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流体控制装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:17462101
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一种流体控制装置的制造方法,包含:(a)提供壳体、压电致动器及可变形基座结构,压电致动器由压电元件及振动板所构成,振动板具有第一表面及相对应的第二表面,第二表面具有一突出部,可变形基座结构包含流通板及挠性板,挠性板具有可动部;(b)将可变形...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。
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