熔融炉的岛位置检测装置以及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种岛位置检测装置，其能够更加迅速又精确地从在熔融炉中流动的熔融体的表面检测出岛的位置。本发明专利技术的控制单元从拍摄单元获取的熔融炉表面的图像导出有关温度或亮度的多个第一奇异点，并通过霍夫变换(Hough transform)将存在于所述图像上的多个所述第一奇异点变换为虚拟参数坐标的线，然后求这些线交叉的多个交点，当在具有构成所述虚拟参数坐标的ρ、θ轴以及与该ρ、θ轴分别垂直的、有关交叉次数的轴的虚拟参数空间上表示各个交点时，求出这些交点中形成虚拟参数空间内的峰值的多个第二奇异点，并通过霍夫变换的逆变换，将这些多个第二奇异点导出为多个连接线，基于这些多个连接线选择岛的位置。

Isle position detection device and method for melting furnace

The present invention relates to an island position detection device, which can detect the location of the island more quickly and accurately from the surface of molten molten body flowing in the melting furnace. A plurality of first singular point control unit of the invention is obtained from the camera unit surface image based on the melting furnace temperature or brightness, and through the Hof transform (Hough transform) a plurality of the first singular point transformation will exist in the image of the virtual coordinate parameters of lines, then for multiple points of intersection these lines cross, said each intersection point of the parameter space when in a virtual form the virtual coordinate parameter P, P, theta axis and the vertical axis respectively, the theta frequency on the cross axis, peak value of virtual parameter spaces formed in the intersection of these second multiple singular points and through the Hof transform, inverse transform, the more than second singular points are derived for a plurality of connecting lines, these multiple connection line selection based on the location of the island.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】熔融炉的岛位置检测装置以及方法
本专利技术涉及一种熔融炉的岛位置检测装置以及方法，涉及一种用于精确又迅速地检测出在锭生长炉等熔融炉中被加热进行流动的熔融体的表面上所产生的岛的位置的装置及方法。
技术介绍
为了制作精密的电子产品中使用的基础材料，制造蓝宝石、硅等的单晶锭。例如，半导体集成电路在单晶硅基板上制造，诸如发光二极管、数据存储装置、光探测器等的元件一般基于蓝宝石单晶基板而制造。图1记载于韩国授权专利第10-1390804号中，示出了现有的锭生长炉中用于培养单晶的装置的一例。这样的装置中，先向生长炉的坩埚2投入原料之后，启动加热单元以熔化蓝宝石原料，在籽晶连接部3的下端安装籽晶(seed)3a之后，通过移动单元5的动作，使籽晶3a接近坩埚内的熔融表面的中心位置，从而与熔融体(Melt)1接触或者浸入一部分。在这种状态下，调节坩埚2的温度，开始蓝宝石单晶的培养，并适当地调节上拉速度及位置、温度，从而能够使锭生长。在该工艺的初期，籽晶3a通过移动单元5的动作接触熔融体1之后缓慢上升，而籽晶3a接触熔融体的位置和接触时间点依赖于使用者的肉眼观察和经验判断。图2是示出生长炉内部的熔融体表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种熔融炉的岛位置检测装置，其特征在于，包括：熔融炉(100)，用于熔融材料；拍摄单元(200)，设置在所述熔融炉(100)的上侧，用于获取熔融体表面(6)的图像；控制单元(500)，对所述拍摄单元(200)获取的图像进行分析，以检测岛(8)的位置；籽晶驱动单元(300)，设置在所述熔融炉(100)的上侧，使籽晶(340)下降而接触熔融体表面(6)，所述控制单元(500)从所述图像中导出有关温度或亮度的多个第一奇异点，通过霍夫变换(Hough transform)，将存在于所述图像中的多个所述第一奇异点变换为虚拟参数坐标的线，然后求出这些线交叉的多个交点，当在具有构成所述虚拟参数坐标的ρ、θ轴...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.07 KR 10-2015-0126188;2016.05.31 KR 10-2011.一种熔融炉的岛位置检测装置，其特征在于，包括：熔融炉(100)，用于熔融材料；拍摄单元(200)，设置在所述熔融炉(100)的上侧，用于获取熔融体表面(6)的图像；控制单元(500)，对所述拍摄单元(200)获取的图像进行分析，以检测岛(8)的位置；籽晶驱动单元(300)，设置在所述熔融炉(100)的上侧，使籽晶(340)下降而接触熔融体表面(6)，所述控制单元(500)从所述图像中导出有关温度或亮度的多个第一奇异点，通过霍夫变换(Houghtransform)，将存在于所述图像中的多个所述第一奇异点变换为虚拟参数坐标的线，然后求出这些线交叉的多个交点，当在具有构成所述虚拟参数坐标的ρ、θ轴以及与该ρ、θ轴分别垂直的、有关交叉次数的轴的虚拟参数空间(60)上表示各个交点时，求出这些交点中形成所述虚拟参数空间(60)内的峰值的多个第二奇异点(61～65)，通过霍夫变换的逆变换，将所述多个第二奇异点(61～65)导出为多个连接线(71～73)，基于所述多个连接线(71～73)，确定岛(8)的位置。2.根据权利要求1所述的熔融炉的岛位置检测装置，其特征在于，所述控制单元(500)将所述图像分割为规定大小的像素区域(15)，在各个像素区域(15)，对存在于该像素区域(15)内的像素的亮度差进行比较，并根据其比较结果，对各个像素区域(15)分别进行独立的二值化，从而导出所述第一奇异点。3.根据权利要求2所述的熔融炉的岛位置检测装置，其特征在于，所述控制单元(500)在对各个像素区域(15)分别进行独立的二值化之后，使用掩蔽(Masking)法去除非关心区域，并通过低通滤波器(Lowpassfilter)以及小对象删除(smallobjectremove)来去除噪音成分，从而导出所述第一奇异点。4.根据权利要求1至3中任一项所述的熔融炉的岛位置检测装置，其特征在于，所述控制单元(500)对所述第二奇异点(61～65)构成的所述连接线(71～73)赋予基于所述交叉次数的加权值，并在所述图像上以规定大小的探索区域(75)进行探索，从而确定所述岛(8)位于对经过所述探索区域(75)内的连接线(71～73)的加权值全部相加时具有最大加权值的探索区域(75)内。5.根据权利要求4所述的熔融炉的岛位置检测装置，其特征在于，所述控制单元(500)判断所述岛(8)是否位于被设定为...

【专利技术属性】
技术研发人员：金成烈，金哲珉，金努原，黄耿焕，
申请(专利权)人：韩国生产技术研究院，
类型：发明
国别省市：韩国,KR