一种自源式传感器制造技术

本公开涉及微电子技术领域，尤其涉及一种自源式传感器，用于建筑物、飞机、汽车等关键部位的健康监测系统中。该自源式传感器包括浮栅场效应管和压电元件；所述压电元件连接于浮栅场效应管的源极；所述压电材料能够在受到周期性形变激励的情况下，将产生的电子注入并存储到所述浮栅场效应管的浮栅极。通过压电元件受到周期性形变所产生的电子，并存储在芯片中，去除其他的电源管理模块，实现超微功耗和微弱能量获取。

A self source sensor

The disclosure relates to the field of microelectronics, in particular to a self source sensor used in health monitoring system for key parts such as buildings, aircraft and automobiles. The source sensor includes a floating gate FET and a piezoelectric element; the piezoelectric element is connected to the floating gate field effect transistor source; the piezoelectric materials can be subjected to periodic deformation excitation, electrons will produce injected and stored in the floating gate floating gate field effect tube. The electrons generated by periodic deformation of piezoelectric components are stored in the chip, and other power management modules are removed to achieve ultralow power consumption and weak energy acquisition.

【技术实现步骤摘要】
一种自源式传感器
本公开涉及微电子
，尤其涉及一种自源式传感器，用于建筑物、飞机、汽车等关键部位的健康监测系统。
技术介绍
对于建筑物、飞机、汽车等的关键部位内部，常常空间具有一定的局限性且周围环境恶劣，而关键部位需要设置传感器以监测其运行健康状况。传统的传感器需要电源或者电池供电，电源或电池供电所带来的布线模块及所附电压管理模块、能量缓冲模块、即模拟数字转换等使得传统的传感器无法安置于空间受限如发动机内部，进行长期有效的健康监测。另外一种传感器是被动式传感器，其本身不带电源，可以通过外部信号对传感器进行激励，数据读取和传递。其缺点在于传感器在不激励的状态下，无法进行物理测量，因此无法记录历史数据，这給这类传感器的应用带来了局限。美国福特公司采用一种微型自源传感器，利用环境中的振动和材料形变获取能量，给微功耗传感器进行供电，该技术的难点在于，从环境本身获取能量非常有限，这就要求传感器的设计需要进行超微功耗设计。表1展示了从建筑物和生物力学的运动中可以直接获取的能量。表1
技术实现思路
有鉴于此，本公开提出了一种自源式传感器，能够在不加外部电源的情况下，连续监测物体的疲劳程度。一种自本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自源式传感器，其特征在于，包括：浮栅场效应管和压电元件；所述压电元件连接于浮栅场效应管的源极；所述压电元件能够在受到周期性形变激励的情况下，将产生的电子注入并存储到所述浮栅场效应管的浮栅极。

【技术特征摘要】
1.一种自源式传感器，其特征在于，包括：浮栅场效应管和压电元件；所述压电元件连接于浮栅场效应管的源极；所述压电元件能够在受到周期性形变激励的情况下，将产生的电子注入并存储到所述浮栅场效应管的浮栅极。2.根据权利要求1所述的自源式传感器，其特征在于：所述压电元件的材料为PZT、PVDF中的至少一种。3.根据权利要求1所述的自源式传感器，其特征在于，还包括：运算放大器，所述运算放大器的反相输入端与浮栅场效应管的源极连接，所述运算放大器的同相输入端连接参考电压，所述运算放大器的输出端通过第一电容连接浮栅场效应管的浮栅极。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘杨，
申请(专利权)人：苏州涟漪信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32