一种硅烷尾气载气、安全处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种硅烷尾气载气、安全处理系统，包括PECVD主设备、连接管道、真空泵、和尾气排气管，该尾气排气管与排气管网连接；其特征在于：所述尾气排气管开设有外接孔，在该外接孔上连接有氮气管，氮气管的另一端与氮气源连接，所述氮气管安装了微流量调节阀和浮子流量计；本实用新型专利技术通过注入定量氮气进入硅烷尾气排气系统，维持排气管道微正压，隔绝硅烷和空气，稀释硅烷，实现硅烷尾气的稀释和向室外的运载过程；在室外，硅烷尾气通过排气管道从高处排放；由于氮气的掺杂，硅烷尾气实现了无火星，无火花，无高温过程的自燃处理；解决了传统技术耗费大量能源的问题，降低了生产成本，同时避免了排气管网堵塞，提高了生产过程的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种硅烷尾气载气、安全处理系统
本技术涉及废气处理领域，尤其是一种硅烷尾气载气、安全处理系统。本系统同样能应用于氢气和有毒气体的载气排放。
技术介绍
光伏行业的电池线生产过程中，会经常使用到刻蚀机，PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition---等离子增强化学气相沉积法)工艺。在该环节中，会产生含有硅烷的尾气，硅烷尾气经过真空泵的尾气排放口，进入尾气处理管网。硅烷是无色、有大蒜恶心气味的有毒气体。硅烷会刺激眼睛，吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道，还会刺激呼吸系统及粘膜，过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病。硅烷的化学性质很活跃，与氧反应异常激烈，即使在-180摄氏度下也会猛烈反应。在与空气接触时会发生自燃，硅烷的爆炸极限为0.8%~98%，因此在硅烷的尾气排放过程中，极易发生燃烧爆炸。在工业生产过程中，真空泵是间歇运行的，一般是运行几个小时，再停泵几个小时。在这个过程中，就会产生大量的硅烷尾气滞留在排气管道当中。再次启动运行时，在设备厂房比较大、管网很多很复杂的情况下，各管路会互相干扰，然后在管网里面形成大量的硅烷富集气体。由于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅烷尾气载气、安全处理系统，包括PECVD主设备（101）、真空泵（103）、连接PECVD主设备（101）和真空泵（103）的连接管道（102），以及连接于真空泵（103）的尾气排气管（104），该尾气排气管（104）再与尾气排气管网连接；其特征在于：所述尾气排气管（104）开设有外接孔（1），在该外接孔（1）上连接有氮气管（3），同时在该氮气管（3）的另一端与氮气源连接；所述氮气管（3）分别安装了微流量调节阀（2）和浮子流量计（6）。

【技术特征摘要】
1.一种硅烷尾气载气、安全处理系统，包括PECVD主设备（101）、真空泵（103）、连接PECVD主设备（101）和真空泵（103）的连接管道（102），以及连接于真空泵（103）的尾气排气管（104），该尾气排气管（104）再与尾气排气管网连接；其特征在于：所述尾气排气管（104）开设有外接孔（1），在该外接孔（1）上连接有氮气管（3），同时在该氮气管（3）的另一端与氮气源连接；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔永祥，
申请(专利权)人：中建凯德电子工程设计有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51