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一种凹槽式真空探针检测装置，包括：显微镜、真空反应腔和设备支架，支架设置有的聚焦调节器，显微镜设置有物镜切换盘，真空反应腔为凹槽式，凹槽内的载物台上设置有垂直放置的探针。由于本申请的装置的真空反应腔为凹槽式，扩大了物镜与测量物品表面之间的空...
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