一种柔性触控显示屏的制作方法技术

本发明专利技术提供了一种柔性触控显示屏的制作方法，在所述柔性衬底基板依次形成薄膜晶体管层、OLED显示层以及薄膜封装层，在所述薄膜封装层上依次形成第一绝缘层、第一金属桥、第二绝缘层、第二金属层以及保护层；采用多段式穿透率掩膜板对所述第一光阻层进行图案化处理，在绝缘层中形成不同深度的所述第一接触孔和所述第二接触孔。有益效果：所述制作方法减少了光罩的数量，减少了制程步骤，降低了加工成本，提高了制程效率；另外，所述第一绝缘层的制备阻隔了氧气、水汽对所述OLED显示层的侵蚀，对所述OLED显示层起保护作用。

A method of making a flexible touch screen

【技术实现步骤摘要】
一种柔性触控显示屏的制作方法
本专利技术涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种柔性触控显示屏的制作方法。
技术介绍
在平板显示技术中，有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器具有轻薄、主动发光、响应速度快、可视角大、色域宽、亮度高和功耗低等众多优点，逐渐成为继液晶显示器后的第三代显示技术。相对于LCD(Liquidcrystaldisplays，液晶显示器)，OLED具有更省电，更薄，且视角宽的优势，这是LCD无法比拟的。目前，人们对显示的细腻程度即分辨率要求越来越高，但生产高质量、高分辨率的OLED显示屏仍然面临着许多挑战。目前比较常用的触控技术包括外挂式触控技术和内嵌式触控技术。内嵌式触控技术是指将触摸传感器集成到显示面板内部，由于内嵌式触控技术相比外挂式触控技术能够使显示装置更轻薄，因此内嵌式触控技术应于OLED显示装置更被关注；而外挂式触控技术是将触摸屏嵌入到显示屏的彩色滤光片基板和偏光片之间的方法，即在液晶面板上配触摸传感器，相比内嵌式触控技术难度降低不少。随着柔性显示屏OLED技术的快速发展，要求与之搭配的触摸屏同样需要具有柔性可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性触控显示屏的制作方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S20、在薄膜封装层上依次沉积第一绝缘层、第一金属层，使用第一光罩对所述第一金属层实施第一光罩制程，以在所述薄膜封装层表面形成第一金属桥；步骤S30、在所述第一金属桥表面沉积第二绝缘层，其中，所述第二绝缘层覆盖所述第一金属桥和所述第一绝缘层；步骤S40、使用第一光罩对所述第二绝缘层实施第一光罩制程，以在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中形成第一接触孔和第二接触孔；步骤S50、在所述第二绝缘层表面沉积第二金属层，使用第二光罩对所述第二金属层实施第二光罩制程，以在所述第二绝缘层上形成至少两个第一电极、至少一个第二电极以及多个第三电极，其中，...

【技术特征摘要】
1.一种柔性触控显示屏的制作方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S20、在薄膜封装层上依次沉积第一绝缘层、第一金属层，使用第一光罩对所述第一金属层实施第一光罩制程，以在所述薄膜封装层表面形成第一金属桥；步骤S30、在所述第一金属桥表面沉积第二绝缘层，其中，所述第二绝缘层覆盖所述第一金属桥和所述第一绝缘层；步骤S40、使用第一光罩对所述第二绝缘层实施第一光罩制程，以在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中形成第一接触孔和第二接触孔；步骤S50、在所述第二绝缘层表面沉积第二金属层，使用第二光罩对所述第二金属层实施第二光罩制程，以在所述第二绝缘层上形成至少两个第一电极、至少一个第二电极以及多个第三电极，其中，所述第一电极与所述第二电极相交；步骤S60、在所述第二金属层表面沉积保护层，其中，所述保护层覆盖所述第二金属层和所述第一绝缘层。2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述步骤S20之前，所述制作方法还包括：步骤S10、提供一柔性衬底基板，在所述柔性衬底基板上依次形成薄膜晶体管层、OLED显示层以及所述薄膜封装层。3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述步骤S40包括：步骤S41、在所述第二绝缘层上涂布第一光阻层；步骤S42、利用一具有多段式穿透率的掩膜板对所述第一光阻层进行曝光，经显影后，使所述第一光阻层图案化，形成间隔的第一显影区域和第二显影区域，其中，所述多段式穿透率掩膜板包括第一穿透率区域、第二穿透率区域及第三穿透率区域；步骤S43、对所述第一显影区域和所述第二显影区域进行同一蚀刻工艺，以在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层上形成所述第一接触孔和所述第二接触孔；步骤S44、剥离所述第一光阻层。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶剑，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42