压电部件制造技术

提供可减小振荡频率的偏差且具有高精度的振荡频率的压电部件。本实用新型专利技术的压电部件具备：支撑基板(1)；和压电元件(2)，两端部固定在支撑基板(1)的第1主面上，且被搭载成能够进行振动，在支撑基板(1)的第1主面具有一对端子电极(121、122)和一对电容形成用电极(123、124)，其中，一对端子电极被设置成位于压电元件(2)的两端部之下，一对电容形成用电极被设置成从一对端子电极向压电元件(2)的中央延伸且宽度比压电元件(2)的宽度宽，并且在压电元件(2)的第1主面和第2主面具有激励电极(21)，该激励电极具有彼此对置且俯视透视下重叠的对置区域，在俯视下，一对所述电容形成用电极之中从对置区域在宽度方向上突出的区域的至少一部分被绝缘膜(6)覆盖。

Piezoelectric components

A piezoelectric component that can reduce the deviation of the oscillating frequency and has a high precision oscillating frequency. The piezoelectric element of the utility model comprises a support substrate (1); and a piezoelectric element (2), both ends are fixed on the supporting substrate (1) of the first main surface, and is equipped with a can of vibration at the support substrate (1) of the first main surface has a pair of terminal electrodes (121. 122) formed by the electrodes and a pair of capacitors (123, 124), among them, a pair of terminal electrodes are arranged in a piezoelectric element (2) of the two ends, a pair of capacitors for forming electrode is arranged in a pair of terminal electrodes to the piezoelectric element (2) of the central extension and the width of pressure the electrical component (2) of the width, and the piezoelectric element (2) of the first main surface and a second main surface electrode (21), with the excitation electrode has opposed to each other and overlooking the opposed region overlapping perspective, overlooking, the capacitance formed by the electrodes from an opposite region in width the direction of a prominent regional At least one part is covered by an insulating film (6).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电部件
本技术涉及用作谐振器的压电部件。
技术介绍
现有技术中，作为微型计算机的模块用谐振器，已知包括支撑基板和将两端部固定在支撑基板上且被搭载成可进行振动的压电元件的结构的压电谐振器。在压电谐振器中追求振荡频率的高精度化，已知如下技术，即，使用对压电元件的激励电极进行离子束照射的调频技术，使振荡频率高精度化(例如，参照专利文献1)。根据上述技术，在离子束照射时，为了防止支撑基板上的电极(电容形成用电极)被离子束蚀刻，设计成电容形成用电极不在压电元件的振动部的下方。进一步地，还进行了使电容形成用电极的宽度小于压电元件的宽度的设计。由此，能够防止电容形成用电极的一部分因离子束的照射而飞散，导致产生短路不良的问题。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2005-191681号公报
技术实现思路
要解决的课题但是，在上述技术中，有时负载电容会变小，在该影响下振荡频率的偏差会变大，从而振荡频率的精度就会降低。本技术鉴于上述情况而完成，其目的在于，提供能够减小振荡频率的偏差且具有高精度的振荡频率的压电部件。用于解决课题的手段本技术的压电部件具备：支撑基板；和压电元件，两端部固定在该支撑基板的第1主本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电部件，其特征在于，具备：支撑基板；和压电元件，两端部固定在该支撑基板的第1主面上，且被搭载成能够进行振动，在所述支撑基板的第1主面具有一对端子电极和一对电容形成用电极，其中，所述一对端子电极被设置成位于所述压电元件的两端部之下，所述一对电容形成用电极被设置成从该一对端子电极朝向所述压电元件的中央延伸且宽度比所述压电元件的宽度宽，在所述压电元件的第1主面和第2主面具有激励电极，该激励电极具有彼此对置且俯视透视下重叠的对置区域，在俯视下，所述一对电容形成用电极之中从所述对置区域在宽度方向上突出的区域的至少一部分被绝缘膜覆盖。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.28 JP 2014-2417151.一种压电部件，其特征在于，具备：支撑基板；和压电元件，两端部固定在该支撑基板的第1主面上，且被搭载成能够进行振动，在所述支撑基板的第1主面具有一对端子电极和一对电容形成用电极，其中，所述一对端子电极被设置成位于所述压电元件的两端部之下，所述一对电容形成用电极被设置成从该一对端子电极朝向所述压电元件的中央延伸且宽度比所述压电元件的宽度宽，在所述压电元件的第1主面和第2主面具有激励电极，该激励电极具有彼此对置且俯视透视下重叠的对置区域，在俯视下，所述一对电容形成用电极之中从所述对置区域在宽度方向上突出的区域的至少一部分被绝缘膜覆盖。2.根据权利要求1所述的压电部件，其特征在于，所述绝缘膜从所述电容形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：中间宽人，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP