一种基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于MEMS超声换能器阵列的海洋水下镜头在线实时超声清洗装置。超声清洗装置采用尺寸小、耗能低以及易集成的MEMS超声换能器阵列，可以在环形基座上均匀圆周布置多个超声换能器阵列模块，换能器阵列模块中的每一个换能器单元都能独立工作，可以实现对海洋水下镜头进行在线实时或者定时清洗，而且可以根据实际情况控制超声换能器阵列中任意换能器单元的工作状态和换能器阵列模块的工作个数，从而改变超声清洗的辐射面，高效清洗的同时还能节省能耗。

An online real time ultrasonic cleaning device for underwater lens based on MEMS ultrasonic transducer array

The invention discloses an online real-time ultrasonic cleaning device for underwater underwater lenses based on MEMS ultrasonic transducer array. The ultrasonic cleaning device uses small size, low energy consumption and easy to integrate MEMS ultrasonic transducer array. It can arrange a number of ultrasonic transducer array modules on the circular base, and each transducer unit in the transducer array module can work independently, and the underwater lens can be realized online or in real time. The working state of the transducer unit in the ultrasonic transducer array and the number of work number of the transducer array module in the ultrasonic transducer array can be controlled according to the actual conditions, thus the radiation surface of ultrasonic cleaning can be changed, and the energy consumption can be saved at the same time.

【技术实现步骤摘要】
一种基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置
本专利技术涉及一种基于微机电(MEMS)超声换能器阵列的超声清洗装置，特别是涉及海洋水下摄像机等水下监视设备镜头的在线实时超声清洗装置。
技术介绍
对海洋的探测和研究既是发展国家海洋经济的需要，同时也是保护海洋、实现可持续发展的基础，水下摄像机等水下监视设备在海洋水下作业与海洋科学研究中发挥着重要的作用。然后由于海洋生物污损，放入海水中的任何物体的表面很快就会被一层生物膜所覆盖，附着在水下摄像机镜头等其它监视设备的敏感元件表面的生物膜会影响设备的正常使用。有效的防污措施是水下监视设备能够正常工作的保障，目前主要的防污方法可以分为物理防污法、化学防污法和生物防污法，后两种方法由于采用化学生物涂料，对海洋环境会造成一定程度的污染。物理防污方法中的超声波清洗是利用超声波器件在水中振动产生空化效应，形成一系列微小气泡，气泡破裂冲击物体表面，达到清洗被洗件的目的。超声波清洗是一种清洁高效的防污措施，但目前的超声波清洗装置尺寸比较大，耗能高，不能将其集成在水下摄像机上对镜头进行实时清洗。为了使水下摄像机这类监视设备能够正常的工作，只能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，包括环形基座(1)、MEMS超声换能器阵列模块(2)、盖板(3)、环形密封盖(4)以及控制驱动电路模块(5)，环形基座(1)用于将清洗装置固定在水下监视设备镜头上；环形基座(1)周向开设有若干个通孔，通孔中安装有MEMS超声换能器阵列模块(2)，MEMS超声换能器阵列模块(2)中集成有呈阵列形式排布的MEMS超声换能器，MEMS超声换能器的声辐射方向朝向待清洗镜头；所述的通孔位于环形基座(1)外表面一侧通过盖板(3)进行固定密封；环形基座(1)周向的通孔外部环绕固定有环形密封盖(4)，用于对通孔进行二次防水密封；MEMS...

【技术特征摘要】
1.一种基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，包括环形基座(1)、MEMS超声换能器阵列模块(2)、盖板(3)、环形密封盖(4)以及控制驱动电路模块(5)，环形基座(1)用于将清洗装置固定在水下监视设备镜头上；环形基座(1)周向开设有若干个通孔，通孔中安装有MEMS超声换能器阵列模块(2)，MEMS超声换能器阵列模块(2)中集成有呈阵列形式排布的MEMS超声换能器，MEMS超声换能器的声辐射方向朝向待清洗镜头；所述的通孔位于环形基座(1)外表面一侧通过盖板(3)进行固定密封；环形基座(1)周向的通孔外部环绕固定有环形密封盖(4)，用于对通孔进行二次防水密封；MEMS超声换能器阵列模块(2)与控制驱动电路模块(5)相连，MEMS超声换能器阵列模块(2)集成于环形基座上。2.如权利要求1所述的基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，所述的MEMS超声换能器为MEMS压电式超声换能器或MEMS电容式超声换能器。3.如权利要求1所述的基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，所述的超声清洗装置与水下监...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢金，乐先浩，庞锦涛，陈旭颖，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33