曝光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种曝光装置(1)，该曝光装置(1)的光照射部(10)设置于载置曝光对象物(W)的工作台(21)的上方，且设置为能够装卸棒状的光源(11)，关于该光照射部(10)，在曝光时将光照射部(10)配置为光源(11)的长边方向与曝光对象物(W)的扫描方向正交，且在更换光源(11)时使光照射部(10)从曝光时的位置旋转大致45度以上。由此，能够有效利用曝光装置(1)外的空间。

Exposure device

The utility model provides an exposure device (1), the exposure apparatus (1) light irradiation part (10) is arranged on the mounting exposure object (W) of the table (21) above, and is set as light source to be loading rod (11), on the light irradiation part (10) when the light irradiation, the exposure of (10) is configured as light source (11) a long side direction and the exposure object (W) orthogonal to the scanning direction, and to replace the light source (11) when the light irradiation part (10) from the rotational position during exposure to roughly 45 degrees. Thus, the space outside the exposure device (1) can be effectively used.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】曝光装置
本技术涉及曝光装置。
技术介绍
专利文献1公开了一种偏振光曝光装置，其具备光源和沿着光源延伸设置的偏振膜，且使从光源出射的光穿过偏振膜而照射至被曝光面。在该偏振光曝光装置中，根据检偏器的旋转方向来设定偏振轴的方向，以使接收通过检偏器后的光的受光量检测器的输出成为极大的方式使偏振光照射部旋转。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-182085号公报
技术实现思路
技术所要解决的课题在专利文献1所记载的技术那样的使用偏振光来进行曝光的曝光装置中，在光源的被曝光面侧配置有偏振膜。图13是表示以往的使用偏振光进行曝光的曝光装置100的简要情况的图。曝光装置100主要具有光源101、光源用框体102、偏振膜103、工作台104、相机105以及装置框106。光源101设置于光源用框体102的内部，在光源101的下侧(-z侧)设置有偏振膜103。具有被曝光面的被曝光对象物W载置于工作台104。相机105用于被曝光对象物W的定位。从光源101向下方(-z方向)出射的光穿过偏振膜103而照射至被曝光对象物W的被曝光面。偏振膜103设置于光源101的下侧，因此在更换光源101时需要沿着长边本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光装置，其特征在于，具备：工作台，其载置曝光对象物；光照射部，其设置为能够装卸棒状的光源，且设置于所述工作台的上方；以及光源保持部，其在曝光时将所述光照射部配置为所述光源的长边方向与所述曝光对象物的扫描方向正交，且在更换所述光源时使所述光照射部从所述曝光时的位置旋转大致45度以上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.25 JP 2014-2622201.一种曝光装置，其特征在于，具备：工作台，其载置曝光对象物；光照射部，其设置为能够装卸棒状的光源，且设置于所述工作台的上方；以及光源保持部，其在曝光时将所述光照射部配置为所述光源的长边方向与所述曝光对象物的扫描方向正交，且在更换所述光源时使所述光照射部从所述曝光时的位置旋转大致45度以上。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述工作台能够沿着所述扫描方向从第一位置向第二位置移动，所述曝光装置具备移动单元，该移动单元在所述工作台位于所述第一位置或所述第二位置的情况下，使所述曝光对象物向所述工作台移动或使所述曝光对象物从所述工作台移动，所述光照射部将所述光源保持为，在更换所述光源时能够向未设置有所述移动单元的一侧拔出所述光源。3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，具备：摄像...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本和重，新井敏成，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：新型
国别省市：日本,JP