一种GeSn隧穿场效应晶体管制造技术

本实用新型专利技术涉及一种GeSn隧穿场效应晶体管，该晶体管包括：衬底材料101、Ge层102、GeSn外延层103、栅介质层104、栅极层105、源区106以及漏区107；其中，所述Ge层102、所述GeSn外延层103、所述栅介质层104以及所述栅极层105依次设置于所述衬底材料101上；所述源区106和所述漏区107分别设置于所述N型GeSn外延层103两侧。本实用新型专利技术提供的GeSn隧穿场效应晶体管结构亚阈效应小，可以提高隧穿场效应晶体管器件的电流驱动。

A GeSn tunneling field effect transistor

The utility model relates to a GeSn tunneling field effect transistor, the transistor includes a substrate material layer 102, 101, Ge 103, GeSn epitaxial layer gate dielectric layer 104 and layer 105, 106 gate source region and a drain region 107; among them, the Ge layer 102, the layer of GeSn 103, the the gate dielectric layer 104 and the gate layer 105 are arranged on the 101 substrate; the source region and the drain region 106 and 107 are respectively arranged on the N type GeSn epitaxial layer on both sides of the 103. The GeSn tunneling field effect transistor provided by the utility model has small subthreshold effect and can improve the current drive of the tunneling field effect transistor device.

【技术实现步骤摘要】
一种GeSn隧穿场效应晶体管
本技术属半导体器件
，特别涉及一种GeSn隧穿场效应晶体管。
技术介绍
为满足新一代移动计算设备工作时间的要求，CMOS逻辑电路的功耗需要进一步减小。降低MOS晶体管的工作电压VDD可以有效降低CMOS逻辑电路的功耗，但是为确保电路能逻辑功能的可靠实现，MOS场效应晶体管的开/关态电流比必须足够高，因此要求构成逻辑电路的晶体管具有小的亚阈斜率。而受限于载流子的热扩散过程，MOS场效应晶体管的亚阈斜率S≥60mV/dec(室温)。另一方面，大的亚阈斜率也会导致晶体管开关过程中的动态功耗变大。为克服上述困难，人们提出了不受亚阈斜率S≥60mV/dec限制的、基于量子效应的隧穿场效应晶体管以替代传统MOS场效应晶体管。隧穿场效应晶体管器件主要采用带隧穿效应作为控制电流的主要机制，利用栅电极控制器件隧穿结处电场、电势的分布，影响隧穿的发生，当满足隧穿条件时器件处于开启状态，当不满足隧穿条件时器件的电流迅速下降，器件处于关断状态，隧穿场效应晶体管器件的亚阈值斜率不受传统MOSFET器件室温下亚阂值摆幅极限值的限制，在理论上可以实现超陡峭的亚阈值斜率。但是由于隧穿晶体管的开态电流较小，使其电路性能不足，应用受限。
技术实现思路
为了提高现有隧穿场效应晶体管的性能，本技术提供了一种GeSn隧穿场效应晶体管；本技术要解决的技术问题通过以下技术方案实现：本技术的实施例提供了一种GeSn隧穿场效应晶体管，包括：衬底材料101；Ge层102，设置于所述衬底材料101上表面；GeSn外延层103，设置于所述Ge层102上表面；栅介质层104，设置于所述GeSn外延层103上表面；栅极层105，设置于所述栅介质层104上表面；源区106和漏区107，分别设置于所述GeSn外延层103两侧。在本技术的一个实施例中，所述衬底材料101为掺杂浓度为5×1018cm-3的P型单晶Si材料。在本技术的一个实施例中，所述Ge层102厚度为200～300nm。在本技术的一个实施例中，所述GeSn外延层103的厚度为146nm。在本技术的一个实施例中，所述栅介质层104的厚度为0.7nm；所述栅极层105的厚度为0.7nm。与现有技术相比，本技术提供的GeSn隧穿场效应晶体管较于传统MOS器件，该结构亚阈效应小，可以解决短沟效应；相对于传统Si材料，GeSn材料的载流子迁移率提高了数倍有效的提高隧穿场效应晶体管的开态电流了，而且通过对Sn组分的调节使间接带隙材料转化为直接带隙材料，增加载流子隧穿几率，从而提高了隧穿场效应晶体管器件的电流驱动。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。通过以下参考附图的详细说明，本技术的其它方面和特征变得明显。但是应当知道，该附图仅仅为解释的目的设计，而不是作为本技术的范围的限定，这是因为其应当参考附加的权利要求。还应当知道，除非另外指出，不必要依比例绘制附图，它们仅仅力图概念地说明此处描述的结构和流程。图1为本技术实施例提供的一种GeSn隧穿场效应晶体管结构示意图；图2a-图2k为本技术实施例的一种GeSn隧穿场效应晶体管制备方法示意图。具体实施方式下面结合具体实施例对本技术做进一步详细的描述，但本技术的实施方式不限于此。实施例一请参见图1，图1为本技术实施例提供的一种GeSn隧穿场效应晶体管结构示意图，其中，GeSn隧穿场效应晶体管包括：衬底材料101；Ge层102，设置于所述衬底材料101上表面；GeSn外延层103，设置于所述Ge层102上表面；栅介质层104，设置于所述GeSn外延层103上表面；栅极层105，设置于所述栅介质层104上表面；源区106和漏区107，分别设置于所述GeSn外延层103两侧。优选地，所述衬底材料101为掺杂浓度为5×1018cm-3的P型单晶Si材料。优选地，所述Ge层102厚度为200～300nm。优选地，所述GeSn外延层103的厚度为146nm。其中，所述GeSn外延层103的掺杂离子为BF2+，掺杂浓度为8×1016cm-2。优选地，所述栅介质层104的厚度为0.7nm；所述栅极层105的厚度为0.7nm。优选地，所述源区106的掺杂离子为BF2+，掺杂浓度为1×1019cm-2；所述漏区107的掺杂离子为P+，掺杂浓度为2×1018cm-2。本实施例，采用窄禁带直接带隙材料GeSn外延层，解决了隧穿场效应晶体管的驱动电流较小问题，实现了晶体管超陡峭的亚阈值斜率的同时具有较高驱动电流的效果。实施例二请参照图2a-图2k，图2a-图2k为本技术实施例的一种GeSn隧穿场效应晶体管制备方法示意图，制备GeSn隧穿场效应晶体管包括如下步骤：S101、衬底选取。选取掺杂浓度为5×1018cm-3的P型单晶硅(Si)衬底片(001)为初始材料001；S102、Ge外延层生长。如图2a所示，在500℃～600℃温度下，采用CVD工艺在Si衬底材料001表面生长200～300nmP型掺杂的Ge外延层002；S103、保护层的制备。如图2b所示，采用化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition,CVD)工艺在Ge外延层表面上生长100～150nmSiO2层003；S104、Ge外延层的晶化及保护层刻蚀。将包括单晶Si衬底、Ge外延层及SiO2层的整个衬底材料加热至700℃，连续采用激光再晶化工艺晶化整个衬底材料，其中，激光波长为808nm，激光光斑尺寸10mm×1mm，激光功率为1.5kW/cm2，激光移动速度为25mm/s，自然冷却整个衬底材料，采用干法刻蚀工艺刻蚀SiO2层003，得到由直接外延的Ge材料002再晶化后形成的高质量Ge层材料004如图2c所示；S105、i-GeSn外延层生长。如图2d所示：在H2氛围中将温度降到350℃以下，SnCl4和GeH4分别作为Sn和Ge源。GeH4/SnCl4气体流量比为6.14～6.18(由Ge/Sn组分决定，此处我们生长的是x＝0.86的GexSn1-x的锗锡材料)。生长146nm厚的无掺杂的GeSn外延层005；S106、GeSn外延层掺杂。如图2e所示，对GeSn外延层用离子注入的方式，注入8×1016cm-2的BF2+，形成P型轻掺杂的GeSn外延层006。S107、淀积绝缘层与导电层。如图2f所示，淀积等效氧化层厚度(EOT，equivalentoxidethickness)为0.7nm的高k栅介质层与栅极材料层007、008。S108、栅叠层光刻。如图2g、图2h所示：S1081、淀积形成第一层光刻胶009，掩膜曝光光刻出栅叠层区的图形。S1082、分别刻蚀掉导电层与绝缘层，直到露出半导体。S1083、去除第一层光刻胶009。S109、源区定义。如图2i所示：S1091、淀积形成第二层光刻胶010，光刻出源区的注入图形。S1092、离子注入能量35keV，剂量为1×1019cm-2的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种GeSn隧穿场效应晶体管，其特征在于，包括：衬底材料(101)；Ge层(102)，设置于所述衬底材料(101)上表面；GeSn外延层(103)，设置于所述Ge层(102)上表面；栅介质层(104)，设置于所述GeSn外延层(103)上表面；栅极层(105)，设置于所述栅介质层(104)上表面；源区(106)和漏区(107)，分别设置于所述GeSn外延层(103)两侧。

【技术特征摘要】
1.一种GeSn隧穿场效应晶体管，其特征在于，包括：衬底材料(101)；Ge层(102)，设置于所述衬底材料(101)上表面；GeSn外延层(103)，设置于所述Ge层(102)上表面；栅介质层(104)，设置于所述GeSn外延层(103)上表面；栅极层(105)，设置于所述栅介质层(104)上表面；源区(106)和漏区(107)，分别设置于所述GeSn外延层(103)两侧。2.根据权利要求1所述的隧穿场效应晶体管，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张捷，
申请(专利权)人：西安科锐盛创新科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61