一种大面积均匀面电子源制造技术

本发明专利技术公开了一种大面积均匀面电子源，它包括紫外光源，光刻钢网，紫外光源外壳，第一金阴极夹具组件，第一MCP夹具组件，第二金阴极夹具组件，金阴极，MCP，第二MCP夹具组件，第三MCP夹具组件，MCP夹具与金阴极夹具连接件。本发明专利技术的面电子源采用金阴极作为光电转换部件，使用微通道板作为金阴极出射电子的电子倍增部件，使用紫外光源以及光刻钢网的组合为金阴极提供均匀光照，通过调节微通道板的板压来调节输出面电流的电流密度大小。这种结构的面电子源使我们可以得到均匀的面电流。

A large area uniform surface electron source

The invention discloses a large area uniform surface electron source, which comprises a UV light source, lithography stencil, UV light shell, the first gold cathode fixture assembly, the first MCP fixture components, second gold cathode clamp assembly, Kim MCP, MCP cathode, second clamp assembly third MCP clamp assembly fixture MCP and gold cathode clamp connections. The surface electron source of the invention adopts the gold cathode as a photoelectric conversion unit, the use of micro channel plate as a gold cathode electron multipactor components, using UV light and combination of lithography stencil provides uniform illumination for the gold cathode, by adjusting the micro channel plate pressure to adjust the output surface current current density. The surface electron source of this structure allows us to obtain uniform surface current.

【技术实现步骤摘要】
一种大面积均匀面电子源
本专利技术涉及微通道板清刷测试中的面电子源，特别是一种能应用与大面积微通道板的均匀面电子源。
技术介绍
大面积微通道板(MCP)作为一种高空间分辨的电子倍增探测器，在微光夜视、空间探测等领域具有广泛的应用。由于MCP一般应用在真空器件中，MCP内壁吸附的残气将会大大影响器件中光电阴极的灵敏度，从而降低器件的稳定性以及寿命，因此在MCP生产过程中除气是一个重要的不可或缺的步骤。MCP的除气采用电子清刷的方法，在真空系统中，通过面电子源发射电子，电子入射到MCP上，由于MCP二次电子倍增的作用，将产生大量二次电子，它们继续轰击MCP内壁，使得吸附在内壁中的残气释放出来，从而实现除气的效果。作为一种高分辨率的电子倍增器件，微通道板的测试同样十分重要。无论是测试微通道板的均匀性，还是测试它的增益都需要面电子源提供的电子。通常，清刷和测试使用的电子都是通过灯丝进行热电子发射得到的，但是当需要的电子源尺寸较大的时候，采用热电子发射原理的电子枪很难提供均匀的面电子源，因此有人提出了使用金阴极作为大面积面电子源。使用均匀的紫外光照射金阴极，由光电效应可知，金阴极上将会激发出大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大面积均匀面电子源，其特征在于，包括紫外光源[1]、光刻钢网[2]、紫外光源外壳[3]、第一金阴极夹具组件[5]、第一MCP夹具组件[6]、第二金阴极夹具组件[7]、金阴极[8]、MCP[9]、第二MCP夹具组件[10]、第三MCP夹具组件[13]、MCP夹具与金阴极夹具连接件[14]；所述紫外光源外壳[3]位于真空室的真空玻璃窗[11]下方并与真空室底盘[4]的外底部通过真空室连接法兰[12]相固连，紫外光源外壳[3]内底部中心设置紫外光源[1]，紫外光源[1]的上方设置光刻钢网[2]；在真空室内部，真空玻璃窗[11]的上方依次设置金阴极[8]与MCP[9]，其中金阴极[8]通过第一金阴...

【技术特征摘要】
1.一种大面积均匀面电子源，其特征在于，包括紫外光源[1]、光刻钢网[2]、紫外光源外壳[3]、第一金阴极夹具组件[5]、第一MCP夹具组件[6]、第二金阴极夹具组件[7]、金阴极[8]、MCP[9]、第二MCP夹具组件[10]、第三MCP夹具组件[13]、MCP夹具与金阴极夹具连接件[14]；所述紫外光源外壳[3]位于真空室的真空玻璃窗[11]下方并与真空室底盘[4]的外底部通过真空室连接法兰[12]相固连，紫外光源外壳[3]内底部中心设置紫外光源[1]，紫外光源[1]的上方设置光刻钢网[2]；在真空室内部，真空玻璃窗[11]的上方依次设置金阴极[8]与MCP[9]，其中金阴极[8]通过第一金阴极夹具组件[5]和第二金阴极夹具组件[7]固连在真空室内，其中，第一金阴极夹具组件[5]固定在真空玻璃窗[11]的上方，第二金阴极夹具组件[7]位于第一金阴极夹具组件[5]的内部，并对金阴极[8]...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱芸生，汤狸明，赵慧明，宋诚鑫，张振，张益军，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32