【技术实现步骤摘要】
一种超分辨率显微CT成像系统
本专利技术涉及显微CT(英文全称为“computedtomography”)
,特别是涉及一种超分辨率显微CT成像系统。
技术介绍
基于光耦和可见光科学级相机的显微CT系统是目前国际领先的高分辨率X射线成像技术,其基本原理是利用闪烁体将X射线转换成可见光,然后利用显微镜组将可见光分布放大成像在科学级相机芯片上。与常规的基于平板科学级相机的X射线成像相比,该类成像方法除了在X射线部分可进行几何投影放大之外,还能利用光学显微系统进行二次放大,从而实现更高分辨率的X射线成像。在该类系统中,最终成像分辨率是由显微物镜的放大倍率、数值孔径(NA)以及相机芯片的像元尺寸共同决定。考虑到实际的应用需求和硬件限制,例如视野、科学级相机芯片的像元尺寸等因素,已有的此类系统在给定成像视场的情况下,分辨率均存在上限。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种超分辨率显微CT成像系统来克服或至少减轻现有技术的上述缺陷中的至少一个。为实现上述目的,本专利技术提供一种超分辨率显微CT成像系统,所述超分辨率显微CT成像系统包括X射线源、X射线转换可见光装置、显微成像装置、中继成像装置、科学级相机、多轴载物运动装置和控制装置,其中:所述X射线源向放置在所述多轴载物运动装置上的被测目标投射锥形光束,用于完全辐照所述被测目标与所述X射线源相对的侧面;所述X射线转换可见光装置和所述X射线源分别布置在所述被测目标的两侧,所述X射线转换可见光装置的出射面布置在所述显微成像装置的物面上,所述中继成像装置设在所述显微成像装置与所述科学级相机之间,所述科学级相机探测面位 ...
【技术保护点】
一种超分辨率显微CT成像系统,其特征在于,包括X射线源(1)、X射线转换可见光装置(10)、显微成像装置(2)、中继成像装置(3)、科学级相机(4)、多轴载物运动装置(5)和控制装置(6),其中:所述X射线源(1)向放置在所述多轴载物运动装置(5)上的被测目标投射锥形光束,用于完全辐照所述被测目标与所述X射线源(1)相对的侧面;所述X射线转换可见光装置(10)和所述X射线源(1)分别布置在所述被测目标的两侧,所述X射线转换可见光装置(10)的出射面布置在所述显微成像装置(2)的物面上,所述中继成像装置(3)设在所述显微成像装置(2)与所述科学级相机(4)之间,所述科学级相机(4)的探测面位于所述中继成像装置(3)的成像面上;所述X射线源(1)发射出的X射线穿透所述被测目标投射到所述X射线转换可见光装置(10)的入射面,经由所述X射线转换可见光装置(10)线性转换成二维可见光光场分布,该二维可见光光场分布从所述X射线转换可见光装置(10)的出射面向后传播,并作为物方投射到所述显微成像装置(2),经由所述显微成像装置(2)第一次显微放大成像,然后投射到所述中继成像装置(3),经由所述中继成 ...
【技术特征摘要】
1.一种超分辨率显微CT成像系统,其特征在于,包括X射线源(1)、X射线转换可见光装置(10)、显微成像装置(2)、中继成像装置(3)、科学级相机(4)、多轴载物运动装置(5)和控制装置(6),其中:所述X射线源(1)向放置在所述多轴载物运动装置(5)上的被测目标投射锥形光束,用于完全辐照所述被测目标与所述X射线源(1)相对的侧面;所述X射线转换可见光装置(10)和所述X射线源(1)分别布置在所述被测目标的两侧,所述X射线转换可见光装置(10)的出射面布置在所述显微成像装置(2)的物面上,所述中继成像装置(3)设在所述显微成像装置(2)与所述科学级相机(4)之间,所述科学级相机(4)的探测面位于所述中继成像装置(3)的成像面上;所述X射线源(1)发射出的X射线穿透所述被测目标投射到所述X射线转换可见光装置(10)的入射面,经由所述X射线转换可见光装置(10)线性转换成二维可见光光场分布,该二维可见光光场分布从所述X射线转换可见光装置(10)的出射面向后传播,并作为物方投射到所述显微成像装置(2),经由所述显微成像装置(2)第一次显微放大成像,然后投射到所述中继成像装置(3),经由所述中继成像装置(3)第二次中继放大成像;所述中继成像装置(3)包括位于所述中继成像装置(3)的平行光路上的亚像素扫描件,所述亚像素扫描件用于控制所述中继成像装置(3)的成像面上的整体二维图像在垂轴面内进行亚像素二维平移,以获得一系列像元细分的二维图像。2.如权利要求1所述的超分辨率显微CT成像系统,其特征在于,所述亚像素扫描件包括二轴倾斜镜(31),所述二轴倾斜镜(31)的反射面与所述显微成像装置(2)的出射光束相对,且所述法线与所述出射光束的光轴的夹角小于90度,所述控制装置(6)通过转动所述二轴倾斜镜(31)来调节所述夹角大小,以控制所述中继成像装置(3)的成像面上的整体二维图像在垂轴面内进行亚像素二维平移。3.如权利要求2所述的超分辨率显微CT成像系统,其特征在于,所述二轴倾斜镜(31)的最大偏摆角的范围为1~20mrad,角度定位精度为0.02~1μrad,时间带宽不超过3kHZ,所述中继成像装置(3)成像面在其所在的平面内的步进量范围为1/10~1/2的所述科学级相机(4)的像元尺寸,该像元尺寸范围为3μm~26μm。4.如权利要求1至3中任一项所述的超分辨率显微CT成像系统,其特征在于,所述显微成像装置(2)还包括会聚透镜(21)和显微物镜组件(22),其中:所述显微物镜组件(22)和会聚透镜(21)依序布置在所述X射线转换可见光装置(10)的出射面的一侧;所述二轴倾斜镜(31)设在所述会聚透镜(21)与所述科学级相机(4)...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱溢佞,毛珩,翟慕岳,张慧滔,未永,傅鹏,
申请(专利权)人:首都师范大学,天津三英精密仪器股份有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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