一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪制造技术

本实用新型专利技术专利公开了一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪，包括壳体，所述壳体内设置有气腔单元、气压采集单元、信号处理单元、显示单元和发送单元，所述气腔单元前端设置有进气孔，后端设置有出气孔、分压出气孔和漏气孔，所述各孔分别通过气路与气压采集单元相连，所述气压采集单元包括一组MEMS压力传感器。本实用新型专利技术采用MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪适于小型化设计要求，且成本低廉，易于推广。

A dynamic macro instrument submicron precision gas pressure sensor based on MEMS

The utility model discloses a macro dynamic instrument, submicron precision gas based on MEMS pressure sensor comprises a shell, wherein the shell body is provided with a gas chamber unit, pressure acquisition unit, signal processing unit, a display unit and a sending unit, wherein the gas inlet cavity unit is arranged at the front end and the rear end is provided with a hole and the divided holes and leakage holes, the holes of the through gas path and air pressure data acquisition unit which is connected with the pressure acquisition unit includes a set of MEMS pressure sensor. The utility model adopts submicron precision gas pressure sensor MEMS dynamic instrument for macro design of miniaturization, and low cost, easy popularization.

【技术实现步骤摘要】
一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪
本技术涉及气动测量
，尤其涉及一种基于MEMS压力传感器测量气压并结合气腔装置的压力控制实现多通道亚微米精度测量的微距仪及应用该微距仪的系统。
技术介绍
MEMS压力传感器是一种基于微机电技术的微小测量压力的传感器。与传统的压力传感器相比，具有重量轻、体积小、价格低廉、线性度好、量程大的优点，其在温度稳定性、精度和功耗方面表现突出，因此MEMS压力传感器在气动测量领域具有广阔的应用前景。气动测量具有环境适应性强、测量方法灵活、使用方便、可非接触测量、具备自清洁等特点,在机加工行业得到了广泛的应用。但目前该类量仪的读数方式多为浮标、液柱、指针式等,均靠人工读数,读数误差较大,且易造成误读。更重要的是,气动量仪高精度线性范围较小,体积庞大，不适于小空间、大量程的非接触测量。传统的气动测量仪采用机械指示和手动调校完成，其工作原理要求必须气腔装置外置手动调节标定，因此使用前必须进行现场调节和标定，而且无法完成与其他设备实时通讯，还存在维护费用高、调校困难等缺点。近年来，MEMS技术逐渐成熟，使MEMS压力传感器进行气动测量成为可能。目前，已知一般的气动测量使用传统膜片式压力传感器，由于传统膜片式压力传感器功耗大、成本高，难以小型化，且体积大不方便携带。
技术实现思路
针对现有技术中存在的缺陷和不足，本技术提供一种基于MEMS压力传感器的多通道亚微米精度气动微距仪，以及应用该气动微距仪的系统。本技术的技术方案为：一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪，包括壳体，其特征在于：所述壳体内设置有气腔单元、气压采集单元、信号处理单元、显示单元和发送单元,所述气腔单元前端设置有进气孔，后端设置有出气孔、分压出气孔和漏气孔，所述各孔分别通过气路与气压采集单元相连，所述气压采集单元包括一组MEMS压力传感器，所述MEMS压力传感器通过采集进气孔、出气孔和分压出气孔的气压，信号处理单元根据进气孔的气压值出气孔和分压出气孔的压差计算出待测距离数值，并通过显示单元和发送单元显示和输出测量数据和计算结果。进一步的选择包括：所述信号处理单元包括中央处理器和外围电路，通过与MEMS压力传感器通讯控制并接收、转化采集的各气压数据，并依照设定的数学模型进行运算。进一步的选择包括：所述信号处理单元通过与显示单元和发送单元通讯，进行运算结果的显示和输出。进一步的选择包括：所述显示单元包括显示屏及周边电路，用于将压力和测量数据的显示。进一步的选择包括：所述发送单元包括编码和通讯电路，用于将测量数据及测量运算结果的输出，以及与外部设备交互数据。进一步的选择包括：所述气腔单元、气压采集单元、信号处理单元、显示单元和发送单元分别封装在壳体内。进一步的选择包括：所述气腔单元为分离式的分压腔体，分压腔体内进气压力随出气孔、分压出气孔和漏气孔的分布位置的不同以及孔径的差异自行分配压力。进一步的选择包括：所述漏气孔为非平衡漏气结构,并与大气直通。本技术的技术效果在于：本技术通过采用气腔单元将进气压力控制并分配，气压采集单元将采集进气压力所分配的腔体内的气压和反馈气压，气压采集单元并转换为电信号发送给信号处理单元将此电信号处理计算为压力值和测量距离值并送往显示单元进行显示，信号处理单元同时发送给发送单元进行和外部设备进行交互数据。本技术无需现场标定和调校即可实现非接触、高精度，低功耗的气动测量微小距离应用。适用于对恶劣工作环境、安装尺寸、实时测量及测量精度有较高要求的应用场景。本技术的微距仪基于MEMS压力传感器、气腔装置、信号处理装置，具有体积小、成本低、高速、无需校准和测量精度高等优点。附图说明图1是本技术的装置应用系统图。图2是本技术的实体构造图。图3是本技术的分压腔构造图。图中，S1.气腔装置，S2.气压采集单元，S3.信号处理单元，S4.显示单元，S5.发送单元，S气动微距仪装置，P.供气气源，C.气动测头，O.被测物体。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。在图1中，将系统接入供气压力P，连接检测探头C，对物体O进行测量，物体O与探头C间距为d，则通过S可测量出间距d。在图2中，进气压力P接入到P0中，通过T1将进气分为M，F，L并分别接入P1，Pf，P2，P4中，其中P2和P3相连通，S2中的MEMS压力传感器K1、K2分别测量P1的压力p1和Pf与P2的压力差即p2-p3,然后由S3计算并得出距离d，由S3将数据p1、p2、p3、d数据显示到S4，同时发送到S5，由S5发送到外围计算机。在图3中，G和M、F、L构成T1，进气进入G后由固定尺寸的M、F、L分别的将进气气流分流速流输出，由于后端漏气孔作用便于形成不同气道的压力差。附图中：T1为分压腔；G为分压腔进气腔；M为分压腔出气孔；F为分压腔检测出气孔；L为分压腔漏气孔；P0为供气进气通路；Pf为分压腔出气通路；P1为测量进气T1的出气通路；P2为用于测量反馈出气通路；P3为用于测量的出接通路；P4为漏气通路；p0为供气压强；p1为分压腔压强；p2为分压腔出气孔压压强。本技术中，分压腔T1为分体式结构，分压腔封装在微距仪的壳体内。作为一种实施例，气腔单元为分离式的分压腔体，分压腔体内进气压力随出气孔、分压出气孔和漏气孔的分布位置的不同以及孔径的差异自行分配压力，无须外置复杂气动结构。以上所述为本技术的优选实施方式，对于本领域的技术人员而言，依据本技术的精神和实质还可以做出其它的变形和改进，但这些基于本技术精神和实质的变形和改进均应涵盖于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪，包括壳体，其特征在于：所述壳体内设置有气腔单元、气压采集单元、信号处理单元、显示单元和发送单元,所述气腔单元前端设置有进气孔，后端设置有出气孔、分压出气孔和漏气孔，所述各孔分别通过气路与气压采集单元相连，所述气压采集单元包括一组MEMS压力传感器，所述MEMS压力传感器通过采集进气孔、出气孔和分压出气孔的气压，信号处理单元根据进气孔的气压值出气孔和分压出气孔的压差计算出待测距离数值，并通过显示单元和发送单元显示和输出测量数据和计算结果。

【技术特征摘要】
1.一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪，包括壳体，其特征在于：所述壳体内设置有气腔单元、气压采集单元、信号处理单元、显示单元和发送单元,所述气腔单元前端设置有进气孔，后端设置有出气孔、分压出气孔和漏气孔，所述各孔分别通过气路与气压采集单元相连，所述气压采集单元包括一组MEMS压力传感器，所述MEMS压力传感器通过采集进气孔、出气孔和分压出气孔的气压，信号处理单元根据进气孔的气压值出气孔和分压出气孔的压差计算出待测距离数值，并通过显示单元和发送单元显示和输出测量数据和计算结果。2.如权利要求1所述的亚微米精度气动微距仪，其特征在于：所述信号处理单元包括中央处理器和外围电路，通过与MEMS压力传感器通讯控制并接收、转化采集的各气压数据，并依照设定的数学模型进行运算。3.如权利要求2所述的亚微米精度气动微距仪，其特征在于：所述信...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙明，赵善文，
申请(专利权)人：西安五湖智联半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61