所述加压储存罐（7）内设有隔离内腔（8），所述隔离内腔（8）顶部设有抽排泵（9），所述隔离内腔（8）底部设有压力泵（10），所述加压储存罐（7）底部设有排气口（11）。2.根据权利要求1所述一种提...

【专利技术属性】
技术研发人员：高志强，
申请(专利权)人：昆山市恒安工业气体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32