一种具有增敏式结构的无线无源声表面波应变传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种具有增敏式结构的无线无源声表面波应变传感器,包括声表面波传感器件、匹配电路和天线，匹配电路与声表面波传感器件连接，天线设置在匹配电路上；声表面波传感器件设置有第一固定模块和第二固定模块，第一固定模块和所述第二固定模块为增敏式结构。本发明专利技术为无线无源声表面波应变传感器提供一种增敏式结构，可通过改变第一固定模块与第二固定模块的距离，或改变第一固定模块与第二固定模块对声表面波传感器件的固定位置，实现对增敏效果的调节，实现更高的测量精度，从而改善传统声表面波应变传感器灵敏度较低的问题。本发明专利技术提供的设计结构安装方便，可靠性好，可重复使用。

A wireless passive acoustic surface wave strain sensor with an sensitized structure

【技术实现步骤摘要】
一种具有增敏式结构的无线无源声表面波应变传感器
本专利技术涉及声学技术中的一种声表面波传感器，尤其是涉及一种具有增敏式结构的无线无源声表面波应变传感器。
技术介绍
应变传感器作为工业流程控制的关键部件，广泛应用于航天航空、石油石化、电力、机动车以及铁路等领域中。例如，直升机机翼运行的健康状况的实时监测应用。传统的应变传感器一般基于电阻应变效应。其原理是当金属导体或者半导体受到外力作用时所产生的相应应变会导致其电阻值也会发生相应的变化。该类应变传感器应用较为普遍，但存在如下一些亟待解决的问题：电阻式应变传感器力阻灵敏度低，所以必须要采用电桥放大信号导致线路复杂；其二，电阻式应变传感器分辨力较低，动态响应较差，电阻值变化受温度影响较大；其三，该应变传感器采用电池供电的有源检测方式，难以适应于高温高压及无人值守等极端环境。因此，高灵敏度、高可靠性、稳定性且无线无源的新型应变传感器是其发展方向。声表面波传感器以其独特优点如高精度，高灵敏度，体积小，重量轻，功耗低，具有良好的稳定性，能够快速响应，制作成本低，而且可实现无线无源测量方式，特别适合于高温高压及无人值守等极端应用环境，极具应用前景。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有增敏式结构的无线无源声表面波应变传感器，包括声表面波传感器件(2)、匹配电路(3)和天线(4)，所述匹配电路(3)与所述声表面波传感器件(2)连接，所述天线(4)设置在所述匹配电路(3)上；其特征在于，所述声表面波传感器件(2)设置有第一固定模块(1a)和第二固定模块(1b)，所述第一固定模块(1a)和所述第二固定模块(1b)为增敏式结构。

【技术特征摘要】
1.一种具有增敏式结构的无线无源声表面波应变传感器，包括声表面波传感器件(2)、匹配电路(3)和天线(4)，所述匹配电路(3)与所述声表面波传感器件(2)连接，所述天线(4)设置在所述匹配电路(3)上；其特征在于，所述声表面波传感器件(2)设置有第一固定模块(1a)和第二固定模块(1b)，所述第一固定模块(1a)和所述第二固定模块(1b)为增敏式结构。2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一固定模块(1a)和所述第二固定模块(1b)设置为三棱锥结构或长方体结构，所述声表面波传感器件(2)的左右两端分别固定在所述三棱锥的顶点上或所述长方体的顶面上；或者所述第一固定模块(1a)和所述第二固定模块(1b)设置为凹槽式结构，所述声表面波传感器件(2)的左右两端分别固定在凹槽式结构的凹槽内。3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述声表面波传感器件(2)采用反射型延迟线结构或谐振型结构，包括：叉指换能器(5)、第一反射器(6)、第二反射器(7)和压电晶体(8)；其中所述叉指换能器(5)、第一反射器(6)和第二反射器(7)由半导体工艺沉淀于所述压电晶体(8)上。4.根据权利要求1所述的传感器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文，王毅坚，薛蓄峰，梁勇，
申请(专利权)人：中国科学院声学研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11