高真空腔体用一体成型法兰制造技术

技术编号:17466308 阅读:87 留言:0更新日期:2018-03-15 04:11
本实用新型专利技术公开了一种高真空腔体用一体成型法兰,包括法兰本体和法兰端面,在法兰端面上设有若干个安装孔,且安装孔沿法兰本体的中心轴周向排列。在法兰本体上设有机械加工得到的多个法兰接口,用于各个结构之间的连接。每个法兰接口的端面上设有若干个安装孔,且安装孔沿法兰接口的中心轴周向排列。该种法兰连接方便,密封性好,定位准确。

【技术实现步骤摘要】
高真空腔体用一体成型法兰
本技术涉及法兰领域,特别是一种高真空腔体用一体成型法兰。
技术介绍
法兰是一种连接工具,法兰连接就是把两个管道、管件或器材,先各自固定在一个法兰盘上,两个法兰盘之间,加上法兰垫,用螺栓紧固在一起,完成了连接。即,法兰连接是由法兰、垫片及螺栓三者相互连接作为一组密封结构的可拆连接。传统的真空腔体与部件的连接采用焊接工艺的不可拆连接,由于焊接加工易产生气孔、砂眼、裂纹等缺陷,同时焊接处因介质和复杂的工况会引起应力腐蚀及裂纹等泄露隐患,更严重的是会因为焊接变形,造成部件定位不准。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术提出一种高真空腔体用一体成型法兰,结构简单、紧凑,在提高密封性能的同时,消除传统焊接工艺带来的定位不准的隐患。本技术就现有技术问题提供如下技术方案:高真空腔体用一体成型法兰,包括法兰本体和法兰端口,在法兰本体上设有机械加工得到的多个法兰接口,用于各个结构之间的连接。在法兰端面上设有若干个安装孔,且安装孔沿法兰本体的中心轴周向排列。同样的,每个法兰接口的端面上设有若干个安装孔,且安装孔沿法兰接口的中心轴周向排列。高真空腔体与其他部件的通过法兰接口连接,通过垫片、螺栓等标准紧固件达到密封效果,该法兰结构紧凑,设计简单,消除了由于焊接变形造成的定位不准的缺陷,提高了真空部件的精准度。附图说明图1本技术正视图图2本技术侧视图图3本技术具体实施效果示意图。具体实施例参见说明书附图,一种高真空腔体用一体成型法兰,包括法兰本体1和法兰端面2,法兰端面上设有若干个安装孔5,且安装孔5沿法兰本体的中心轴周向排列。在法兰本体1上设有机械加工得到的多个法兰接口3,法兰接口为标准刀口法兰(CF35),用于腔体与各个部件之间的连接。每个法兰接口的端面上设有若干个安装孔4,且安装孔4沿法兰接口的中心轴周向排列。参见附图3具体实施效果示意图,以分子束外延设备作为该技术的具体实施例来作进一步说明。真空腔体6与一体成型法兰端口2相连,蒸发源7与法兰本体1上的法兰接口3相连,三者分别通过垫片、螺栓等紧固连接在一起,这样就消除了原先采用焊接连接带来的焊接变形,不会造成蒸发源的定位不准,影响镀膜效果,从而性能达到优化。本文档来自技高网...
高真空腔体用一体成型法兰

【技术保护点】
一种高真空腔体用一体成型法兰,包括法兰本体和法兰端面,其特征在于在法兰本体上设有机械加工得到的多个法兰接口,用于各个结构之间的连接。

【技术特征摘要】
1.一种高真空腔体用一体成型法兰,包括法兰本体和法兰端面,其特征在于在法兰本体上设有机械加工得到的多个法兰接口,用于各个结构之间的连接。2.如权利要求1所述的高真空腔体用一体成型法兰,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:董国材张祥
申请(专利权)人:常州国成新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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