流体控制装置的制造方法制造方法及图纸

一种流体控制装置的制造方法，包含:(a)提供壳体、压电致动器及可变形基座结构，压电致动器由压电元件及振动板所构成，振动板具有第一表面及相对应的第二表面，第二表面具有一突出部，可变形基座结构包含流通板及挠性板，挠性板具有可动部；(b)将可变形基座结构的挠性板及流通板相互堆叠接合并实施于外部施加至少一作用力的预制同步变形作业，使挠性板及流通板同步变形构成预制成型的同步变形结构；(c)依序将壳体、压电致动器及可变形基座结构相互堆叠定位接合，可变形基座结构的预制成型的同步变形结构为相对于振动板的突出部，以使可动部与突出部之间定义出特定深度。

The manufacturing method of the fluid control device

【技术实现步骤摘要】
流体控制装置的制造方法
本案是关于一种流体控制装置的制造方法，尤指一种具有可变形基座的流体控制装置的制造方法。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。请参阅图1A及图1B所示，图1A为已知流体控制装置的部分结构示意图，图1B为已知流体控制装置的部分结构组装偏移示意图。如图所示，已知的流体控制装置100的作动核心主要包含基板101及压电致动器102，基板101与压电致动器102是堆叠设置，且基板101与压电致动器102具有一间隙103，其中，该间隙103需保持一定深度，借由此间隙103维持一定深度，当压电致动器102受施加电压而致动产生形变时，则可驱动流体于流体控制装置100的各腔室内流动，借以达到流体传输的目的。然而，于此已知的流体控制装置100中，其中压电致动器102与基板101均为平板式的整体结构，且具有一定的刚性，在此条件下，欲使该两个整体均为平板式的结构彼此精准对位，以致使该两平板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流体控制装置的制造方法，包含:(a)提供一壳体、一压电致动器及一可变形基座结构，该压电致动器由一压电元件及一振动板所构成，该振动板具有第一表面及相对应的第二表面，该第二表面具有一突出部，该可变形基座结构包含一流通板及一挠性板，该挠性板具有一可动部；(b)将该可变形基座结构的该挠性板及该流通板相互堆叠接合并实施于外部施加至少一作用力的一预制同步变形作业，使该挠性板及该流通板进行同步变形构成一预制成型的同步变形结构；以及(c)依序将该壳体、该压电致动器及该可变形基座结构相互堆叠，并进行定位接合，该可变形基座结构的该预制成型的同步变形结构为相对于该振动板的该突出部，以使该挠性板的该可动部与该振动...

【技术特征摘要】
1.一种流体控制装置的制造方法，包含:(a)提供一壳体、一压电致动器及一可变形基座结构，该压电致动器由一压电元件及一振动板所构成，该振动板具有第一表面及相对应的第二表面，该第二表面具有一突出部，该可变形基座结构包含一流通板及一挠性板，该挠性板具有一可动部；(b)将该可变形基座结构的该挠性板及该流通板相互堆叠接合并实施于外部施加至少一作用力的一预制同步变形作业，使该挠性板及该流通板进行同步变形构成一预制成型的同步变形结构；以及(c)依序将该壳体、该压电致动器及该可变形基座结构相互堆叠，并进行定位接合，该可变形基座结构的该预制成型的同步变形结构为相对于该振动板的该突出部，以使该挠性板的该可动部与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。2.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制同步变形作业施加至少一作用力于该可变形基座结构的挠性板的至少一表面上，以使该可变形基座结构产生同步变形构成该预制成型的同步变形结构。3.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制同步变形作业施加至少一作用力的于该可变形基座结构的该流通板的至少一表面上，以使可变形基座结构产生同步变形构成该预制成型的同步变形结构。4.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一弯曲同步变形结构，该弯曲同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。5.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且该预制成型的同步变形结构一锥形同步变形结构，该锥形同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。6.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且该预制成型的同步变形结构的一凸块平面同步变形结构，该凸块平面同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。7.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，该预制成型的同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。8.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一弯曲同步变形结构，该弯曲同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。9.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该预制成型的同步变形结构的一同步变形区域为在该挠性板的可动部区域及超出可动部区域，且该预制成型的同步变形结构为一锥形同步变形结构，该锥形...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩永隆，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71