成膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种成膜装置，包括：容器，其内部能够容置基板；储藏机构，其储藏含有成膜材料的溶液；喷嘴，其与所述储藏机构连通；所述喷嘴能将所述溶液排出至所述基板上；除残机构，其能将所述喷嘴内残留的所述溶液排出所述喷嘴。

Film forming device

The utility model discloses a film forming device includes: a container capable of accommodating the substrate; storage mechanism, the storage solution containing film-forming material; the nozzle is communicated with the storage mechanism; the nozzle to the solution is discharged to the substrate; residual removing mechanism, which can the residual solution the nozzle from the nozzle.

【技术实现步骤摘要】
成膜装置
本技术涉及薄膜形成领域，尤其涉及一种成膜装置。
技术介绍
已知使用涂布法，浸渍法等湿式法作为在基板的表面上形成薄膜、例如有机膜、无机膜的成膜方法。例如，专利文献1中提出了一种成膜方法，其中，在大气中，在玻璃、塑料等基板的表面上，刻出深10～400nm的刻痕(划痕)，使其具有规定方向的条纹状的精细凹凸面，之后通过涂布按规定组成制作的涂布液(稀释溶液)并使其干燥，从而在所述精细凹凸面上形成规定组成的防污膜(有机膜)。此外，专利文献2中提出了一种成膜方法，其中，将氧化钛粒子混合于水中形成悬浊液，进一步调整为特定的pH后，将该悬浊液涂布在支撑体上并使其干燥，由此形成无机氧化钛膜(无机膜)。湿式法中所用的涂布液、悬浊液使用的是溶质浓度低的稀溶液。因此，加热干燥后得到的膜的密度低，随之存在形成的膜的功能容易消失的问题。例如，在用湿式法涂布的防污膜中，最表面上形成的膜容易由于擦拭而被刮掉，其防油性有时消失。与此相对，也考虑使用真空蒸镀法(干式法)在基板上形成薄膜的成膜方法，使用该方法的情况下，成膜时需要形成高真空条件，需要高价的真空排气系统。其结果是难以实现低成本下的成膜。现有技术文献专利文献1：日本特开平9-309745号公报专利文献2：日本特开平6-293519号公报
技术实现思路
为解决上述问题，中国专利申请“2015800002404”提出了一种薄膜的成膜方法和成膜装置，该薄膜的成膜方法和成膜装置将含有2种以上材料的溶液在基于构成该溶液的各材料的蒸气压而设定的压力的气氛下排出至基板上形成薄膜，不仅可以提高薄膜的耐久性，还可以降低制作成本。在该专利申请中，溶液中的成膜材料会在喷嘴作用下排出至基板上形成薄膜，而溶液中的其他材料会在进入容器内时迅速气化，从而与成膜材料分开，不参与形成薄膜，进而形成具有较佳耐久性的薄膜。参阅图1可以看出，现有技术中的(减压喷雾)成膜装置在储藏机构与喷嘴之间的输液管上设有阀门，在成膜结束喷雾时通过关闭阀门，从而切断向喷嘴供给溶液。但是，此时阀门与喷嘴(的排出部)之间还存留有溶液，由于切断了向喷嘴供给液体压力，此时喷嘴排出的溶液状态会发生改变(减弱)，致使喷嘴中会残留有溶液。所残留的溶液容易在喷嘴内会形成堵塞喷嘴的杂质，甚至腐蚀喷嘴，影响喷嘴的使用寿命。鉴于上述不足，本技术有必要提供一种成膜装置，以能够在成膜结束后使残留在喷嘴内的溶液排出喷嘴。为实现上述目的，本技术提供以下方案：一种成膜装置，包括：容器，其内部能够容置基板；储藏机构，其储藏含有成膜材料的溶液；喷嘴，其与所述储藏机构连通；所述喷嘴能将所述溶液排出至所述基板上；除残机构，其能将所述喷嘴内残留的所述溶液排出所述喷嘴。作为一种优选的实施方式，所述除残机构包括气源；所述气源在除去所述喷嘴内残留的所述溶液时与所述喷嘴相连通。作为一种优选的实施方式，所述气源的压力P为0＜P＜1MPa。作为一种优选的实施方式，所述储藏机构与所述喷嘴通过管道连通，所述管道上设有阀；所述气源连接所述阀或所述阀的下游。作为一种优选的实施方式，所述阀包括三通阀。作为一种优选的实施方式，所述气源还与所述储藏机构连通，从而推动所述溶液排出至所述喷嘴。借有以上技术方案，本技术所提供的成膜装置通过设有除残机构，从而在成膜结束后或供给溶液结束后使用除残机构将喷嘴内的溶液排出，使得溶液无法残留在喷嘴内，因此，本技术所提供的成膜装置能够在成膜结束后使残留在喷嘴内的溶液排出喷嘴。参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本技术的实施方式包括许多改变、修改和等同。针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是现有结构的成膜装置示意图；图2是本技术一种实施方式提供的成膜装置示意图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1，为本技术一种实施方式提供的一种成膜装置示意图。在本实施方式中，该成膜装置应用但不限于有机膜的形成，还可以应用于无机膜、有机-无机杂化膜等等，该成膜装置可以形成比如防污膜、防水膜、防湿膜、有机EL膜、氧化钛膜等等薄膜，其中，可以根据溶液中成膜材料的不同，而导致形成薄膜的不同。在本实施方式中，该成膜装置包括：容器，其内部能够容置基板；储藏机构，其储藏含有成膜材料的溶液；喷嘴，其与所述储藏机构连通；所述喷嘴能将所述溶液排出至所述基板上；除残机构，其能将所述喷嘴内残留的所述溶液排出所述喷嘴。借有以上技术方案，本实施方式所提供的成膜装置通过设有除残机构，从而在成膜结束后或供给溶液结束后使用除残机构将喷嘴内的溶液排出，使得溶液无法残留在喷嘴内，因此，本实施方式所提供的成膜装置能够在成膜结束后使残留在喷嘴内的溶液排出喷嘴。在本实施方式中，容器11具有容置作为成膜对象的基板100的真空腔室，从而为薄膜的形成提供真空环境。在本实施方式中，该容器11可以为大致长方体状的中控体，但本专利技术并不限于该形状，相应的，真空腔室的形状可以与容器11的相匹配，以提供较佳的成膜空间。当然，在本专利技术中真空腔室的形状也并不局限于该点。在本实施方式中，容器11上可以设置有与其内部(真空腔室)相通的排气机构15，排气机构15通过抽吸将容器11内的气体吸出，从而维持容器11内的气压在所需值。具体的，排气机构15可以为真空泵15。容器11的侧壁下端附近可以设置有排气用的排气口(未图示)。该排气口可以连接管道13的一端，该管道13的另一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜装置，其特征在于，包括：容器，其内部能够容置基板；储藏机构，其储藏含有成膜材料的溶液；喷嘴，其与所述储藏机构连通；所述喷嘴能将所述溶液排出至所述基板上；除残机构，其能将所述喷嘴内残留所述溶液排出所述喷嘴。

【技术特征摘要】
1.一种成膜装置，其特征在于，包括：容器，其内部能够容置基板；储藏机构，其储藏含有成膜材料的溶液；喷嘴，其与所述储藏机构连通；所述喷嘴能将所述溶液排出至所述基板上；除残机构，其能将所述喷嘴内残留所述溶液排出所述喷嘴。2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于：所述除残机构包括气源；所述气源在除去所述喷嘴残留的所述溶液时与所述喷嘴相连通。3.如权利要求2所述的成膜装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：青山贵昭，远藤光人，
申请(专利权)人：株式会社新柯隆，
类型：新型
国别省市：日本,JP