一种自动检知泵内漏水的侦测系统技术方案
An automatic detection system for the leakage of water in the pump
The invention discloses a method for automatically detecting the pump Water Leakage detection system, including the Water Leakage detecting line, laying in the water storage tank in the vacuum pump, vacuum pump cooling for the detection of rubber tube whether there will be water outflow; vacuum pump controller, connecting Water Leakage detecting line, to receive the signal processing and output warning signal feedback to the vacuum pump. In the technical scheme of the invention has the advantages of a detection system of automatic detection Water Leakage pump, which can automatically detect Water Leakage vacuum inside the pump body, and the first time in a feedback and laying device has simple structure, low cost, low difficulty of reform, improve the speed Water Leakage safety accidents, improve the Water Leakage security efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种自动检知泵内漏水的侦测系统
本专利技术涉及半导体检测
，尤其涉及一种自动检知泵内漏水的侦测系统。
技术介绍
随着半导体工艺的不断进步，工艺精度的不断提高，对真空泵的要求不单单只是在性能上进行改进，对其整体的安全防护措施也逐步列为半导体厂的硬性需求范围。在现有技术中，由于真空泵使用的橡胶水管在运行一定时间后存在老化或者腐蚀的现象，水滴就会流出，半导体厂内的漏水检知设施只能侦测设备外围地面的漏水情况，而无法得知设备内部是否有水，一般情况下，是设备的内部漏水到一定程度后溢出，才会触碰厂务漏水侦测系统，有一定的滞后性。当设备大面积漏水时，影响其他设备的正常工作，并且修复工作复杂，从而影响安全防护效率。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，现提供旨在一种装置铺设结构简单，改造难度低的自动检知泵内漏水的侦测系统。具体技术方案如下：一种自动检知泵内漏水的侦测系统，其中包括，漏水检知线，铺设于所述真空泵内的蓄水槽内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴流出；真空泵控制器，连接所述漏水检知线，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至所述真空泵机台。优选...
【技术保护点】
一种自动检知泵内漏水的侦测系统，适用于真空泵装置，其特征在于，包括：漏水检知线，铺设于所述真空泵内的蓄水槽内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴流出；真空泵控制器，连接所述漏水检知线，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至所述真空泵机台。
【技术特征摘要】
1.一种自动检知泵内漏水的侦测系统，适用于真空泵装置，其特征在于，包括：漏水检知线，铺设于所述真空泵内的蓄水槽内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴流出；真空泵控制器，连接所述漏水检知线，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至所述真空泵机台。2.根据权利要求1所述的侦测系统，其特征在于，所述漏水检知线铺设于所述真空泵内的蓄水槽的四周。3.根据权利要求2所述的侦测系统，其特征在于，所述真空泵内的蓄水槽的四周贴着边缘进行布线。4...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾颖豪，袁海岭，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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