The utility model discloses a quartz crucible spraying device, including mobile base, the mobile side of the upper end of the base fixed with a guide rail, sliding on a guide rail connected with a movable vertical plate, the other side is welded with a fixed pole, movable vertical plate are respectively arranged on both sides of the rotating motor, U type clamping plate, a clamping plate is provided with a fixed column and heat resistant rubber plate, a fixed column fixedly connected with the output shaft of the motor rotation by the shaft coupling, bearing through bolt assembly to adjust between two heat resistant rubber plate; fixed pole sliding two supporting components, below the support assembly is fixed with a spray nozzle through a connecting pipe, and the feeder box line, above the support assembly is fixed the heating plate, heating and drying plate connected by circuit and battery. The design of the utility model is reasonable, and the coating fluid will only flow along the circumference of the crucible workpiece by placing the crucible workpiece sideways, so that the coating liquid will flow along the circumference, and the thickness will be uniform after forming, so as to improve the overall performance of the dense layer.
【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚喷涂装置
本技术涉石英坩埚生产
,具体涉及一种石英坩埚喷涂装置。
技术介绍
目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用,就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英砂,使其形成致密层。其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应,提高成晶率。传统喷涂采用人工进行喷涂:喷涂前需把坩埚整体加热到300℃左右,坩埚口子朝上放置,操作人员戴上防高温手套,手拿喷枪进行内表面的喷涂作业,喷涂持续一分钟,操作繁琐。为此,专利号为201220323536.3的中国技术专利公开了一种石英坩埚内表面喷涂装置,包括驱动装置、回转平台、支撑平台和喷枪,所述支撑平台设在所述回转平台上且可随所述回转平台旋转,所述喷枪包括喷嘴和连接杆,所述连接杆一端设在一可往复上下运动的导轨支架上,另一端螺纹连接所述喷嘴,所述导轨支架和所述回转平台分别与所述驱动装置相连。这种喷涂装置能够克服传统方式的问题,但是仍存在不足之处,坩埚为水平转动,喷涂至内表面侧壁的涂层液容易在重力作用下下延,导致涂层厚度不均匀,影响致密层整体的作用。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的上述问题,提供一种石英坩埚喷涂装置。为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本技术是通过以下技术方案实现:一种石英坩埚喷涂装置,包括移动底座,所述移动底座上端的一侧固定有导轨,所述导轨上滑动连接有活动立板,移动底座上端的另一侧焊接有固定立杆,所述活动立板的一侧通过支架固定有转动电机,另一侧设有U型夹持板,所述夹持板的连接部外侧设有固定柱,所述固定柱通过联轴器与转动电机贯穿活动立板的输出轴固定连接,所述夹持板的两自 ...
【技术保护点】
一种石英坩埚喷涂装置,其特征在于:包括移动底座,所述移动底座上端的一侧固定有导轨,所述导轨上滑动连接有活动立板,移动底座上端的另一侧焊接有固定立杆,所述活动立板的一侧通过支架固定有转动电机,另一侧设有U型夹持板,所述夹持板的连接部外侧设有固定柱,所述固定柱通过联轴器与转动电机贯穿活动立板的输出轴固定连接,所述夹持板的两自由端分别固定有耐热橡胶板,所述夹持板通过贯穿两侧板体的螺栓组件来调节两耐热橡胶板之间的夹持力,所述耐热橡胶板的内侧面为与坩埚工件外壁形状配合的弧形面;所述固定立杆上滑动有两个能够伸入坩埚工件内腔的支撑组件,位于下方的所述支撑组件的下端固定有喷管,所述喷管通过管路与供料箱连接,位于上方的所述支撑组件的上端固定有加热烘干板,所述加热烘干板通过线路与蓄电池连接,所述蓄电池和供料箱放置在移动底座上。
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚喷涂装置,其特征在于:包括移动底座,所述移动底座上端的一侧固定有导轨,所述导轨上滑动连接有活动立板,移动底座上端的另一侧焊接有固定立杆,所述活动立板的一侧通过支架固定有转动电机,另一侧设有U型夹持板,所述夹持板的连接部外侧设有固定柱,所述固定柱通过联轴器与转动电机贯穿活动立板的输出轴固定连接,所述夹持板的两自由端分别固定有耐热橡胶板,所述夹持板通过贯穿两侧板体的螺栓组件来调节两耐热橡胶板之间的夹持力,所述耐热橡胶板的内侧面为与坩埚工件外壁形状配合的弧形面;所述固定立杆上滑动有两个能够伸入坩埚工件内腔的支撑组件,位于下方的所述支撑组件的下端固定有喷管,所述喷管通过管路与供料箱连接,...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹伟,王祥,贾建龙,
申请(专利权)人:中材江苏太阳能新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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