一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，包括限喷箱、以及依次固定于限喷箱内腔中的导液管、限流块和分流箱；所述限流块开设有插槽，所述插槽中活动插设有挡板，所述挡板固定连接有电动推杆；所述分流箱侧壁对应导液孔处开设有分流孔，所述分流箱的内腔底壁固定有分流板，所述分流箱底壁与限喷箱底壁贯通开设有泄流孔，且所述泄流孔设置于分流板和分流孔之间，所述分流箱远离分流孔一侧侧壁与限喷箱侧壁贯通开设有喷液孔。本实用新型专利技术通过限流块内挡板的作用，当处于喷涂两片硅片的中间空隙时间时，使刻蚀液从泄流孔流出，阻止了刻蚀液飞溅到硅片扩散面情况的发生，大大提高硅片刻蚀质量，减小经济损失。

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【技术实现步骤摘要】
一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置
本技术涉及硅片刻蚀
，具体为一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置。
技术介绍
太阳能电池片的制造过程需要经过很多个步骤，其中对硅片的刻蚀工艺也是必不可少的一部分，硅片在刻蚀过程中，需要使用刻蚀液对硅片除了扩散面以外的所有面进行刻蚀，目前常用的刻蚀槽机器均采用粘液滚轮，来对硅片进行刻蚀，通过粘液滚轮将刻蚀液粘在滚轮上，然后滚轮将刻蚀液传递到硅片背面完成刻蚀，对于硅片的侧壁采用喷嘴喷涂刻蚀液进行刻蚀，从而可以很好的将除了扩散面以外的四个侧壁面均刻蚀到，大大提高了硅片刻蚀质量。但是对于采用喷嘴对硅片侧壁进行刻蚀的方法，存在以下较为明显的缺陷：因为硅片在刻蚀槽内的滚轮上进行传送运动，每两块硅片间均设置有间隔，所以当喷嘴向上一块硅片的侧壁进行喷涂刻蚀后，在喷涂到下一块硅片前，此段中间空隙的时间，喷嘴喷出的刻蚀液会直接喷涂到刻蚀槽液面上，对液面造成冲击，从而导致液面刻蚀液飞溅，也就会导致刻蚀液溅起，落到硅片的扩散面上造成刻蚀，进而生产出大量劣质硅片，严重影响硅片刻蚀质量，造成巨大经济损失。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，包括限喷箱(1)、以及依次固定于限喷箱(1)内腔中的导液管(2)、限流块(3)和分流箱(4)，其特征在于：所述限喷箱(1)侧壁对应导液管(2)处开设有进液孔(5)，所述限流块(3)开设有插槽(31)，所述插槽(31)内侧壁对应导液管(2)对称开设有导液孔(6)，所述插槽(31)中活动插设有挡板(7)，所述挡板(7)固定连接有电动推杆(8)；所述分流箱(4)侧壁对应导液孔(6)处开设有分流孔(10)，所述分流箱(4)的内腔底壁固定有分流板(9)，所述分流箱(4)底壁与限喷箱(1)底壁贯通开设有泄流孔(11)，且所述泄流孔(11)设置于分流板(9)和分流孔(10)之间；...

【技术特征摘要】
1.一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，包括限喷箱(1)、以及依次固定于限喷箱(1)内腔中的导液管(2)、限流块(3)和分流箱(4)，其特征在于：所述限喷箱(1)侧壁对应导液管(2)处开设有进液孔(5)，所述限流块(3)开设有插槽(31)，所述插槽(31)内侧壁对应导液管(2)对称开设有导液孔(6)，所述插槽(31)中活动插设有挡板(7)，所述挡板(7)固定连接有电动推杆(8)；所述分流箱(4)侧壁对应导液孔(6)处开设有分流孔(10)，所述分流箱(4)的内腔底壁固定有分流板(9)，所述分流箱(4)底壁与限喷箱(1)底壁贯通开设有泄流孔(11)，且所述泄流孔(11)设置于分流板(9)和分流孔(10)之间；所述分流箱(4)远离分流孔(10)一侧侧壁与限喷箱(1)侧壁贯通开设有喷液孔(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：林宝剑，唐亮，程寅亮，关振华，冯正胜，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34