光扫描装置以及光扫描装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，能够减少光扫描装置的破损、材料疲劳。一实施方式的光扫描装置具备具有光反射面的反射镜、支撑上述反射镜的可动框、从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁、设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源、支撑上述驱动梁的固定框，上述驱动源具备形成在上述驱动梁上的下部电极、形成在上述下部电极上的压电薄膜、形成在上述压电薄膜上的上部电极、形成在上述上部电极上或上述压电薄膜与上述上部电极之间并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜。

【技术实现步骤摘要】
光扫描装置以及光扫描装置的制造方法
本专利技术涉及光扫描装置以及光扫描装置的制造方法。
技术介绍
一直以来，所熟知具备具有反射入射光的光反射面的可动板、可旋转地轴支撑可动板的扭力梁、在扭力梁上作用扭转方向的力的驱动源的光扫描装置(例如，参照专利文献1)。在该光扫描装置中，为了抑制转动时的光反射面的歪曲，在包括可动板与扭力梁的连接部分附近的下面形成肋。现有技术文献专利文献1：日本特开2010-128116号公报可是，在上述专利文献1中记载的光扫描装置中存在应力集中在肋附近而容易产生破损的这种问题。另外，即使没有达到破损的程度，由于在肋附近反复施加应力，存在产生材料疲劳而引起性能劣化的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述方面的专利技术，其目的在于减少光扫描装置的破损、材料疲劳。为了实现上述目的，涉及本专利技术一方案的光扫描装置1000具备具有光反射面的反射镜110、支撑上述反射镜110的可动框160、从两侧支撑上述可动框160的一对驱动梁170A、170B、设置于上述驱动梁170A、170B并使上述可动框160绕预定的轴摆动的驱动源171A、171B、支撑上述驱动梁170A、170B的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光扫描装置，其特征在于，具备：具有光反射面的反射镜；支撑上述反射镜的可动框；从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁；设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源；以及支撑上述驱动梁的固定框，上述驱动源具备：形成在上述驱动梁上的下部电极；形成在上述下部电极上的压电薄膜；形成在上述压电薄膜上的上部电极；以及形成于上述上部电极或上述压电薄膜与上述上部电极之间，并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜。

【技术特征摘要】
2016.09.29 JP 2016-1912931.一种光扫描装置，其特征在于，具备：具有光反射面的反射镜；支撑上述反射镜的可动框；从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁；设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源；以及支撑上述驱动梁的固定框，上述驱动源具备：形成在上述驱动梁上的下部电极；形成在上述下部电极上的压电薄膜；形成在上述压电薄膜上的上部电极；以及形成于上述上部电极或上述压电薄膜与上述上部电极之间，并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，在上述反射镜静止的状态下，上述驱动梁以相对于上述固定框挠曲的状态被支撑。3.根据权利要求2所述的光扫描装置，其特征在于，上述驱动梁以向与在上述光扫描装置进行动作时弯曲的方向相反的方向挠曲的状态被支...

【专利技术属性】
技术研发人员：丸山佑纪，山田司，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP