一种一键式激活数据收集项目的方法技术

本发明专利技术公开了一种一键式激活数据收集项目的方法，包括步骤S1：对工艺项目进行量测；步骤S2：将量测后的修正的工艺规格数据输入工艺项目并更新完毕；步骤S3：将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；步骤S4：在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。本发明专利技术能减少激活生效时间，使用方便快捷，通过一键控制的方式来完成，系统能自动把所有选择项目执行冻结激活，提高作业效率。

【技术实现步骤摘要】
一种一键式激活数据收集项目的方法
本专利技术涉及一种半导体工艺，尤其涉及一种一键式激活数据收集项目的方法。
技术介绍
集成电路生长过程和器件的制造过程中，对每道工艺都必须进行一系列的量测，来判断工艺是否符合标准，每次量测都会根据预设的规格来卡控是否超出标准，进一步调整以下工艺的作业，为了更好的呈现工艺的良率，对工艺中关键制程的尺寸也会越来越紧，每次调整都会进行大量数据的维护，过程复杂而繁琐，最后数据更新完毕之后需要申请者确认精确无误之后，才能激活生效所有项目，每一个项目都必须执行两个步骤，首先是冻结，再是激活，原先我们对数据维护的项目在最后进行冻结激活作业时，只能根据每一个项目做两个操作，冻结再激活，这项数据才能被调用到，如果一整个产品的数据都需要维护的情况下，反复操作不但耗时也有出错的风险。
技术实现思路
本专利技术为解决现有技术中的上述问题提供了一种简单快捷，减少繁琐的工程量的一种一键式激活数据收集项目的方法。为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种一键式激活数据收集项目的方法，包括步骤S1：对集成电路生长过程和器件的制造过程中的工艺项目进行量测；步骤S2：将量测后的修正的工艺规格数据输入工艺项目并更新完毕；步骤S3：将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；步骤S4：在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。为了进一步优化上述技术方案，本专利技术所采取的技术措施为：优选的，所述步骤S4中的选定维护后的工艺项目的具体操作为：步骤S41：在操作面板上选择项目名称或数据维护人员菜单；步骤S42：进入项目名称或数据维护人员菜单后点选维护后的工艺项目；优选的，步骤S3中所述维护后的工艺项目的信息包括工艺项目的具体运行时间、转速、温度、大气压数据。优选的，步骤S3中所述维护后的工艺项目的信息还包括具体的维护时间信息。优选的，步骤S42中所述数据维护人员菜单下的维护后的工艺项目以维护时间分类。优选的，所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以维护时间分类。优选的，所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以工艺种类进行分类。优选的，所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以首字母名称进行分类。本专利技术采用上述技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：本专利技术能减少激活生效时间，使用方便快捷，通过一键控制的方式来完成，根据工艺项目或者维护人员菜单来筛选出需要激活的所有项目，点击激活按钮，系统能自动把所有选择项目执行冻结激活，原本做一个项目的时间，可用来做多个项目，提高作业效率。在最后冻结激活阶段，原先只能根据每一个项目做两个操作，冻结再激活，每个项目大致15秒，一个产品400多个项目，大致需要1.6小时。现在只需要按一个按钮，系统一次性完成冻结激活作业，所有项目耗时大致1分钟左右。附图说明图1为本专利技术的一种优选实施例的一键式激活数据收集项目的方法的总流程图；图2为本专利技术的一种优选实施例的步骤S4的选定维护后的工艺项目的具体工艺流程的流程图。具体实施方式本专利技术提供了一种一键式激活数据收集项目的方法。图1为本专利技术的一种优选实施例的一键式激活数据收集项目的方法的总流程图；图2为本专利技术的一种优选实施例的步骤S4的选定维护后的工艺项目的具体工艺流程的流程图。下面通过具体实施例对本专利技术进行详细和具体的介绍，以使更好的理解本专利技术，但是下述实施例并不限制本专利技术范围。如图1和2所示，本实施例的一键式激活数据收集项目的方法，包括步骤S1：数据维护人员对集成电路生长过程和器件的制造过程中的每项工艺项目进行量测；步骤S2：数据维护人员将量测后的修正的工艺规格数据输入每项工艺项目并更新完毕；具体的步骤S2包括步骤S21，数据维护人员对工艺项目进行量测后与实际的生产产品参数进行比对；步骤S22，根据实际的生产产品参数对工艺项目的参数进行调整，使其调整到标准产品的对应的工艺项目的参数；步骤S23，将更新后的工艺项目的参数输入工艺项目；步骤S3：数据维护人员将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；具体的步骤S3中所述维护后的工艺项目的信息包括工艺项目的具体运行时间、转速、温度、大气压、压强等数据，还包括具体的维护时间信息。步骤S4：数据维护人员在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；具体的步骤S4包括步骤S41：在操作面板上选择项目名称或数据维护人员菜单；步骤S42：进入项目名称或数据维护人员菜单后点选维护后的工艺项目；步骤S42中所述数据维护人员菜单下的维护后的工艺项目以维护时间分类。所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以维护时间分类或工艺种类分类或首字母名称分类。步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。所述的冻结程序具体为将修正的工艺规格数据进行锁定；所述的激活程序具体为：启动维护后的工艺项目，并按修正的工艺规格数据运行机器；所述冻结激活程序为先冻结再激活，即先锁定工艺规格数据，再按此数据运行机器。综上所述，依据本专利技术能简化工作人员获取目标数据并冻结激活的操作步骤，降低了运营人员运行多项目的工作量，同时大幅度提高了项目运行的数量和质量，平均每位工作人员每次维护的时间大大减少。本专利技术能减少激活生效时间，使用方便快捷，通过一键控制的方式来完成，根据产品名称或者维护时间或维护人员来筛选出需要激活的所有项目，点击激活按钮，系统能自动把所有选择项目执行冻结激活，原本做一个项目的时间，可用来做多个项目，提高作业效率。在最后冻结激活阶段，原先只能根据每一个项目做两个操作，冻结再激活，每个项目大致15秒，一个产品400多个项目，大致需要1.6小时。现在只需要按一个按钮，系统一次性完成冻结激活作业，所有项目耗时大致1分钟左右。以上对本专利技术的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本专利技术并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本专利技术进行的等同修改和替代也都在本专利技术的范畴之中。因此，在不脱离本专利技术的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本专利技术的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：包括步骤S1：对集成电路生长过程和器件的制造过程中的工艺项目进行量测；步骤S2：将量测后的修正的工艺规格数据输入工艺项目并更新完毕；步骤S3：将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；步骤S4：在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。

【技术特征摘要】
1.一种一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：包括步骤S1：对集成电路生长过程和器件的制造过程中的工艺项目进行量测；步骤S2：将量测后的修正的工艺规格数据输入工艺项目并更新完毕；步骤S3：将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；步骤S4：在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。2.根据权利要求1所述的一键式激活数据收集项目的方法，其特征在于：所述步骤S4中的选定维护后的工艺项目的具体工艺流程为：步骤S41：在操作面板上选择项目名称或数据维护人员菜单；步骤S42：进入项目名称或数据维护人员菜单后点选维护后的工艺项目。3.根据权利要求1所述的一键式激活数据收集项目...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱燕萍，邵雄，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31