一种浮动真空机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种浮动真空机构，其包括真空腔体、顶升腔体、真空平台、固定底板和活塞轴，所述顶升腔体通过弹性支撑构件与固定底板连接；所述真空平台与活塞轴的一端连接，所述活塞轴的另一端穿过顶升腔体的底部与固定底板连接；所述顶升腔体与活塞轴之间密封连接。采用本实用新型专利技术的技术方案，顶升腔体与真空平台采用柔性的密封连接，腔体变形不影响真空平台，这样在进行抽真空时，保证真空平台不会倾斜或晃动；简化了真空腔体平面度加工精度要求，改善了加工难度。

【技术实现步骤摘要】
一种浮动真空机构
本技术涉及一种真空装置，尤其涉及一种浮动真空机构。
技术介绍
随着国家节能减排的政策推出，真空技术行业快速发展，对真空产品性能要求不断提高，产品的尺寸公差要求更高，直接影响到产品性能。现有产品维修率和报废率极高。产品使用寿命没有保障，大大增加了产品成本；也不利于资源节约和环保。现有真空机构一般是固定的真空空间，如图1所示，真空腔体1与工作台面4连接，真空平台3位于工作台面4之间，顶升腔体2位于工作台面4的下方，在真空操作时，真空腔体1受真空压力的影响，会使顶升腔体2变动或者变形，影响到真空平台3倾斜或晃动，同样放在真空平台3的产品也会产生位移，导致产品位置不准确，或者厚度不均匀，出现很高的报废率。所以，现有技术的顶升腔体2很难保证贴合间隙及装配精度，装配难度大；加工精度要求非常高，给加工困难；增加了加工成本。
技术实现思路
针对以上技术问题，本技术公开了一种浮动真空机构，在进行抽真空时，保证真空平台不会倾斜或晃动。对此，本技术的技术方案为：一种浮动真空机构，其包括真空腔体、顶升腔体和真空平台，其还包括固定底板和活塞轴，所述顶升腔体通过弹性支撑构件与固定底板连接；所述真空平台本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种浮动真空机构，其包括真空腔体、顶升腔体和真空平台，其特征在于：其包括固定底板和活塞轴，所述顶升腔体通过弹性支撑构件与固定底板连接；所述真空平台与活塞轴的一端连接，所述活塞轴的另一端穿过顶升腔体的底部与固定底板连接；所述顶升腔体与活塞轴之间密封连接。

【技术特征摘要】
1.一种浮动真空机构，其包括真空腔体、顶升腔体和真空平台，其特征在于：其包括固定底板和活塞轴，所述顶升腔体通过弹性支撑构件与固定底板连接；所述真空平台与活塞轴的一端连接，所述活塞轴的另一端穿过顶升腔体的底部与固定底板连接；所述顶升腔体与活塞轴之间密封连接。2.根据权利要求1所述的浮动真空机构，其特征在于：其包括活塞套，所述活塞套套在活塞轴外，所述活塞套通过密封法兰与顶升腔体的底部连接，所述密封法兰位于活塞套的底部。3.根据权利要求2所述的浮动真空机构，其特征在于：所述活塞套的顶部与顶升腔体的底部之间设有胶垫，所述胶垫的一端凸出于活塞套的侧壁，并通过压紧法兰与顶升腔体的底部连接。4.根据权利要求3所述的浮动真空机...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨娅，谈万华，张智，曾繁春，刘丽梅，
申请(专利权)人：深圳连硕自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44