一种氮气柜制造技术

本实用新型专利技术提供了一种氮气柜，其可以实现对多种样品的独立储藏，满足同时存储不同样品的需求，避免取样导致环境变化对样品产生不良影响，包括柜体，柜体上排布有氮气舱，氮气舱为抽屉式氮气舱，氮气舱与柜体通过导轨连接，柜体内部设有进气管道和出气管道，进气管道和出气管道分别连接每个氮气舱，氮气舱上设有进气阀和出气阀，进气管道的出口分别与氮气舱的进气阀相连，进气管道的进口与氮气泵相连，柜体上开设有进气口，氮气泵与进气口相连，用于导入氮气；出气管道的进口分别与氮气舱的出气阀相连，出气管道的出口与真空泵相连，柜体上开设有出气口，真空泵与出气口相连，用于排出气体。

【技术实现步骤摘要】
一种氮气柜
本技术属于氮气柜
，具体涉及一种氮气柜，用于存放半导体行业领域内的晶圆和元器件等样品使用。
技术介绍
随着半导体行业的快速发展，各大半导体及军工企业单位对氮气柜的要求越来越高，现有的普通氮气柜具有以下缺点：1、将多种样品放入同一个柜子内不易与寻找；2、不同的样品对保存环境要求不同，传统的氮气柜无法满足同时存储不同样品的需求；3、多种样品置于同一个空间内，每次取样均会导致存储环境发生改变，容易对样品产生不良影响。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种氮气柜，其可以实现对多种样品的独立储藏，满足同时存储不同样品的需求，避免取样导致存储环境发生变化对样品产生不良影响。其技术方案是这样的：一种氮气柜，包括柜体，所述柜体上排布有氮气舱，所述氮气舱为抽屉式氮气舱，所述氮气舱与所述柜体通过导轨连接，所述柜体内部设有进气管道和出气管道，所述进气管道和所述出气管道分别连接每个所述氮气舱，所述氮气舱上设有进气阀和出气阀，所述进气管道的出口分别与所述氮气舱的进气阀相连，所述进气管道的进口与氮气泵相连，所述柜体上开设有进气口，所述氮气泵与所述进气口相连，用于导入氮气；所述出气管道的进口分别本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氮气柜，包括柜体，其特征在于：所述柜体上排布有氮气舱，所述氮气舱为抽屉式氮气舱，所述氮气舱与所述柜体通过导轨连接，所述柜体内部设有进气管道和出气管道，所述进气管道和所述出气管道分别连接每个所述氮气舱，所述氮气舱上设有进气阀和出气阀，所述进气管道的出口分别与所述氮气舱的进气阀相连，所述进气管道的进口与氮气泵相连，所述柜体上开设有进气口，所述氮气泵与所述进气口相连，用于导入氮气；所述出气管道的进口分别与所述氮气舱的出气阀相连，所述出气管道的出口与真空泵相连，所述柜体上开设有出气口，所述真空泵与所述出气口相连，用于排出气体。

【技术特征摘要】
1.一种氮气柜，包括柜体，其特征在于：所述柜体上排布有氮气舱，所述氮气舱为抽屉式氮气舱，所述氮气舱与所述柜体通过导轨连接，所述柜体内部设有进气管道和出气管道，所述进气管道和所述出气管道分别连接每个所述氮气舱，所述氮气舱上设有进气阀和出气阀，所述进气管道的出口分别与所述氮气舱的进气阀相连，所述进气管道的进口与氮气泵相连，所述柜体上开设有进气口，所述氮气泵与所述进气口相连，用于导入氮气；所述出气管道的进口分别与所述氮气舱的出气阀相连，所述出气管道的出口与真空泵相连，所述柜体上开设有出气口，所述真空泵与所述出气口相连，用于排出气体。2.根据权利要求1所述的一种氮气柜，其特征在于：所述氮气舱外侧边缘设有密封条，每个所述氮气舱分...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕秀文，胡光，杨军，吴晋希，刘佳，
申请(专利权)人：全讯射频科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32