一种扫描场镜畸变校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种扫描场镜畸变校准装置，包括扫描头组件、场镜组件、光掩膜、固定件、光学原件、安装块、滑轨、滑块和遮光板，场镜组件和扫描头组件均安装在安装架上，扫描头组件设置在场镜组件左侧，光学原件设置在场镜组件的正下方，光掩膜通过固定件可拆卸式固定在光学原件上端面，固定件通过铰链安装在光学原件上端面，两个安装块对称固定在场镜组件下端，两个滑轨分别对称固定在安装块右端面，两个滑块分别位于两个滑轨内部，本实用新型专利技术可以使用同轴成像、照明、和一个标准件（光掩模）来校准场镜的畸变和验证畸变校准后的精度，结构简单，方法上很直接，无需使用激光打印工件，无需使用离线测量设备。

A scanning field mirror distortion calibration device

The utility model relates to a scanning field lens distortion calibration device, including scanning head component, field lens assembly, photomask, fixture, optical components, mounting block, slide, slide and shading plate, field lens assembly and scanning head assemblies are mounted on the mounting bracket assembly is arranged on the scan head mirror assembly on the left, the optical components are arranged just below the field lens assembly, photomask by fixing pieces fixed detachably on the end face of optical components, fixed by hinge on the end face of optical components, the installation of two symmetrical fixed mirror component is present, two slide rails are respectively and symmetrically fixed on the right end of the mounting block, two the slider at two slide inside, the utility model can use coaxial imaging, lighting, and a standard (mask) to calibrate the field lens distortion and distortion calibration accuracy verification, The structure is simple, the method is very direct, no need to use laser to print the workpiece, no need to use off-line measurement equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种扫描场镜畸变校准装置
本技术涉及激光加工领域，具体为一种扫描场镜畸变校准装置。
技术介绍
目前，公知的扫描场镜畸变校准是使用激光在加工件上打一个规则的二维图案，然后使用精准的XY平移台测量图案的坐标误差。然后把测量到的误差反馈给扫描头，用来补偿激光扫描场镜的畸变。但是，这种场镜误差校准方法很不方便，第一它需要使用竞争的XY平移台和一个成像系统来测量图案的误差，第二它还需要使用大小合适的工件来打印激光图案，第三还需要使用激光在另一个工件上打验证图案来验证畸变校准后的精度。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种扫描场镜畸变校准装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术使用方便，操作简单，系统性高，实用性强。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种扫描场镜畸变校准装置，包括装置主体和遮光机构，所述装置主体包括包括扫描头组件、场镜组件、光掩膜、固定件和光学原件，所述场镜组件和扫描头组件均安装在安装架上，所述扫描头组件设置在场镜组件左侧，所述光学原件设置在场镜组件的正下方，所述光掩膜通过固定件可拆卸式固定在光学原件上端面，所述固定件通过铰链安装在光学原件上端面，所述遮光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描场镜畸变校准装置，包括装置主体和遮光机构（6），其特征在于：所述装置主体包括扫描头组件（1）、场镜组件（2）、光掩膜（3）、固定件（4）和光学原件（5），所述场镜组件（2）和扫描头组件（1）均安装在安装架上，所述扫描头组件（1）设置在场镜组件（2）左侧，所述光学原件（5）设置在场镜组件（2）的正下方，所述光掩膜（3）通过固定件（4）可拆卸式固定在光学原件（5）上端面，所述固定件（4）通过铰链安装在光学原件（5）上端面；所述遮光机构（6）设置在场镜组件（2）下端，所述遮光机构（6）包括安装块（61）、滑轨（62）、滑块（63）和遮光板（64），所述安装块（61）、滑轨（62）和滑块（63...

【技术特征摘要】
1.一种扫描场镜畸变校准装置，包括装置主体和遮光机构（6），其特征在于：所述装置主体包括扫描头组件（1）、场镜组件（2）、光掩膜（3）、固定件（4）和光学原件（5），所述场镜组件（2）和扫描头组件（1）均安装在安装架上，所述扫描头组件（1）设置在场镜组件（2）左侧，所述光学原件（5）设置在场镜组件（2）的正下方，所述光掩膜（3）通过固定件（4）可拆卸式固定在光学原件（5）上端面，所述固定件（4）通过铰链安装在光学原件（5）上端面；所述遮光机构（6）设置在场镜组件（2）下端，所述遮光机构（6）包括安装块（61）、滑轨（62）、滑块（63）和遮光板（64），所述安装块（61）、滑轨（62）和滑块（63）均设有两个，两个所述安装块（61）对称固定在场镜组件（2）...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱俊，
申请(专利权)人：常州雷射激光设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32