电感悬臂梁无线无源流量传感器制造技术

本发明专利技术是一种电感悬臂梁无线无源流量传感器，其中，绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方；所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路；所述感流块(6)设置在所述电感悬臂梁(5)的悬空端部的上方。本发明专利技术为片上集成结构，利用电感悬臂梁的形变来改变LC谐振回路的谐振频率，传感器的灵敏度高且结构简单；无需引线和电池供电，能在生物体管道或高温管道等恶劣环境管道进行流量测量。

Wireless passive flow sensor with inductor cantilever beam

The present invention relates to a wireless passive inductive cantilever beam flow sensor, wherein the dielectric layer (2) disposed on the substrate (1) on the surface; the inductance structure (3) and the anchor structure (4) are arranged on the dielectric layer (2) on the surface; the inductance of cantilever structure (5) has one end connected to the anchor structure (4) to form a fixed connection, the inductance of the cantilever beam structure (5) the other end is hung at the inductor (3) above; the inductance of cantilever beam (5) and the inductance structure (3) consists of LC resonant circuit the sense of flow; block (6) is arranged on the inductance of cantilever beam (5) suspended above the end. The present invention is on chip structure, the resonant frequency of the deformed cantilever beam to change the inductance of the LC resonant circuit, sensor with high sensitivity and simple structure; without wires and battery power supply, can measure the flow in the pipeline or organisms in harsh environment such as high temperature pipe pipe.

【技术实现步骤摘要】
电感悬臂梁无线无源流量传感器
本专利技术涉及一种电感悬臂梁无线无源流量传感器技术，属于微电子

技术介绍
流量传感器是一种能够测量气体或液体流量的传感器。流量传感器的应用十分广泛，包括汽车发动机、工业设备、医用设备等。纵观流量传感器的发展历程，流量传感器朝着智能化的集成式流量传感器方向发展，从有线的流量传感器向着无线的流量传感器方向发展。半导体集成电路工艺和MEMS(微机电系统)技术的发展和进步，大大促进了流量传感器的发展。多种不同原理和结构的微型流量传感器被专利技术出来。较为常见的流量传感器结构有叶片(翼板)式、量芯式、热线式、热膜式、卡门涡旋式等几种。按照工作原理来分，流量传感器又分为：应变式、电容式、电感式、压电式、热电式等。在对一些恶劣环境的管道(如高温管道或生物体管道等)进行流量测量时，有线的流量传感器将不再适用。恶劣环境管道中的流量测量大都采用无线的工作方式。无线流量传感器又分为有源和无源两种。无线有源的流量传感器一般采用射频收发电路进行数据传输，其收发电路依靠电池进行供电。无线无源的流量传感器一般采用电感近场耦合原理传输数据，传感器结构简单不需要电池供电，特别适本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电感悬臂梁无线无源流量传感器，其特征在于：该流量传感器包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、电感结构(3)、锚区结构(4)、电感悬臂梁结构(5)和感流块(6)；所述绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方；所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路；所述感流块(6)设置在所述电感悬臂梁(5)的悬空端部的上方。

【技术特征摘要】
1.一种电感悬臂梁无线无源流量传感器，其特征在于：该流量传感器包括衬底(1)、绝缘介质层(2)、电感结构(3)、锚区结构(4)、电感悬臂梁结构(5)和感流块(6)；所述绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感悬臂梁结构(5)的另一端悬空在电感结构(3)的上方；所述电感悬臂梁(5)和所述电感结构(3)构成LC谐振回路；所述感流块(6)设置在所述电感悬臂梁(5)的悬空端部的上方。2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立峰，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32