液环泵制造技术
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】液环泵
本专利技术涉及一种液环泵和一种操作所述液环泵的方法。特定来说，本专利技术涉及一种用于泵送和处理来自处理室的腐蚀性流出气体流的液环泵，该腐蚀性流出气体流的至少一种成分与泵的服务液体起反应或可溶于泵的服务液体中。
技术介绍
使用液环泵来泵送多种气体，然而，其典型构造材料（例如不锈钢、铸铁、黄铜等）阻碍其与强腐蚀性或反应性气体（即，酸性、碱性、氧化或还原气体）一起长期使用。已知液环泵已经由特殊材料（例如，钛、陶瓷和聚合物）制成，然而，这些材料不仅成本高，而且由于某些部件（例如转子与定子）之间的所需紧密尺寸公差而难以以这些材料制造泵。在一些半导体制造工艺（例如等离子体蚀刻）的排空期间，所产生的流出气体流与液环泵中的服务液体（通常是水）起化学反应或者可溶于其中。这生成腐蚀性服务液体和因此来自所述腐蚀性服务液体与泵的内部工作构件的反应的腐蚀产物。此类腐蚀产物可能在泵送结构内导致额外腐蚀和磨损。
技术实现思路
本专利技术至少试图减轻与先前液环泵相关联的问题中的一者或多者。本专利技术提供一种用于处理来自处理室的腐蚀性流出气体流的液环泵，所述腐蚀性流出气体流与所述泵的服务液体起...
【技术保护点】
一种用于处理来自处理室的腐蚀性流出气体流的液环泵，所述腐蚀性流出气体流与所述泵的服务液体起反应或者能溶于其中以形成腐蚀产物，所述泵包括：环形泵送室，其围绕中心泵送室轴线为大致柱状，以用于接收所述气体流和服务液体；转子，其具有从所述中心泵送室轴线偏移的转子轴线，所述转子具有多个转子叶片，所述多个转子叶片在所述转子旋转时致使所述泵送室中的液体形成具有与所述泵送室的所述中心轴线一致的中心的环和从所述泵送室的入口输送到出口的流出气体流的压缩；用于驱动所述转子的磁性驱动组件，所述磁性驱动组件包括接纳在驱动室中的磁性从动件，所述磁性从动件能与所述驱动室外部的磁性驱动器磁性联接，以便当所...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.22 GB 1512897.81.一种用于处理来自处理室的腐蚀性流出气体流的液环泵，所述腐蚀性流出气体流与所述泵的服务液体起反应或者能溶于其中以形成腐蚀产物，所述泵包括：环形泵送室，其围绕中心泵送室轴线为大致柱状，以用于接收所述气体流和服务液体；转子，其具有从所述中心泵送室轴线偏移的转子轴线，所述转子具有多个转子叶片，所述多个转子叶片在所述转子旋转时致使所述泵送室中的液体形成具有与所述泵送室的所述中心轴线一致的中心的环和从所述泵送室的入口输送到出口的流出气体流的压缩；用于驱动所述转子的磁性驱动组件，所述磁性驱动组件包括接纳在驱动室中的磁性从动件，所述磁性从动件能与所述驱动室外部的磁性驱动器磁性联接，以便当所述磁性驱动器由马达驱动时，所述磁性从动件将旋转赋予给所述转子；其中所述驱动室与所述泵送室流体连通，从而允许所述服务液体在所述驱动室和所述泵送室中的循环，并且其中所述泵送室、驱动室、磁性从动件和转子包括一种或多种耐所述流出气体流和当所述气体流由所述服务液体处理时所生成的腐蚀产物的材料。2.根据权利要求1所述的液环泵，其中，所述磁性从动件相对于所述转子固定，并且所述磁性驱动组件被布置成使得在使用中所述磁性驱动器向所述磁性从动件赋予轴向推力，从而致使所述转子与止推板合作以便设置所述转子在所述泵送室中的轴向对准。3.根据权利要求1或2所述的液环泵，其中，所述转子和所述从动件被支撑成用于通过轴向轴进行旋转，所述轴向轴具有与所述转子的偏移轴线对准的中心，并且所述轴向轴由耐腐蚀材料制成。4.根据权利要求3所述的液环泵，其中，进入所述泵的服务液体在所述轴向轴与所述转子或所述磁性从动件之间被输送，以便润滑和冲洗所述轴向轴的外部表面。5.根据权利要求4所述的液环泵，其中，所述轴向轴和所述磁性从动件或所述转子中的一者包括用于沿着所述轴向轴输送服务液体的轴向延伸的通道。6.根据权利要求3至5中的任一项所述的液环泵，其中，所述磁性从动件和所述转子包括用于抵靠所述轴向轴的相应轴承。7.根据权利要求4至6中的任一项所述的液环泵，其中，所述转子包括用于与所述止推板合作的支承表面，并且进入所述泵的服务液体在所述支承表面与所述止推板之间被输送，从而形成非接触式水动力轴向支承。8.根据权利要求7所述的液环泵，其中，所述支承表面包括多个大致径向延伸的通道，以用于跨越所述支承表面输送服务液体并且形成所述水动力支承。9.根据前述权利要求中的任一项所述的液环泵，其中，所述驱动室的径向外部部分包括排放端口...
【专利技术属性】
技术研发人员：GP奈特，AJ西利，G扬，DM普赖斯，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB
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