一种用于中频等离子电源的防冷凝加热装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于中频等离子电源的防冷凝加热装置，包括信号采集及控制单元、无线通讯模块、温湿度传感器模块、温度传感器模块和加热模块，其中，温湿度传感器模块被设置为用于测量机箱内部环境温度和湿度，温度传感器模块被设置为用于测量冷却水进口处的温度；温湿度传感器模块和温度传感器模块将采集到的数据传送给信号采集及控制单元，由信号采集及控制单元通过判断运行条件来启动或关闭加热模块；信号采集及控制单元通过无线通讯模块上传警报信息。本发明专利技术采用传感器实时采集温度和湿度，根据冷凝与温、湿度的关系，在二者达到饱和状态之前，启动加热模块，破坏实时温、湿度达到冷凝的条件，从而防止冷凝的发生。

An anti condensation heating device for intermediate frequency plasma power supply

The invention discloses an anti condensation heating device for medium frequency plasma power supply, including signal acquisition and control module, wireless communication module, temperature and humidity sensor module, temperature sensor module and the heating module, the temperature and humidity sensor module is provided for measuring the internal temperature and humidity, temperature sensor module is set to for the measurement of the cooling water inlet temperature; temperature and humidity sensor module and temperature sensor module transmits the data collected for signal acquisition and control unit, a signal acquisition and control unit through judging operating conditions to start or close the heating module; the signal acquisition and control unit through the wireless communication module to upload alarm information. The sensor uses sensors to collect temperature and humidity in real time. According to the relationship between condensation and temperature and humidity, the heating module is started before the two reaches saturation state, which destroys the conditions of real-time temperature and humidity to achieve condensation, so as to prevent condensation.

【技术实现步骤摘要】
一种用于中频等离子电源的防冷凝加热装置
本专利技术涉及中频等离子电源领域，尤其涉及一种用于中频等离子电源的防冷凝加热装置。
技术介绍
目前在中频等离子电源中，大多数都是采用的风冷、水冷，或者是二者结合使用，来降低机箱内的温度，从而保证电源的各个零件处在安全的温度范围下正常工作。不管是风冷还是水冷装置，目的都是降低机箱内的温度，而降低温度的同时却没有考虑机箱内的湿度情况。尤其是在冷却水的水管串联连接在一起时，因部分电源未通电使用，内部无发热增温的条件，而冷却水却一直流通着，导致这些电源内部温度很低。我们知道，空气中不可避免的都要含有水蒸汽。水蒸气在空气中达到饱和的程度时，在温度相对较低的物体上凝结而形成水珠，即为冷凝现象。温度越高空气中可以含有的水分就越多；反之，温度越低空气中可以含有的水分就越少。所以如果在高的湿度环境下，只是降低温度，而未考虑水分的饱和浓度，势必会出现冷凝现象。在机箱、绝缘材料处发生冷凝将会降低机箱、绝缘材料的绝缘等级，容易发生爬电、闪络等事故。在电子器件，尤其是集成电路模块处产生冷凝时，可能令模块热胀冷缩炸裂，损坏器件，造成人员或设备的巨大损失。因此，本领域的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于中频等离子电源的防冷凝加热装置，其特征在于，包括信号采集及控制单元、无线通讯模块、温湿度传感器模块、温度传感器模块和加热模块，其中，所述温湿度传感器模块被设置为用于测量机箱内部环境温度和湿度，所述温度传感器模块被设置为用于测量冷却水进口处的温度；所述温湿度传感器模块和所述温度传感器模块将采集到的数据传送给所述信号采集及控制单元，由所述信号采集及控制单元通过判断运行条件来启动或关闭所述加热模块；所述信号采集及控制单元通过所述无线通讯模块上传警报信息。

【技术特征摘要】
1.一种用于中频等离子电源的防冷凝加热装置，其特征在于，包括信号采集及控制单元、无线通讯模块、温湿度传感器模块、温度传感器模块和加热模块，其中，所述温湿度传感器模块被设置为用于测量机箱内部环境温度和湿度，所述温度传感器模块被设置为用于测量冷却水进口处的温度；所述温湿度传感器模块和所述温度传感器模块将采集到的数据传送给所述信号采集及控制单元，由所述信号采集及控制单元通过判断运行条件来启动或关闭所述加热模块；所述信号采集及控制单元通过所述无线通讯模块上传警报信息。2.如权利要求1所述的一种用于中频等离子电源的防冷凝加热装置，其特征在于，所述温湿度传感器模块包括第一温度传感器、第二温度传感器和湿度传感器，所述第一温度传感器被设置为用于测量机箱内的环境温度，所述第二温度传感器被设置为用于测量冷却水进口处的温度，所述湿度传感器被设置为用于测量机箱内的环境湿度。3.如权利要求1所述的一种用于中频等离子电源的防冷凝加热装置，其特征在于，所述信号采集及控制单元通过判断运行条件来启动或关闭所述加热模块，具体为：设定冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅健，吴锐，马勇，阚龙，
申请(专利权)人：科棣姆上海电源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31