一种用于光刻机的双弧形电机平台制造技术
A double arc motor platform for photolithography
The utility model provides a platform for double arc motor, photoetching machine includes a base, base on both ends of the end face of the mirror symmetry is provided with two arc motor components, each arc motor assembly includes a curved guide rail, the arc-shaped guide rail guide is arranged on the outer side of the slider, the slide block is arranged on the motor rotor magnetic arc rail, motor outboard arc magnetic rail is correspondingly provided with a curved stator coil, arc motor stator coil is fixed on the base, the two curved rotor magnetic rail is connected with a common adsorption platform. The double arc motor platform for the lithography machine provided by the utility model adopts a double arc motor instead of a direct drive rotary motor, which has large torque, small occupying space, strong platform stability and high mechanical strength.
【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻机的双弧形电机平台
本技术涉及一种加工平台，尤其涉及一种针对玻璃加工行业所用光刻机的双弧形电机平台。
技术介绍
在玻璃加工行业，需要体积较大的吸附平台放置被加工玻璃。第五代光刻机是激光头动作，加工平台是静止的，激光头频繁的动作会影响其精确性。目前采取的解决方案是让加工平台也可以做一些动作，类似来回旋转，这样就可以减少激光头的动作次数，增加光刻机整个系统精确度。但是加工平台一般体积较大，负载较大，利用一个旋转电机带动旋转，扭矩不足，若想达到理想的扭矩，电机体积会很大，会占据很大的空间，另外，仅靠一个旋转电机来驱动平台旋转，平台稳定性差、机械强度不足。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种用于光刻机的双弧形电机平台，扭矩大，占据空间小，平台稳定性强、机械强度高。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：一种用于光刻机的双弧形电机平台，包括基座，所述基座上端面的两端镜像对称设置有两个弧形电机组件，每个所述弧形电机组件包括一个弧形导轨，所述弧形导轨上设置有导轨滑块，所述导轨滑块的外侧面设置有弧形电机动子磁轨，所述弧形电机动子磁轨的外侧...
【技术保护点】
一种用于光刻机的双弧形电机平台，其特征在于：包括基座，所述基座上端面的两端镜像对称设置有两个弧形电机组件，每个所述弧形电机组件包括一个弧形导轨，所述弧形导轨上设置有导轨滑块，所述导轨滑块的外侧面设置有弧形电机动子磁轨，所述弧形电机动子磁轨的外侧对应设置有弧形电机定子线圈，所述弧形电机定子线圈固定在所述基座上，两个所述弧形电机动子磁轨的上端共同连接有吸附平台。
【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机的双弧形电机平台，其特征在于：包括基座，所述基座上端面的两端镜像对称设置有两个弧形电机组件，每个所述弧形电机组件包括一个弧形导轨，所述弧形导轨上设置有导轨滑块，所述导轨滑块的外侧面设置有弧形电机动子磁轨，所述弧形电机动子磁轨的外侧对应设置有弧形电机定子线圈，所述弧形电...
【专利技术属性】
技术研发人员：周朝渊，张世龙，唐守杰，
申请(专利权)人：雅科贝思精密机电上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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