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本实用新型公开一种硅烷尾气载气、安全处理系统，包括PECVD主设备、连接管道、真空泵、和尾气排气管，该尾气排气管与排气管网连接；其特征在于：所述尾气排气管开设有外接孔，在该外接孔上连接有氮气管，氮气管的另一端与氮气源连接，所述氮气管安装了微...
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