一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构，可实现真空环境中的元件通过真空室外进行三维位置调整，它包括：移动座(1)，主轴(2)，支撑座(3)；所述的主轴包括移位波纹管(2‑1)，连接法兰(2‑2)，移动座(1)和主轴(2)通过螺钉固定连接，主轴(2)和连接法兰(2‑2)及移位波纹管(2‑1)焊接连接为一体，支撑座(3)通过螺钉分别和移动座(1)和主轴(2)相连接；通过调节移动座(1)上的三维平台，实现主轴(2)在真空环境下的X/Y/Z方向移位；该机构结构设计合理，实用性强，尤其解决了对真空状态下工作的元件的X/Y/Z方向的三维移位调节，应用范围广。

【技术实现步骤摘要】
一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构
本技术涉及一种真空元器件，具体涉及一种实用性强的在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构。
技术介绍
对于在真空室外对真空室内器件位置进行调节，既不能破坏或影响真空室内的真空状态，又需完成内部元件的移位动作，现有的通用真空元器件难以实现此要求。因此，有必要设计开发一种结构设计合理，使用方便，适用于在真空室外对真空室内元件进行位置调节的机构。
技术实现思路
专利技术目的：本技术的目的是为了解决现有技术的不足，提供一种结构设计合理，使用方便，适用于在真空室外部对真空室内元件进行位置调节的机构。技术方案：为了实现以上目的，本技术所采取的技术方案为:一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构，它包括：移动座、主轴、移位波纹管、连接法兰、支撑座；移动座和主轴通过螺钉固定连接，主轴和连接法兰及移位波纹管焊接为一体，支撑座通过螺钉分别和移动座及主轴相连接；通过调节移动座上的三维平台，实现主轴带动内部元件在真空环境下的X/Y/Z三维方向移位；作为优选方案，以上所述的三维调整机构，所述的支撑座通过螺钉分别和移动座和主轴相连接；通过调节移动座上的三维平台，实现主轴在真空环境下的X/Y/Z方向移位；本技术所提供的三维调整机构，连接法兰通过螺钉紧固于被抽真空室上。本技术提供的在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构，实际使用时，先将需要移动的元件连接到主轴上，再将多维调节平台安装在移动座上，然后通过支撑座将移动座和连接法兰通过螺钉连接好，最后将连接法兰通过螺钉紧固于被抽真空容器上，开始抽真空后，需要移位时调节，只需在大气外调节移动座上的三维移动平台旋钮，就可以完成X/Y/Z三维方向的移位。有益效果：本技术提供的一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构与现有技术相比具有以下优点：本技术提供的一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构，结构设计合理，在保持真空室处于真空环境时，通过真空室外部的三维移动座就可以完成真空室内部元件的移位运动，该机构实用性强，结构紧凑，制造成本低，尤其适用于在真空室内部狭小空间的元件移动，应用范围广泛，可克服现有真空环境下多维移位机构的诸多不足。附图说明图1为本技术提供的一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本技术，应理解这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围，在阅读了本技术之后，本领域技术人员对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。如图1所示，一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构，它包括：它包括：移动座(1)，主轴(2)，支撑座(3)；所述的主轴包括移位波纹管(2-1)，连接法兰(2-2)，移动座(1)和主轴(2)通过螺钉固定连接，主轴(2)和连接法兰(2-2)及移位波纹管(2-1)焊接为一体，支撑座(3)通过螺钉分别和移动座(1)和主轴(2)相连接；通过调节移动座(1)上的三维平台，实现主轴(2)在真空环境下的X/Y/Z方向移位；该机构结构设计合理，实用性强，尤其解决了对真空状态下工作的元件的X/Y/Z方向的三维移位调节，应用范围广；以上所述的一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构，主轴(2)通过连接法兰(2-2)连接在真空室上，移位波纹管(2-1)实现真空密封和移位时的柔性伸缩。以上所述的一种在真空室外对真空室内元件进行三维位置调整的机构，主轴(2)通过支撑座(3)与移动座(1)连接并实现X/Y/Z方向的三维移位调节。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在真空室外对真空室内部元件进行三维位置调整的机构，它包括：移动座(1)、主轴(2)、支撑座(3)；所述的主轴(2)包括移位波纹管(2‑1)、连接法兰(2‑2)，连接法兰(2‑2)与移位波纹管(2‑1)焊接为一体；移动座(1)和主轴(2)通过螺钉固定连接；支撑座(3)通过螺钉分别和移动座(1)和主轴(2)相连接；其特征是通过调节真空室外的移动座(1)上的三维平台，实现主轴(2)在真空环境中的X/Y/Z方向移位。

【技术特征摘要】
1.一种在真空室外对真空室内部元件进行三维位置调整的机构，它包括：移动座(1)、主轴(2)、支撑座(3)；所述的主轴(2)包括移位波纹管(2-1)、连接法兰(2-2)，连接法兰(2-2)与移位波纹管(2-1)焊接为一体；移动座(1)和主轴(2)通过螺钉固定连接；支撑座(3)通过螺钉分别和移动座(1)和主轴(2)相连接；其特征是通过调节真空室外的移动座(1)上的三维平台，实现主轴(2)在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张利锋，
申请(专利权)人：王晓伟，
类型：新型
国别省市：北京,11