一种EBSD测试用夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种EBSD测试用夹具，所述EBSD测试用夹具包括：样品台，所述样品台用于承载测试样品；在所述样品台的上部沿所述样品台的轴向设置有向下凹陷的样品容纳部，所述样品容纳部由两个侧壁和一个倾斜的L型底面围绕形成；形成所述倾斜的L型底面的第一内斜底面和第二内斜底面互相垂直，其中所述第一内斜底面与水平方向形成的夹角为70°；以及螺柱，所述螺柱固定在所述样品台的底部，该螺柱可拆卸的安装在扫描电子显微镜的样品固定位置处。该夹具能解决大变形薄板样品EBSD分析测试时高倍组织观察分辨率低、图像漂移、制样困难的难题，特别是能够有助于高清晰、多方向观察样品内部细小的微观组织以及残余应力组织。

A fixture for EBSD testing

The utility model provides a clamp for EBSD test, the EBSD test fixture comprises: a sample table, the sample table is used for bearing test samples; along the axial direction of the sample table in the upper part of the sample table provided with a downward concave sample containing part of the sample container consists of two side walls and a sloping bottom surface formed around L; L forms of the tilt of the bottom surface of the first internal oblique bottom and second inclined bottom angle direction perpendicular to each other, which formed the first internal oblique bottom surface and the level is 70 degrees; and stud, the stud is fixed at the bottom the sample table, the stud is detachably mounted at a fixed position in the sample scanning electron microscope. The fixture can solve the difficult problem of low resolution, image drift and sample preparation in the EBSD analysis and test of large deformation sheet metal, especially for the fine microstructure and residual stress organization in the samples with high definition and multi-directional observation.

【技术实现步骤摘要】
一种EBSD测试用夹具
本技术涉及一种测试用工具，特别涉及一种用于大变形薄板样品EBSD分析测试用夹具。
技术介绍
20世纪90年代以来，装配在SEM上的电子背散射花样(ElectronBack-scatteringPatterns，简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射(ElectronBackscatteredDiffraction，简称EBSD)或取向成像显微技术(OrientationImagingMicroscopy，简称OIM)等。EBSD的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射(给出结晶学的数据)。材料内部组织结构状态的确定，包括晶粒大小、取向差、应力状态、相结构类型、结构类型的确定、再结晶等等，是科研工作者关注的重点，而EBSD是能够实现材料组织状态全面综合测定的一个非常有效的工具，且已经广泛应用于钢铁材料、铝镁合金材料、陶瓷材料、岩矿材料等的分析测试行业中。现有的EBSD测试技术中，样品的固定方法通常是用银胶将样品固定在支架上，然后进行EBSD分析测试，该方法的缺点是在进行大变形、组织细小、残余应力较大的样品高倍率分析测试时，常常会在测试过程中出现图片分辨率低，甚至是图片出现漂移的状况。此外，如申请号为201511022163.0的专利申请是针对图像漂移的现象，也开发了一种EBSD分析测试用的样品台，但是该技术主要是解决重量的原因造成图像漂移情况的发生，且对于厚度很薄的薄板很难实现多方向分析测试；此外，高倍率EBSD分析测试大变形薄板材料组织的另一种方法是制成透射电镜薄膜样品，厚度约为几十个微米，然后用银胶固定在样品台上，但是该方法对于厚度低于5mm的薄板不太适用，一方面原因是薄板厚度过小，在制样研磨过程中造成靠近薄板表面处的组织无法观察，另一方面原因是当薄板厚度很小时，很难制成直径为3mm的圆片，无法进行电解双喷制样、成功率低。因此，需要提供一种针对上述现有技术不足的改进技术方案。
技术实现思路
本技术的目的是实现大变形薄板样品的高分辨观察，解决制样困难和成功率低等方面的问题，提出一种大变形薄板样品EBSD测试用夹具。为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种EBSD测试用夹具，包括：样品台，所述样品台用于承载测试样品；在所述样品台的上部沿所述样品台的轴向设置有向下凹陷的样品容纳部，所述样品容纳部由两个侧壁和一个倾斜的L型底面围绕形成；形成所述倾斜的L型底面的第一内斜底面和第二内斜底面互相垂直，其中所述第一内斜底面与水平方向形成的夹角为70°；以及螺柱，所述螺柱固定在所述样品台的底部，该螺柱可拆卸的安装在扫描电子显微镜的样品固定位置处。在上述EBSD测试用夹具中，作为一种优选实施方式，组成所述样品容纳部的两个侧壁以平行方式设置；该两个侧壁分别为第一侧壁和第二侧壁；所述样品容纳部的内周面由所述第一侧壁的内壁面、所述第一内斜底面、所述第二侧壁的内壁面、第二内斜底面依次连接围绕组成。在上述EBSD测试用夹具中，作为一种优选实施方式，所述第一侧壁的顶部端面由两个互相垂直的端面组成，该两个互相垂直的端面分别为第一外斜面和第二外斜面；所述第二外斜面紧邻所述第一内斜底面，所述第一外斜面远离所述第一内斜底面，且所述第一外斜面与所述第一内斜底面相互平行。在上述EBSD测试用夹具中，作为一种优选实施方式，所述第二侧壁的形状、规格尺寸均与所述第一侧壁相一致。在上述EBSD测试用夹具中，作为一种优选实施方式，所述测试样品安装在所述第一外斜面或者第二外斜面上。在上述EBSD测试用夹具中，作为一种优选实施方式，所述测试样品的被测面的相对面通过胶体粘接安装在所述第一外斜面上或者第二外斜面上。在上述EBSD测试用夹具中，作为一种优选实施方式，所述测试样品安装在所述样品容纳部的内部，且所述测试样品的被测面的相对面紧贴在所述第一内斜底面上。在上述EBSD测试用夹具中，作为一种优选实施方式，在所述第一侧壁或第二侧壁上设置有多个通孔；所述通孔的设置方式为从侧壁的外壁面开始贯穿整个侧壁的厚度并延伸至所述样品容纳部内，便于多个紧固件穿过与其一一对应的多个所述通孔进而卡挡固定所述样品容纳部内安装设置的所述测试样品。在上述EBSD测试用夹具中，作为一种优选实施方式，所述紧固件由螺母和螺杆组成，所述螺杆的长度尺寸根据在所述样品容纳部内的所述测试样品的厚度来进行调整；所述通孔为螺纹圆孔。在上述EBSD测试用夹具中，作为一种优选实施方式，还包括：垫片，垫片，用于固定样品，设置在所述测试样品和所述样品容纳部之间。与最接近的现有技术相比，本技术提供的技术方案具有如下优异效果：本技术提供的技术方案能解决大变形薄板样品EBSD分析测试时高倍组织观察分辨率低、图像漂移、制样困难的难题，特别是能够有助于高清晰、多方向观察样品内部细小的微观组织以及残余应力组织。附图说明图1为本技术实施例提供的一种截面为矩形的样品台的结构示意图(左图为主视图，右图为左视图)；图2为本技术实施例提供的一种截面为圆形的样品台的结构示意图(左图为主视图，右图为左视图)；图3为实施本技术实施例中的EBSD测试用夹具后检测经剧烈塑性变形(vonMises应变εvM＝12)后的EBSD晶粒取向图；图4为实施本技术实施例中的EBSD测试用夹具后检测经压缩65％变形的镍基高温合金EBSD取向图；图中标号：1-第一外斜面；2-第二外斜面；3-第二内斜底面；4-紧固件；5-通孔；6-螺柱；7-第一内斜底面。具体实施方式下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术而不是要求本技术必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。本技术中使用的术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间部件间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。如图1-图4所示，本技术提供了一种用于大变形薄板样品EBSD分析测试用夹具。该EBSD测试用夹具包括：样品台，样品台用于承载测试样品；在样品台的上部沿样品台的轴向设置有向下凹陷的样品容纳部，即带有样品容纳部的样品台用于放置EBSD测试用薄板样品。样品容纳部至少包括两个侧壁和一个倾斜的L型底面围绕组成；形成倾斜的L型底面的第一内斜底面7和第二内斜底面3互相垂直，其中第一内斜底面7与水平方向形成的夹角为70°，则第二内斜底面3与水平方向形成的夹角为2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种EBSD测试用夹具，其特征在于，所述EBSD测试用夹具包括：样品台，所述样品台用于承载测试样品；在所述样品台的上部沿所述样品台的轴向设置有向下凹陷的样品容纳部，所述样品容纳部由两个侧壁和一个倾斜的L型底面围绕形成；形成所述倾斜的L型底面的第一内斜底面和第二内斜底面互相垂直，其中所述第一内斜底面与水平方向形成的夹角为70°；螺柱，所述螺柱固定在所述样品台的底部，该螺柱可拆卸的安装在扫描电子显微镜的样品固定位置处。

【技术特征摘要】
1.一种EBSD测试用夹具，其特征在于，所述EBSD测试用夹具包括：样品台，所述样品台用于承载测试样品；在所述样品台的上部沿所述样品台的轴向设置有向下凹陷的样品容纳部，所述样品容纳部由两个侧壁和一个倾斜的L型底面围绕形成；形成所述倾斜的L型底面的第一内斜底面和第二内斜底面互相垂直，其中所述第一内斜底面与水平方向形成的夹角为70°；螺柱，所述螺柱固定在所述样品台的底部，该螺柱可拆卸的安装在扫描电子显微镜的样品固定位置处。2.如权利要求1所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，组成所述样品容纳部的两个侧壁以平行方式设置；该两个侧壁分别为第一侧壁和第二侧壁；所述样品容纳部的内周面由所述第一侧壁的内壁面、所述第一内斜底面、所述第二侧壁的内壁面、第二内斜底面依次连接围绕组成。3.如权利要求2所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，所述第一侧壁的顶部端面由两个互相垂直的端面组成，该两个互相垂直的端面分别为第一外斜面和第二外斜面；所述第二外斜面紧邻所述第一内斜底面，所述第一外斜面远离所述第一内斜底面，且所述第一外斜面与所述第一内斜底面相互平行。4.如权利要求3所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：张淑兰，王昌，浦恩祥，
申请(专利权)人：钢铁研究总院，
类型：新型
国别省市：北京,11