一种理疗仪生产用晶圆清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及理疗设备技术领域，且公开了一种理疗仪生产用晶圆清洗装置，包括底座，底座上表面的两端均固定连接有支撑腿，底座上表面的中部固定连接有电机，电机的输出轴固定连接有转轴，转轴靠近电机一端的表面固定连接有转盘，转盘的外侧固定连接有旋转杆，旋转杆的顶端固定连接有清洗槽。该理疗仪生产用晶圆清洗装置，通过设置电机、转轴、转盘和搅拌杆，利用电机带动转轴上的搅拌杆和清洁刷旋转，利用搅拌桨上的毛刷和搅拌叶之间的相互配合搅拌，加快了晶圆的翻转速率，保证了对晶圆进行全面清洗，清洁刷的转动，有利于清除晶圆表面的杂质，降低了工人的劳动强度，达到了对晶圆表面彻底清洗的目的，提高了理疗仪芯片的生产质量。

A wafer cleaning device for the production of a physiotherapy instrument

【技术实现步骤摘要】
一种理疗仪生产用晶圆清洗装置
本专利技术涉及理疗设备
，具体为一种理疗仪生产用晶圆清洗装置。
技术介绍
理疗仪全称叫物理治疗仪，其原理是同通过高科技技术，例如远红外线，可以活化细胞，还有一些事磁疗，还有电子脉冲等工作原理，改善人体代谢，激活身体机能，来提供身体的健康状况，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，理疗仪内部的芯片直接影响理疗仪在工作时的稳定性，而芯片的主要载体就是晶圆，在制作集成电路之前首先要对晶圆进行清洗，如果清洗不干净，直接会造成理疗仪的效果不佳，影响对患者的康复理疗。
技术实现思路
（一）解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种理疗仪生产用晶圆清洗装置，具备清洗效果好的优点，解决了现有设备清洗效果差的问题。（二）技术方案为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种理疗仪生产用晶圆清洗装置，包括底座，所述底座上表面的两端均固定连接有支撑腿，所述底座上表面的中部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有转轴，所述转轴靠近电机一端的表面固定连接有转盘，所述转盘的外侧固定连接有旋转杆，所述旋转杆的顶端固定连接有清洗槽，所述转轴的表面固定连接有位于清洗槽内部的连接杆，所述连接杆的一端固定连接有清洁刷，所述转轴的表面固定连接有搅拌杆，所述搅拌杆的顶部固定连接有搅拌桨，所述搅拌杆的表面固定连接有搅拌叶，所述清洗槽的顶部通过支撑杆固定连接有超声波装置，所述超声波装置包括超声波发生器，所述超声波发生器的输出端固定连接有超声波转换器，所述超声波转换器的输出端固定连接有超声波振子。优选的，所述支撑腿的数量为两个，且两个支撑腿通过轴承与清洗槽的底部固定连接。优选的，所述电机的外侧固定连接有位于底座顶部的保护罩。优选的，所述清洁刷的数量为两个，两个清洁刷分别设置在清洗槽的内壁两侧。优选的，所述搅拌杆的数量为四个，四个搅拌杆分别对称设置在转轴的外侧。优选的，所述搅拌桨的表面设置有毛刷，且搅拌桨与搅拌叶等间距间隔设置在搅拌杆的表面。（三）有益效果与现有技术相比，本专利技术提供了一种理疗仪生产用晶圆清洗装置，具备以下有益效果：1、该理疗仪生产用晶圆清洗装置，通过设置电机、转轴、转盘和搅拌杆，利用电机带动转轴上的搅拌杆和清洁刷旋转，利用搅拌桨上的毛刷和搅拌叶之间的相互配合搅拌，加快了晶圆的翻转速率，保证了对晶圆进行全面清洗，清洁刷的转动，有利于清除晶圆表面的杂质，降低了工人的劳动强度，达到了对晶圆表面彻底清洗的目的，提高了理疗仪芯片的生产质量。2、该理疗仪生产用晶圆清洗装置，通过设置超声波装置，超声波振子对清洗槽内的清洗溶剂产生强烈震动，加大溶剂与晶圆的接触力度，提高了对晶圆的清洗效果，加快了清洗的速率。附图说明图1为本专利技术结构示意图；图2为本专利技术清洁刷结构示意图。图中：1底座、2支撑腿、3电机、4转轴、5转盘、6旋转杆、7清洗槽、8连接杆、9清洁刷、10搅拌杆、11搅拌桨、12搅拌叶、13超声波装置、131超声波发生器、132超声波转换器、133超声波振子。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-2，一种理疗仪生产用晶圆清洗装置，包括底座1，底座1上表面的两端均固定连接有支撑腿2，支撑腿2的数量为两个，且两个支撑腿2通过轴承与清洗槽7的底部固定连接，底座1上表面的中部固定连接有电机3，电机3的外侧固定连接有位于底座1顶部的保护罩，避免电机3遭到破坏，电机3的输出轴固定连接有转轴4，转轴4靠近电机3一端的表面固定连接有转盘5，转盘5的外侧固定连接有旋转杆6，电机3带动旋转杆6的转动，从而带动清洗槽7高速旋转，加快清洗槽7内部溶剂与晶圆的接触，旋转杆6的顶端固定连接有清洗槽7，转轴4的表面固定连接有位于清洗槽7内部的连接杆8，连接杆8的一端固定连接有清洁刷9，清洁刷9的数量为两个，两个清洁刷9分别设置在清洗槽7的内壁两侧，转轴4的表面固定连接有搅拌杆10，搅拌杆10的数量为四个，四个搅拌杆10分别对称设置在转轴4的外侧，搅拌杆10的顶部固定连接有搅拌桨11，搅拌杆10的表面固定连接有搅拌叶12，搅拌桨11的表面设置有毛刷，且搅拌桨11与搅拌叶12等间距间隔设置在搅拌杆10的表面，通过设置电机3、转轴4、转盘5和搅拌杆10，利用电机3带动转轴4上的搅拌杆10和清洁刷9旋转，利用搅拌桨11上的毛刷和搅拌叶12之间的相互配合搅拌，加快了晶圆的翻转速率，保证了对晶圆进行全面清洗，清洁刷9的转动，有利于清除晶圆表面的杂质，降低了工人的劳动强度，达到了对晶圆表面彻底清洗的目的，提高了理疗仪芯片的生产质量，清洗槽7的顶部通过支撑杆固定连接有超声波装置13，超声波装置13包括超声波发生器131，超声波发生器131的输出端固定连接有超声波转换器132，超声波转换器132的输出端固定连接有超声波振子133，通过设置超声波装置13，超声波振子133对清洗槽7内的清洗溶剂产生强烈震动，加大溶剂与晶圆的接触力度，提高了对晶圆的清洗效果，加快了清洗的速率。该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。在使用时，通过电机3转动，带动清洗槽7高速旋转，且清洗槽7内部的搅拌杆10也跟着转轴4一起旋转，同时，超声波装置13对清洗槽7内部的清洗溶剂进行震动，加大溶剂与晶圆的接触力度，快速的对晶圆表面进行清洗。综上所述，该理疗仪生产用晶圆清洗装置，通过设置电机3、转轴4、转盘5和搅拌杆10，利用电机3带动转轴4上的搅拌杆10和清洁刷9旋转，利用搅拌桨11上的毛刷和搅拌叶12之间的相互配合搅拌，加快了晶圆的翻转速率，保证了对晶圆进行全面清洗，清洁刷9的转动，有利于清除晶圆表面的杂质，降低了工人的劳动强度，达到了对晶圆表面彻底清洗的目的，提高了理疗仪芯片的生产质量。该理疗仪生产用晶圆清洗装置，通过设置超声波装置13，超声波振子133对清洗槽7内的清洗溶剂产生强烈震动，加大溶剂与晶圆的接触力度，提高了对晶圆的清洗效果，加快了清洗的速率。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种理疗仪生产用晶圆清洗装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上表面的两端均固定连接有支撑腿（2），所述底座（1）上表面的中部固定连接有电机（3），所述电机（3）的输出轴固定连接有转轴（4），所述转轴（4）靠近电机（3）一端的表面固定连接有转盘（5），所述转盘（5）的外侧固定连接有旋转杆（6），所述旋转杆（6）的顶端固定连接有清洗槽（7），所述转轴（4）的表面固定连接有位于清洗槽（7）内部的连接杆（8），所述连接杆（8）的一端固定连接有清洁刷（9），所述转轴（4）的表面固定连接有搅拌杆（10），所述搅拌杆（10）的顶部固定连接有搅拌桨（11），所述搅拌杆（10）的表面固定连接有搅拌叶（12），所述清洗槽（7）的顶部通过支撑杆固定连接有超声波装置（13），所述超声波装置（13）包括超声波发生器（131），所述超声波发生器（131）的输出端固定连接有超声波转换器（132），所述超声波转换器（132）的输出端固定连接有超声波振子（133）。

【技术特征摘要】
1.一种理疗仪生产用晶圆清洗装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上表面的两端均固定连接有支撑腿（2），所述底座（1）上表面的中部固定连接有电机（3），所述电机（3）的输出轴固定连接有转轴（4），所述转轴（4）靠近电机（3）一端的表面固定连接有转盘（5），所述转盘（5）的外侧固定连接有旋转杆（6），所述旋转杆（6）的顶端固定连接有清洗槽（7），所述转轴（4）的表面固定连接有位于清洗槽（7）内部的连接杆（8），所述连接杆（8）的一端固定连接有清洁刷（9），所述转轴（4）的表面固定连接有搅拌杆（10），所述搅拌杆（10）的顶部固定连接有搅拌桨（11），所述搅拌杆（10）的表面固定连接有搅拌叶（12），所述清洗槽（7）的顶部通过支撑杆固定连接有超声波装置（13），所述超声波装置（13）包括超声波发生器（131），所述超声波发生器（131）的输出端固定连接有超声波转换器（132），所述超...

【专利技术属性】
技术研发人员：林孝振，
申请(专利权)人：林孝振，
类型：发明
国别省市：福建,35