温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种用于光刻机的双弧形电机平台，包括基座，基座上端面的两端镜像对称设置有两个弧形电机组件，每个弧形电机组件包括一个弧形导轨，弧形导轨上设置有导轨滑块，导轨滑块的外侧面设置有弧形电机动子磁轨，弧形电机动子磁轨的外侧对应设置有弧...
该专利属于雅科贝思精密机电（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过雅科贝思精密机电（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。