用于制造被构造为堆的多层致动器的方法技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于制造被构造为堆的多层致动器的方法
本专利技术涉及一种用于与多层致动器电接触的方法，所述多层致动器具有多个对电场的施加做出反应的材料层以及多个电极层，而且其中各个材料层分别布置在两个彼此相邻的电极层之间。这种由材料层和电极层的彼此重叠地并且交替地堆叠的层构成的多层致动器是电子器件并且通常被称作堆。这种类型的如今最有名的电子器件是通常被称作压电致动器的堆，所述堆作为操纵元件应用在机动车的各种各样的发动机类型的喷油阀中。在该压电致动器中，材料层是陶瓷层。
技术介绍
通常，以俯视图来观察，这种堆具有矩形或正方形的横截面。该横截面在两个对置的周向侧面上电接触。为了整面的接触，其中电极层在材料层的整个表面内延伸，使得不存在压电不活跃或未激活的区域，DE102006003070B3提出将相应的绝缘层涂覆到堆的两个在几何形状上没有连在一起的堆周向区域中的相应的堆周向区域上。接着，确定电极层中的相移的电极层沿着堆周向区域的准确位置。紧接着，借助于激光结构化，产生经过绝缘层中的第一绝缘层朝向电极层中的每隔一个电极层的第一接触孔，以及产生经过绝缘层中的第二绝缘层朝向电极层中的其余电...
【技术保护点】
一种用于制造被构造为堆（1）的多层致动器的方法，所述多层致动器由多个对电场的施加做出反应的材料层（2）和多个电极层（3、4）形成，其中每个材料层（2）都布置在所述电极层（3、4）中的两个电极层之间，其中执行如下步骤：a) 将相应的绝缘层（IS1、IS2）涂覆到两个在几何形状上没有连在一起的周向区域（1a、1b）中的相应的周向区域（1a、1b）上；b) 尤其是借助于激光结构化来产生经过所述绝缘层（IS1、IS2）中的第一绝缘层（IS1）朝向所述电极层（3、4）中的每隔一个电极层（3）的第一接触孔（KL1）；c) 尤其是借助于激光结构化来产生经过所述绝缘层（IS1、IS2）中的...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.10 DE 102015217334.81.一种用于制造被构造为堆（1）的多层致动器的方法，所述多层致动器由多个对电场的施加做出反应的材料层（2）和多个电极层（3、4）形成，其中每个材料层（2）都布置在所述电极层（3、4）中的两个电极层之间，其中执行如下步骤：a)将相应的绝缘层（IS1、IS2）涂覆到两个在几何形状上没有连在一起的周向区域（1a、1b）中的相应的周向区域（1a、1b）上；b)尤其是借助于激光结构化来产生经过所述绝缘层（IS1、IS2）中的第一绝缘层（IS1）朝向所述电极层（3、4）中的每隔一个电极层（3）的第一接触孔（KL1）；c)尤其是借助于激光结构化来产生经过所述绝缘层（IS1、IS2）中的第二绝缘层（IS2）朝向所述电极层（3、4）中的其余电极层（4）的第二接触孔（KL2）；而且d)用导电材料（EL1、EL2）至少基本上整面地覆盖相应的绝缘层（IS1、IS2），其中所述接触孔（KL1、KL2）填充所述导电材料（EL）；其特征在于如下步骤：-在被烧结的多层棒材（10）上执行步骤a)至d)，所述被烧结的多层棒材由多个材料层（2）和多个电极层（3、4）沿所述多层棒材（10）的堆叠方向（hS）的交替的布置组成，其中棒材（10）的垂直于所述堆叠方向（hS）的深度对应于所述多层致动器的深度，而所述多层棒材（10）的垂直于所述堆叠方向（hS）的宽度（B）对应于多个多层致动器的宽度；而且-将所述多层棒材（10）平行于其深度方向（tS）和堆叠方向（hS）地分割成多个多层致动器，作为步骤e)。2.根据权利要求1所述的方法，其中在执行步骤a)至d)之前对所述多层棒材（10）进行磨削。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中在步骤a)中，所述相应的绝缘层（IS1、IS2）整面地被涂覆到对置的主表面（11）上，其中...
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