The invention discloses a sealing structure for magnetic fluid in a concentric biaxial, comprising a hollow shell, is arranged in the inner cavity of the casing inside the hollow shaft and the outer shaft; the internal shaft and the outer shaft through the bearing assembly connected with the shell by the outer shaft bearing assembly, outer shaft and the inner shaft is a stepped shaft in radial direction; between the inner and outer surface of the shaft outer shaft wall is provided with at least one first permanent magnet, each of the first permanent magnets are respectively arranged on both sides of the first pole piece is provided with a multistage step outside; the outer surface of the shaft, at least one of the second permanent magnets arranged in radial direction between the surface and the inner wall of the shell in the outer shaft on the outside of the each one of the second permanent magnets are respectively arranged on both sides of the pole piece, and every second is a ladder which boots are arranged. The inner and outer shaft which can provide two sets of power is designed in the form of stepped shaft, which reduces the loss of magnetic fluid when the seal fails, and greatly improves the sealing and withstanding capacity and reliability.
【技术实现步骤摘要】
一种用于同心双轴的磁流体密封结构
本专利技术具体涉及一种用于同心双轴的磁流体密封结构,尤其适用于硅片传输机器人真空动密封。
技术介绍
磁流体密封具有密封件之间无固体摩擦、密封件使用寿命长、可实现零泄漏等优点。其中,最主要的应用之一是用于对转轴的密封,如真空密封(离子注入机、x射线衍射仪等)、气体密封(x射线管等)、液体密封(深水泵、舰船螺旋推进器轴等)以及防尘密封(纺织机械、计算机硬盘等)等。提高大间隙下磁性流体密封耐压性能的方法之一是通过改进磁性流体密封结构,如中国专利CN206320304U和CN203348559U所述的密封装置。尽管以上专利文献所述的两种密封装置相对普通磁性流体密封性能得到极大的提高,但其密封性能仍旧达不到真空等特殊工况的高密封性能要求。磁流体密封是实现硅片传输机器人真空动密封一种有效可行的方法,磁流体密封的结构设计对密封耐压能力的影响较大,合理设计磁流体的密封结构,可以有效地提高密封耐压能力。现有的最接近的实现硅片传输机器人真空动密封的磁流体密封结构如硕士学位论文《硅片传输机器人磁流体密封的研究与设计》中的图5.2所示,包括带中空腔的外壳、内轴、带有中空腔的外轴,内轴和外轴之间设置永磁体和极靴进行磁流体密封,外轴和外壳之间设置永磁体和极靴进行磁流体密封。极靴内圈设有极齿,相邻极齿之间为齿槽。该种结构主要存在如下缺陷:1.在内外轴上,进行磁流体密封的区域段均是光轴段,一旦磁流体发生泄漏,会导致完全泄漏,密封失效。2.磁流体的密封采用的是单级密封,单个永磁体的供磁能力有限,难以达到真空密封的要求。
技术实现思路
针对上述问题,本专利技术旨 ...
【技术保护点】
一种用于同心双轴的磁流体密封结构,包括中空的壳体(2)、设置于壳体(2)内腔的内轴(16)及中空的外轴(1);内轴(16)与外轴(1)通过轴承装配连接,外轴(1)与壳体(2)通过轴承装配连接,其特征在于:所述外轴(1)和内轴(16)均为阶梯轴;在内轴(16)外表面与外轴(1)内壁之间的径向方向上设有至少一个第一永磁体(7),每一个第一永磁体(7)两侧分别设有第一极靴(6);第一极靴(6)与内轴(16)外表面之间存在间隙,间隙处注有磁流体;在外轴(1)外表面设有多级阶梯,在外轴外表面与壳体(2)内壁之间的径向方向上设有至少一个第二永磁体(22),每一个第二永磁体(22)两侧分别设有第二极靴(20),且每一个第二极靴(20)均正对其中一级阶梯布置;第二极靴(20)与外轴(1)外表面之间存在间隙,间隙处注有磁流体。
【技术特征摘要】
1.一种用于同心双轴的磁流体密封结构,包括中空的壳体(2)、设置于壳体(2)内腔的内轴(16)及中空的外轴(1);内轴(16)与外轴(1)通过轴承装配连接,外轴(1)与壳体(2)通过轴承装配连接,其特征在于:所述外轴(1)和内轴(16)均为阶梯轴;在内轴(16)外表面与外轴(1)内壁之间的径向方向上设有至少一个第一永磁体(7),每一个第一永磁体(7)两侧分别设有第一极靴(6);第一极靴(6)与内轴(16)外表面之间存在间隙,间隙处注有磁流体;在外轴(1)外表面设有多级阶梯,在外轴外表面与壳体(2)内壁之间的径向方向上设有至少一个第二永磁体(22),每一个第二永磁体(22)两侧分别设有第二极靴(20),且每一个第二极靴(20)均正对其中一级阶梯布置;第二极靴(20)与外轴(1)外表面之间存在间隙,间隙处注有磁流体。2.根据权利要求1所述的用于同心双轴的磁流体密封结构,其特征在于:所述轴承设有多个,包括与内轴(16)的台肩抵接的第一轴承(29)和第二轴承(18)、与外轴(1)的台肩抵接的第三轴承(3)和第四轴承(14);所述外轴(1)内腔一端设有第一台阶(30),第一轴承(29)另一端面与该第一台阶(30)抵接,第二轴承(18)通过内端盖(17)压紧密封于外轴(1)内腔;所述壳体(2)内腔一端设有第二台阶(...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨小龙,陈帆,郝付祥,孙彭,何美丽,郭星,
申请(专利权)人:广西科技大学,
类型:发明
国别省市:广西,45
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