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本公开涉及微电子技术领域，尤其涉及一种自源式传感器，用于建筑物、飞机、汽车等关键部位的健康监测系统中。该自源式传感器包括浮栅场效应管和压电元件；所述压电元件连接于浮栅场效应管的源极；所述压电材料能够在受到周期性形变激励的情况下，将产生的电子...
该专利属于苏州涟漪信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州涟漪信息科技有限公司授权不得商用。

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