An improved clean room with diluted hydrogen peroxide (DHP) gas, which provides anticorrosion conditions, is provided. A clean room with a DHP gas containing a reduced level of volatile organic compounds (VOC) and a method for making clean rooms with DHP gases are also provided.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有稀释过氧化氢(DHP)气体的洁净室及其使用方法
本公开通常涉及改进的洁净室，具有提供防腐条件的稀释过氧化氢(DHP)气体。本公开还涉及具有降低水平的挥发性有机化合物(VOC)的含有DHP气体的洁净室。本公开还涉及制造具有DHP气体的洁净室的方法。
技术介绍
过氧化氢(H2O2)是一种强氧化剂，具有广为人知的抗菌防腐性能和对有机化合物的活性。H2O2还具有抗挥发性有机化合物(VOC)的活性，将其氧化并水解并分解。过氧化氢水解尤其是甲醛、二硫化碳、碳水化合物、有机磷和氮化合物以及许多其他更复杂的有机分子。商业上大量生产H2O2，无论是无色液体还是作为水溶液，通常约3至90％。参见默克索引(MerckIndex)，第10版，4705-4707。最近已经表明，H2O2可以作为不含臭氧、等离子体物质或有机物质的纯化的过氧化氢气体(PHPG)生产。PHPG是一种非水合的H2O2气体形式，与过氧化氢(包括水合气溶胶和汽化形式)不同。过氧化氢溶液的雾化和蒸发形式具有显着更高浓度的H2O2，与含有5-25个分子每立方微米的PHPG的空气相比，每立方微米通常包含大于1×106个分...
【技术保护点】
洁净室，包括浓度为至少0.05百万份(ppm)的稀释过氧化氢(DHP)气体。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.20 US 62/1499251.洁净室，包括浓度为至少0.05百万份(ppm)的稀释过氧化氢(DHP)气体。2.权利要求1所述的洁净室，其中所述DHP气体的浓度高达10.0ppm。3.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室是ISO146441级洁净室、ISO146442级洁净室、ISO146443级洁净室、ISO146444级洁净室、ISO146445级洁净室、ISO146446级洁净室、ISO146447级洁净室、或ISO146448级洁净室。4.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室是BS52951级洁净室、BS52952级洁净室、BS52953级洁净室或BS52954级洁净室。5.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室是EUGMPA级洁净室、EUGMPB级洁净室、EUGMPC级洁净室、EUGMPD级洁净室。6.权利要求1至5中任一项所述的洁净室，其中所述洁净室是模块化洁净室。7.权利要求1所述的洁净室，其中所述DHP气体是由暖通空调(HVAC)系统提供。8.权利要求7所述的洁净室，其中所述HVAC系统提供包含0.015百万份(ppm)或更少臭氧的DHP气体。9.权利要求1所述的洁净室，其中所述HVAC系统包括再循环空气系统。10.权利要求9所述的洁净室，其中所述HVAC系统包括一个或多个纯化的过氧化氢气体(PHPG)产生装置。11.权利要求7所述的洁净室，还包括符合联邦标准209的高效空气过滤(HEPA)系统。12.权利要求11所述的洁净室，其中所述HEPA过滤器包括根据I-F-51068或IEST-RP-CC-001对0.3微米的颗粒至少99.97％有效的至少一个过滤器。13.权利要求7所述的洁净室，其中所述HVAC系统还包括新风系统以补充耗尽的空气和由于泄露导致的空气流失。14.权利要求13所述的洁净室，其中所述新风系统提供包含0.015百万份(ppm)或更少臭氧的DHP气体。15.权利要求13所述的洁净室，其中所述新风系统包括一个或多个PHPG产生装置。16.权利要求13所述的洁净室，其中所述新风系统包括一个或多个过滤器，所述过滤器选自30％ASHRAE过滤器、60％ASHRAE过滤器或95％ASHRAE过滤器。17.权利要求1所述的洁净室，其中所述DHP气体由独立的PHPG产生装置提供，所述PHPG产生装置提供包含0.015百万份(ppm)或更少臭氧的DHP气体。18.权利要求17所述的洁净室，其中由所述PHPG产生装置产生的所述DHP气体不含水合物、臭氧、等离子体物质或有机物质。19.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室是模块化设备。20.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室是湍流洁净室。21.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室是层流洁净室。22.权利要求1所述的洁净室，其中包含DHP气体的所述洁净室根据美国职业安全健康局(OSHA)、国家职业安全与健康学院(NIOSH)或美国工业卫生学家会议(ACGIH)标准对于持续性人类职业是安全的。23.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室是药用洁净室。24.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室是生物药用洁净室。25.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室是用于生产半导体的洁净室。26.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室具有减少水平的空气中的分子污染物。27.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室的内表面选自由下列组成的组：酚醛塑料、玻璃纤维增强塑料、钢、涂层钢、铝、环氧树脂涂层的混凝土砌块、石膏板和乙烯基材料以及高表面处理的石膏板。28.权利要求19所述的洁净室，其中换气速率是每小时1至360次换气(ACH)。29.权利要求21所述的洁净室，其中平均风速是0.005m/s至0.508m/s。30.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室保持在高于相邻区域的气压下。31.权利要求30所述的洁净室，其中所述洁净室具有比相邻非-洁净室区域高至少5Pa的气压。32.权利要求31所述的洁净室，其中所述洁净室具有比相邻非-洁净室区域高至少5至50Pa的气压。33.权利要求1所述的洁净室，还包括气闸，直通式气闸或前室。34.权利要求33所述的洁净室，其中所述气闸或所述前室还包括联锁设备。35.权利要求33所述的洁净室，其中所述气闸或所述前室包括浓度为至少0.05百万份(ppm)的DHP气体。36.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室保持在20-22℃或18.9℃的温度下。37.权利要求1所述的洁净室，其中所述洁净室的相对湿度在1和99％之间。38.权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员：JD李，DJ博斯马，
申请(专利权)人：塞尼斯有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
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