用于校准自动化测试设备的MEM继电器组件制造技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于校准自动化测试设备的MEM继电器组件
技术介绍
本技术涉及用于校准自动化测试设备(ATE)的测试通道的方法和结构。相关领域参见图1，常规ATE系统100(有时称为“测试仪”或“ATE”)可包括具有多个测试通道(未示出)的自动化测试仪110，所述多个测试通道具有形成测试仪界面131的接触件。每个通道可各自在通道接触件处生成或测量信号，该通道接触件可通过装置界面板135连接到受测装置150上的测试点。在测试仪110内，可在仪器内生成或测量测试信号。每个仪器可处理多个通道的信号，使得每个仪器耦合到测试仪界面131处的多个接触件。通常，每个仪器的接触件在测试仪界面131中紧靠在一起。例如，典型的接触件密度将需要多个具有大量(诸如64个)接触件的区域，每个区域约一平方英寸。在一些具体实施中，受测装置150可为晶圆或一个或多个封装的集成电路。例如，ATE可用于测试晶圆上的集成电路装置，以用于在切割晶圆和封装装置之前保证质量。因为集成电路装置通常大量制造在晶圆上并且可高速运行(例如，数据速率高达并大于10Gb/s)，自动化测试仪110可具有数百个或数千个通道。在测量电压或...
【技术保护点】
一种用于校准自动化测试设备的多个测试仪通道的方法，所述方法包括：将继电器矩阵组件的输入件连接到多个测试通道的多个测试仪通道接触件，其中所述继电器矩阵组件包括多个微机电(MEM)继电器，所述多个MEM继电器被配置成在所述继电器矩阵组件的所述输入件和所述继电器矩阵组件的输出件之间形成多个路径；以及相继致动所述多个MEM继电器中的部分所述MEM继电器，以相继将所述多个测试通道的测试仪通道连接到校准仪器，所述校准仪器耦合到所述继电器矩阵组件的所述输出件。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.05 US 14/819,2131.一种用于校准自动化测试设备的多个测试仪通道的方法，所述方法包括：将继电器矩阵组件的输入件连接到多个测试通道的多个测试仪通道接触件，其中所述继电器矩阵组件包括多个微机电(MEM)继电器，所述多个MEM继电器被配置成在所述继电器矩阵组件的所述输入件和所述继电器矩阵组件的输出件之间形成多个路径；以及相继致动所述多个MEM继电器中的部分所述MEM继电器，以相继将所述多个测试通道的测试仪通道连接到校准仪器，所述校准仪器耦合到所述继电器矩阵组件的所述输出件。2.根据权利要求1所述的方法，还包括：用所述校准仪器测量输出连接器处的第一波形，所述波形从第一测试仪通道穿过所述多个路径中的第一路径；以及基于所述第一路径的测得参数来调整所述第一波形。3.根据权利要求2所述的方法，还包括：基于所调整的波形来计算所述第一通道的校准参数。4.根据权利要求2所述的方法，其中基于所述第一路径的测得参数来调整所述第一波形包括经由网络来访问存储之前导出的用于所述继电器矩阵组件的校准参数的计算装置，以基于所述第一路径的测得参数来获得校准参数。5.根据权利要求1所述的方法，其中致动所述MEM继电器以连接所述第一测试仪通道在短于大约0.1ms内完成。6.根据权利要求1所述的方法，其中将所述继电器矩阵组件连接到所述多个测试仪通道接触件包括将至少第一多个所述测试仪通道接触件物理地连接到所述继电器矩阵组件的第二多个输入接触件。7.根据权利要求6所述的方法，其中连接到所述多个测试仪通道接触件设置在接触件密度大于32个接触件/平方英寸的至少一个区域中。8.一种用于使用继电器矩阵组件来校准自动化测试设备的多个测试仪通道的方法，所述继电器矩阵组件包括多个微机电(MEM)继电器，所述多个MEM继电器被配置成在所述继电器矩阵组件的输入件和所述继电器矩阵组件的输出件之间形成多个路径，所述方法包括：测量所述多个路径中的信号畸变；根据所测得的信号畸变来计算所述多个路径中的每个路径的校准参数；以及将所计算出的校准参数存储在计算机可读介质中。9.根据权利要求7所述的方法，其中所述计算所述校准参数包括为所述多个路径中的每个路径确定传递函数。10.根据权利要求8所述的方法，其中测量信号畸变包括测量所述多个...
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