用于光学元件的激光预处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于光学元件的激光预处理装置，包括：用于发出激光的激光光源；依次设置在激光传输方向上的分光劈板、反射镜、光束整形系统和放置待处理光学元件的电动平移台；其中，激光光源发出的激光经分光劈板之后经反射镜传输至光束整形系统，光束整形系统对激光进行光束整形，将本身高斯分布的激光光斑整形成平顶均匀分布的方光斑，最后辐照到光学元件表面来对光学元件进行激光预处理。通过本实用新型专利技术的激光预处理装置，形成平顶聚焦的均匀方形激光光斑使整个预处理过程辐照的能量密度均匀，并且能够通过倍率切换结构来轻松调节光斑的尺寸，进而调节到达光学元件表面激光能量密度的目的。

Laser preprocessing device for optical elements

【技术实现步骤摘要】
用于光学元件的激光预处理装置
本技术属于光学材料激光预处理领域，具体涉及一种用于光学元件激光预处理的装置。
技术介绍
高功率固体激光装置的建造需要数量巨大、种类繁多的光学元件，以NIF为例，全装置共包含7460块大口径光学元件(0.5～1.0m)，使其不仅成为世界最大的激光器，也是迄今为止最大的光学系统。对于高功率激光装置来说，虽然光学元器件的发展中有许多技术和科学上的挑战，但是最关键的挑战之一是尽可能地消除激光所导致的损伤。激光预处理技术是指采用一定波长的脉冲激光，以特定流程对光学元件进行全口径辐照，从而提升其抗损伤能力的目的。在某些场合，较高通量的预处理还能预先引爆光学元件表面的低阈值点，再配合相应的损伤缓解手段，可以有效规避系统的运行风险。激光预处理的适用对象包括熔石英元件、晶体元件以及其他镀膜元件等。就目前看来，激光预处理是能够有效提升光学元件激光抗损伤能力的有效手段之一，但通常使用的激光圆光斑多为高斯分布，使得预处理过程中会出现以下问题：中心较高的峰值功率可能引起光学元件表面损伤；高斯圆光斑需要拼接从而大大降低了预处理的效率；通过移动透镜来改变光斑大小从而改变激光能量密度使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，包括：用于发出激光的激光光源；依次设置在激光传输方向上的分光劈板、反射镜、光束整形系统和放置待处理光学元件的电动平移台；其中，激光光源发出的激光经分光劈板之后经反射镜传输至光束整形系统，光束整形系统对激光进行光束整形，将本身高斯分布的激光光斑整形成平顶均匀分布的方光斑，最后辐照到光学元件表面来对光学元件进行激光预处理。

【技术特征摘要】
1.一种用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，包括：用于发出激光的激光光源；依次设置在激光传输方向上的分光劈板、反射镜、光束整形系统和放置待处理光学元件的电动平移台；其中，激光光源发出的激光经分光劈板之后经反射镜传输至光束整形系统，光束整形系统对激光进行光束整形，将本身高斯分布的激光光斑整形成平顶均匀分布的方光斑，最后辐照到光学元件表面来对光学元件进行激光预处理。2.如权利要求1所述的用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，还包括：用于检测激光能量的激光能量计，其设置在所述分光劈板的反射光方向上；用于产生准直光的准直光源，其设置在所述反射镜反射面的入射光方向上；所述准直光源产生的准直光经反射镜反射之后将与激光同轴，便于肉眼观察激光所辐照到的位置。3.如权利要求1所述的用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，所述的激光光源为紫外准分子激光器。4.如权利要求1所述的用于光学元件的激光预处理装置，其特征在于，所述的反射镜为镀有对...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋一岚，栾晓雨，王海军，廖威，陈静，张丽娟，张传超，蒋晓龙，白阳，袁晓东，周海，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川,51