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本发明公开了一种基于MEMS超声换能器阵列的海洋水下镜头在线实时超声清洗装置。超声清洗装置采用尺寸小、耗能低以及易集成的MEMS超声换能器阵列，可以在环形基座上均匀圆周布置多个超声换能器阵列模块，换能器阵列模块中的每一个换能器单元都能独立工...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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