一种凹槽式真空探针检测装置制造方法及图纸

一种凹槽式真空探针检测装置，包括：显微镜、真空反应腔和设备支架，支架设置有的聚焦调节器，显微镜设置有物镜切换盘，真空反应腔为凹槽式，凹槽内的载物台上设置有垂直放置的探针。由于本申请的装置的真空反应腔为凹槽式，扩大了物镜与测量物品表面之间的空隙，并为探针留出更多的工作空间，又由于在真空反应腔内的载物平台上垂直放置探针，使得移动探针时，视线更好，可清晰、准确地观察待测物品的各个细节。

A groove vacuum probe testing device

A groove type vacuum probe detection device, including: microscope, vacuum reaction chamber and equipment bracket, bracket is arranged some focusing regulator, is provided with a switch disc microscope lens, vacuum reaction chamber is recessed, the groove of the carrier is provided with a vertical probe. Because the vacuum reaction chamber of the application for groove type, expanding the gap between the surface of a lens and measuring items, and to probe set aside more space to work, because the loading platform in the vacuum reaction chamber on the vertical probe, the mobile probe, a good line of sight, can clearly and accurately observe the the details of the object to be measured.

【技术实现步骤摘要】
一种凹槽式真空探针检测装置
本专利技术涉及真空高低温检测装置及仪器领域，具体涉及一种凹槽式真空探针检测装置。
技术介绍
真空探针检测装置是指在负压状态下的反应腔体内，使用高精度真空探针对物品表面进行长度、高度以及外观3D表面测量的一种检测装置，主要应用于高、低温、真空环境下的特殊测，透过反应腔体上方的观察窗可以观察所测量的物品，以便对所测量的物品进行精确测量，还可观察探针移动轨迹。对于不同的待测量物品，为了观察的清晰度，需要选择不同倍率的物镜进行观察，由于不同倍率的物镜，其本身光学焦距不同，需要上下调节动显微镜的位置，在待测量物品的表面聚焦。现有的反应腔体表面一般为平面式，为了给显微镜的上下移动预留较大的空间，现有的反映腔体内空间较小，探针工作的空间也较小，而且现有的探针一般为水平设置，在移动观察待测量物品，由于视线和角度问题，待测量物品的一些细节不能被看清楚。
技术实现思路
本申请提供一种凹槽式真空探针检测装置，扩大了物镜与测量物品表面之间的空隙，并为探针留出更多的工作空间，可更精细准确实时监控探针的移动轨迹。本申请一种凹槽式真空探针检测装置，该装置包括显微镜、真空反应腔和设备支架，该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种凹槽式真空探针检测装置,包括显微镜、真空反应腔和设备支架，其特征在于还包括：安装于设备支架上的聚焦调节器，用于调整显微镜的高度和水平位置；安装于显微镜上的物镜切换盘，用于切换不同倍率的物镜；所述真空反应腔为凹槽式，凹槽内设置有观察窗口，真空反应腔内、观察窗口下方设置有载物台，载物台上设置有垂直放置的探针，待测物品放置于探针顶部；所述凹槽为所述物镜工作区域，调节所述显微镜的高度，可使得所述物镜高度下降，伸入所述凹槽内观察待测物品。

【技术特征摘要】
1.一种凹槽式真空探针检测装置,包括显微镜、真空反应腔和设备支架，其特征在于还包括：安装于设备支架上的聚焦调节器，用于调整显微镜的高度和水平位置；安装于显微镜上的物镜切换盘，用于切换不同倍率的物镜；所述真空反应腔为凹槽式，凹槽内设置有观察窗口，真空反应腔内、观察窗口下方设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，熊翊世，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44